Pyrex玻璃的湿法刻蚀研究 被引量：9

1

作者 周健 闫桂珍 《微细加工技术》 2004年第4期41-44,共4页

对Pyrex7740玻璃的湿法刻蚀工艺进行了研究。实验中采用了几种不同的材料(光刻胶、Cr/Au、TiW/Au)作为刻蚀玻璃的掩膜,通过实验发现TiW/Au掩膜相对目前比较常用的Cr/Au掩膜有很多优点,如减少了玻璃的横向腐蚀,增加了深宽比,刻蚀图形边... 对Pyrex7740玻璃的湿法刻蚀工艺进行了研究。实验中采用了几种不同的材料(光刻胶、Cr/Au、TiW/Au)作为刻蚀玻璃的掩膜,通过实验发现TiW/Au掩膜相对目前比较常用的Cr/Au掩膜有很多优点,如减少了玻璃的横向腐蚀,增加了深宽比,刻蚀图形边缘更加平滑等。还研究了腐蚀液成分配比对刻蚀结果的影响,发现刻蚀速率随HF浓度的增加而增加,且在HF浓度一定时,加入少量HNO3可以明显提高刻蚀速率。本文的实验结果对一些MEMS器件特别是微流体器件的制作有一定参考作用。 展开更多

关键词 玻璃 湿法刻蚀 微机电系统(MEMS) Pyrex 7740

下载PDF 职称材料

北极海洋红球菌(Rhodococcus sp.)B7740产类胡萝卜素的提取条件优化及甲基萘醌类类胡萝卜素鉴定 被引量：12

2

作者 陈亚淑 汪荣 +3 位作者 谢笔钧 杨季芳 陈吉刚 孙智达 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期25-30,共6页

利用酶的高效性和专一性破裂细菌细胞壁,实现对类胡萝卜素的温和提取并鉴定。以加酶量、酶解时间和料液比作为单因素进行正交试验,得出最优提取条件为：菌粉与溶菌酶配比1∶10（mg/m L）、酶解时间80 min、料液比1∶80（mg/m L）,此条... 利用酶的高效性和专一性破裂细菌细胞壁,实现对类胡萝卜素的温和提取并鉴定。以加酶量、酶解时间和料液比作为单因素进行正交试验,得出最优提取条件为：菌粉与溶菌酶配比1∶10（mg/m L）、酶解时间80 min、料液比1∶80（mg/m L）,此条件下类胡萝卜素提取量为675 μg/g。采用液相色谱-质谱串联进行类胡萝卜素的结构鉴定,液相色谱-质谱条件为：色谱柱YMCC_（30）（4.6 mm×150 mm,5μm）、检测波长450 nm、大气压力化学电离源、正离子模式、离子源温度230℃、充电电压2 000 V、质荷比扫描范围200~1 200,鉴定出分子式分别为C_（51）H_（76）O_2和C_（51）H_（74）O_2的2种甲基萘醌类胡萝卜素。 展开更多

关键词 类胡萝卜素 酶法提取 高效液相色谱 液相色谱-质谱 红球菌B7740

下载PDF 职称材料

Pyrex7740玻璃深刻蚀研究 被引量：7

3

作者 明安杰 李铁 +1 位作者 刘文平 王跃林 《微细加工技术》 EI 2007年第1期51-55,共5页

研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象。实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小。在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝... 研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象。实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小。在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝酸含量为10%时,刻蚀速率可以提高两倍左右。利用上述结果,实现了用一层TiW/Au掩膜制作多种不同深度的玻璃坑槽结构,为玻璃上不同深度沟道制作提供了一种新的方法。 展开更多

关键词 Pyrex7740玻璃 湿法刻蚀 MEMS

下载PDF 职称材料

一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置 被引量：2

4

作者 王权 丁建宁 +1 位作者 王文襄 杨平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期214-216,221,共4页

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用。本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适... 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用。本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适合于大批量生产的静电键合简易装置,实践表明此装置易操作,施加键合静电电压降为160V,键合时间缩短为约2分钟,键合界面具有较大的封接强度和耐高温冲击性,满足了压力传感器制作的无应力封装的需要,具有实用性。 展开更多

关键词 压阻式压力传感器 硅芯片 PYREX7740 静电键合 简易装置

下载PDF 职称材料

北极海洋红球菌B7740(Rhodococcus sp.)产类胡萝卜素和类异戊二烯醌的抗氧化、抗增殖活性 被引量：3

5

作者 穆青 陈亚淑 +3 位作者 谢笔钧 杨季芳 陈吉刚 孙智达 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期159-164,共6页

本实验旨在研究来自北极海洋红球菌B7740类胡萝卜素和类异戊二烯醌提取物(B7CIQE)的体外抗氧化活性(通过β-胡萝卜素漂白测定、脂质和蛋白质氧化抑制实验、DNA氧化断裂抑制实验)、抗增殖活性(通过抗人肝癌细胞Hep G2和人口腔癌细胞KB增... 本实验旨在研究来自北极海洋红球菌B7740类胡萝卜素和类异戊二烯醌提取物(B7CIQE)的体外抗氧化活性(通过β-胡萝卜素漂白测定、脂质和蛋白质氧化抑制实验、DNA氧化断裂抑制实验)、抗增殖活性(通过抗人肝癌细胞Hep G2和人口腔癌细胞KB增殖实验)和细胞内抗氧化效果。实验中使用日常饮食常见高等植物来源类胡萝卜素(β-胡萝卜素、叶黄素、番茄红素)作为对照组,评价B7CIQE的生物活性:β-胡萝卜素氧化抑制率为B7CIQE(70.20%)>2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚(66.70%)>表没食子儿茶素没食子酸酯(17.80%)>番茄红素(1.90%);油脂开始氧化的温度顺序为B7CIQE(175℃)>β-胡萝卜素(165℃)>叶黄素(162℃)>番茄红素(160℃);蛋白质氧化抑制率为B7CIQE(25.75%)>β-胡萝卜素(24.97%)>叶黄素(17.94%)>番茄红素(10.40%);Hep G2细胞抗增殖实验半最大效应浓度为叶黄素(20.86μg/m L)<β-胡萝卜素(124.88μg/m L)<B7CIQE(126.34μg/m L)<番茄红素(139.24μg/m L);KB细胞抗增殖实验半最大效应浓度为B7CIQE(25.14μg/m L)<叶黄素(64.29μg/m L)<番茄红素(69.87μg/m L)<β-胡萝卜素(149.16μg/m L)。结果表明,与植物源类胡萝卜素相比,B7CIQE具有相对更优异的抗氧化和抗增殖活性。 展开更多

关键词 微生物产类胡萝卜素 微生物产类异戊二烯醌 红球菌B7740 抗氧化活性 抗增殖活性

下载PDF 职称材料

Pyrex7740玻璃通孔湿法腐蚀技术研究 被引量：5

6

作者 张锦文 杨化冰 +1 位作者 蒋巍 王龙 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期596-599,共4页

本文研究报道了Pyrex7740玻璃湿法腐蚀通孔技术。将四寸硅玻璃键合圆片的玻璃衬底减薄,并在玻璃上分别制备PECVD SiC、W/Au和PECVD多晶硅三种不同掩膜及其开口,最终利用40%HF腐蚀实现玻璃通孔。整个工艺过程与IC工艺兼容,并可进行圆片... 本文研究报道了Pyrex7740玻璃湿法腐蚀通孔技术。将四寸硅玻璃键合圆片的玻璃衬底减薄,并在玻璃上分别制备PECVD SiC、W/Au和PECVD多晶硅三种不同掩膜及其开口,最终利用40%HF腐蚀实现玻璃通孔。整个工艺过程与IC工艺兼容,并可进行圆片级批量加工。观察并研究纵向和横向腐蚀过程和通孔形貌,对比三种不同腐蚀掩膜掩蔽效果。本文研究结果为圆片级密封封装及其它MEMS器件奠定了基础。 展开更多

关键词 Pyrex7740玻璃 湿法腐蚀 深宽比 腐蚀掩膜

原文传递

基于VFC和FVC的模拟电压信号远程传输电路的设计与研究 被引量：2

7

作者 张威 韩建辉 亓东欣 《山东师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2012年第2期55-58,62,共5页

为了解决电压模拟信号的远程传输和光隔离问题，利用AD7740构成VFC，再将信号通过HFBR1521转换为光信号通过光纤进行传输，利用HFBR2521接收光信号，通过AD650构成FVC，从而实现电压信号的远程安全传输．信号发送端采用AD7740，在保证V... 为了解决电压模拟信号的远程传输和光隔离问题，利用AD7740构成VFC，再将信号通过HFBR1521转换为光信号通过光纤进行传输，利用HFBR2521接收光信号，通过AD650构成FVC，从而实现电压信号的远程安全传输．信号发送端采用AD7740，在保证V—F转换线性度的同时提高了性价比，接收端采用AD650从而保证了F—V转换线性度．通过光纤传输信号一方面解决了电隔离问题。另一方面可以有效降低环境干扰，实现远程传输．根据上述原理设计了性能良好、结构简单和精确度较高的信号转换及传输电路．该电路创新之处在于实现了模拟信号的远程传输并保证了良好的准确性，同时实现了电隔离．实验证明设计电路线性度良好，远端接收端能够精确再现0—5V模拟电压，因此设计电路能够满足多数场合下电压控制信号远程传输需要． 展开更多

关键词 VFC FVC AD7740 AD650 远程控制 电隔离

下载PDF 职称材料

Pyrex 7740玻璃深刻蚀掩模研究 被引量：2

8

作者 王伟康 苑伟政 +2 位作者 任森 邓进军 孙小东 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第6期15-18,共4页

玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃... 玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃的刻蚀掩模,在HF︰NH4F,HF︰HCl,HF︰HCl︰NH4F刻蚀溶液中进行了大量实验。实验结果表明:SX AR—PC 5000/40抗腐蚀能力强,且成功实现了对Pyrex 7740玻璃131μm的深刻蚀。整个工艺过程与IC工艺兼容,可以进行圆片级批量加工。实验结果对圆片级封装和其他MEMS器件的制作有一定参考作用。 展开更多

关键词 Pyrex7740玻璃 湿法腐蚀 刻蚀掩模 微机电系统

下载PDF 职称材料

纤维体积含量对C/7740复合材料性能的影响 被引量：3

9

作者 王零森 陈熙 +1 位作者 陈红卫 田平 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第4期87-91,86+110-111,共8页

本文研究了纤维体积含量(V_f)与碳纤维/7740玻璃的相对密度(Ds)抗弯强度(σ_b)和冲击韧性(ak)之间的关系。用泥浆浸渗法制带及热压成形技术制备试样。实验结果表明:材料的 Ds 随 V(?)的增加而降低;σ_b 和 ak 值开始随 V_f 的增加而增大... 本文研究了纤维体积含量(V_f)与碳纤维/7740玻璃的相对密度(Ds)抗弯强度(σ_b)和冲击韧性(ak)之间的关系。用泥浆浸渗法制带及热压成形技术制备试样。实验结果表明:材料的 Ds 随 V(?)的增加而降低;σ_b 和 ak 值开始随 V_f 的增加而增大,在 V_f 为40%左右时出现极大值,之后随 V_f 增加而降低。对 V_f 为4096样品的σ_b分布规律进行了分析,表明:其σ_b 服从韦布尔分布。所获材料的最高σ_b 为370Mpa,ak 值为31KJm^(-2)。 展开更多

关键词 纤维体积含量 C/7740 复合材料性能 制备试样 抗弯强度 浸渗 纤维分布 韦布尔分布 试样尺寸 分布规律

下载PDF 职称材料

3V/5V低功耗同步电压频率变换芯片AD7740 被引量：3

10

作者 许柯 秦建军 张厚 《国外电子元器件》 2001年第2期35-38,43,共5页

AD7740是一种CMOS型低功耗单通道单终端同步电压频率转换芯片 ,它具有缓冲和非缓冲两种模式。工作范围宽 ,对外部元件要求小 ,输出频率准确 ,无须调整或校准。可广泛用于各种A/D转换系统 ,并可以和AD22100S温度传感器构成数字式环境温... AD7740是一种CMOS型低功耗单通道单终端同步电压频率转换芯片 ,它具有缓冲和非缓冲两种模式。工作范围宽 ,对外部元件要求小 ,输出频率准确 ,无须调整或校准。可广泛用于各种A/D转换系统 ,并可以和AD22100S温度传感器构成数字式环境温度指示器等电路。文中介绍了AD7740的结构、特点、功能、原理和几种典型的应用电路。 展开更多

关键词 AD7740 同步 电压频率转换芯片 专用集成电路

下载PDF 职称材料

智能LED照明需要创新的管控和调光

11

作者 James Lee 《电源世界》 2018年第5期46-47,共2页

LED照明凭借其低功耗、多功能性、以及与智能照明方案的内在兼容性而日益受到欢迎,安森美半导体的FL7740/FL7760组合等半导体器件,可满足这些性能要求。

关键词 LED 低功耗 智能照明 FL7740 FL7760

原文传递

碳化硅纤维强化7740硼硅玻璃和LAS玻璃陶瓷复合材料显微结构和热暴露后界面特征 被引量：2

12

作者 王零森 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第5期393-400,共8页

用SEM和XRD等方法研究了Nicalon SiC束纤维强化7740硅硼酸盐玻璃和Nicalon SiC强化LAS玻璃陶瓷等三种复合材料的显微结构和在800—1100℃空气和氩气中热暴露后的界面特征。发现在复合材料中存在着无玻璃区、无纤维区、孔隙和未完全固结... 用SEM和XRD等方法研究了Nicalon SiC束纤维强化7740硅硼酸盐玻璃和Nicalon SiC强化LAS玻璃陶瓷等三种复合材料的显微结构和在800—1100℃空气和氩气中热暴露后的界面特征。发现在复合材料中存在着无玻璃区、无纤维区、孔隙和未完全固结等制造缺陷。在高温下热暴露时,无玻璃区中的纤维和未固结区的玻璃粉会发生重烧结现象。同时发现SiC/LAS复合材料在高于800℃空气或氩气中热暴露后,基体和纤维界面开始形成较大的孔洞。随着温度的升高,孔洞数量增多,最后孔洞将纤维包围,基体和纤维分离,材料形成裂纹。同时发现,在界面靠玻璃一侧形成一低熔点玻璃相。本文对热暴露前后的相结构也进行了分析。 展开更多

关键词 复合材料 SiC/7740 SiC/LAS 界面

下载PDF 职称材料

投您所好 选择亮丽 12款XGA分辨率小型投影机

13

《个人电脑》 2002年第9期48-50,52,54-55,共6页

一位朋友告诉我,最近他正在教年逾六旬的父亲制作POWERPOINT。我知道他的父亲早就退休了,所以觉得十分惊讶。其实事情很简单,他的父亲仍然在一些政府机关和事业单位兼职,最近这些单位都买了投影机,讲课、开会、作报告都“数字化”了。看... 一位朋友告诉我,最近他正在教年逾六旬的父亲制作POWERPOINT。我知道他的父亲早就退休了,所以觉得十分惊讶。其实事情很简单,他的父亲仍然在一些政府机关和事业单位兼职,最近这些单位都买了投影机,讲课、开会、作报告都“数字化”了。看来,投影机正大踏步地走近我们。 展开更多

关键词 XGA分辨率 小型投影机 3M MP7740i BENQ SL705X VP150X INFOCUS LP530D JEAN JR0913P LUXEON LX2 PLUS VX6200 XD200U TLP-781 澳视ATP-3150 晨星CX610 XC650 采购 亮度 测试

下载PDF 职称材料

数控电火花线切割机床故障维修

14

作者 张文君 《设备管理与维修》 2004年第1期47-47,共1页

关键词 数控电火花线切割机床 控制系统 故障分析 维修 北京电加工研究所 DK7740型

下载PDF 职称材料

油花

15

《高中生（高考）》 2005年第1期14-14,共1页

关键词 油花:7740 人们不知道:1407 外表观察:1356 起浪:301 上漂:250 水桶:205 水面:195 会说:193

原文传递