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金属-半导体-金属(MSM)结构4H-SiC紫外光电探测器的研制 被引量:9
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作者 吴正云 XIN Xiao-bin +1 位作者 YAN Feng ZHAO Jian-hui 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期269-272,共4页
MSM结构探测器具有结构与工艺简单、制备成本低、量子效率高等特点而在探测器应用中得到重视。本文制备了采用镍作为肖特基接触形成的MSM 4H—SiC紫外光电探测器,并测量和分析了在不同的偏压下其光电特性。结果表明,该探测器的暗电流非... MSM结构探测器具有结构与工艺简单、制备成本低、量子效率高等特点而在探测器应用中得到重视。本文制备了采用镍作为肖特基接触形成的MSM 4H—SiC紫外光电探测器,并测量和分析了在不同的偏压下其光电特性。结果表明,该探测器的暗电流非常小,在偏压为15V的时候,漏电流密度约为70 nA/cm2,光电流比暗电流高约2个数量级,其光谱响应表明,其最高光谱响应与380 nm的比值约为1000倍,说明该探测器具有良好的紫外可见比。 展开更多
关键词 MSM 紫外光电探测器 4h-sic 紫外可见比 宽禁带半导体
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基于4H-SiC肖特基二极管的中子探测器 被引量:7
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作者 蒋勇 吴健 +8 位作者 韦建军 范晓强 陈雨 荣茹 邹德慧 李勐 柏松 陈刚 李理 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期664-668,共5页
针对当前极端环境下耐辐照半导体中子探测器的需求,采用耐高温、耐辐照的碳化硅宽禁带半导体材料,利用6 Li(n,α)3 H核反应原理,研制了基于4H-SiC肖特基二极管的中子探测器。利用磁控溅射完成中子转化层的制作,并用SEM表征6 LiF膜厚。... 针对当前极端环境下耐辐照半导体中子探测器的需求,采用耐高温、耐辐照的碳化硅宽禁带半导体材料,利用6 Li(n,α)3 H核反应原理,研制了基于4H-SiC肖特基二极管的中子探测器。利用磁控溅射完成中子转化层的制作,并用SEM表征6 LiF膜厚。在10~600V反向偏压下,漏电流维持在6.4nA以下,表明探测器具备良好的半导体-金属肖特基整流接触。利用241 Am源研究探测器对5.486 MeV的α粒子的响应,测得分辨率为4.5%。同时,利用该探测器测量了由临界装置产生并经石蜡块慢化后的热中子,观测到热中子与6 Li作用产生的α和T粒子信号的实验结果。 展开更多
关键词 中子探测器 宽禁带半导体 4h-sic
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4H-SiC肖特基二极管γ射线探测器的模型与分析 被引量:6
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作者 张林 张义门 +3 位作者 张玉明 张书霞 汤晓燕 王悦湖 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期854-858,共5页
在研究反偏压4H-SiC肖特基二极管作为γ射线探测器工作机理的基础上建立了数值模型,模拟了不同偏压和辐照剂量率下探测器的暗电流、工作电流和灵敏度。模拟结果表明:探测器的灵敏度随反向偏压的增加而上升;对于Au/SiC肖特基二极管,有源... 在研究反偏压4H-SiC肖特基二极管作为γ射线探测器工作机理的基础上建立了数值模型,模拟了不同偏压和辐照剂量率下探测器的暗电流、工作电流和灵敏度。模拟结果表明:探测器的灵敏度随反向偏压的增加而上升;对于Au/SiC肖特基二极管,有源区掺杂数密度为2.2×1015cm-3时,0 V偏压下探测器的灵敏度为13.9×10-9C/Gy,100 V偏压下为24.5×10-9C/Gy。计算结果与实验数据符合得较好。 展开更多
关键词 4hsic 肖特基二极管 Γ射线 探测器 数值模拟 灵敏度
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真空慢退火工艺对4H-SiC核辐射探测器性能的影响
4
作者 杨凯 张春林 +3 位作者 李海霞 李占奎 李荣华 卢子伟 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期248-252,共5页
制备了一种肖特基二极管结构的4H-SiC辐射探测器.在真空环境下,用不同的温度对欧姆电极进行慢退火处理,达到良好的欧姆接触.对其反向I-V特性和能量分辨率进行测试对比,欧姆电极在800℃条件下性能最好,在全耗尽状态下能量分辨率为1.36%,... 制备了一种肖特基二极管结构的4H-SiC辐射探测器.在真空环境下,用不同的温度对欧姆电极进行慢退火处理,达到良好的欧姆接触.对其反向I-V特性和能量分辨率进行测试对比,欧姆电极在800℃条件下性能最好,在全耗尽状态下能量分辨率为1.36%,耐压测试运行稳定, 200 V偏压下漏电流仅有463 pA.与其他退火温度相比,该工艺下的4H-SiC探测器运行稳定,具有漏电流低、能量分辨率高的优势. 展开更多
关键词 4h-sic探测器 欧姆电极 退火 能量分辨率
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基于4H-SiC探测器多球谱仪的聚变中子能谱测量研究
5
作者 张明强 钟国强 +5 位作者 黄娟 常加峰 杜勤 陈传凯 陆洋 陈乐 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期77-84,共8页
Bonner多球谱仪作为主要用于测量中子能谱和剂量的仪器,对于聚变装置的辐射监测与防护具有重要意义。为了研究超导托卡马克(Experimental Advanced Superconducting Tokamak,EAST)在中性束注入(Neutral Beam Injector,NBI)加热实验条件... Bonner多球谱仪作为主要用于测量中子能谱和剂量的仪器,对于聚变装置的辐射监测与防护具有重要意义。为了研究超导托卡马克(Experimental Advanced Superconducting Tokamak,EAST)在中性束注入(Neutral Beam Injector,NBI)加热实验条件下的中子能谱和剂量当量,研制了一套由涂有6LiF的4H-SiC半导体探测器和8个慢化球组成的Bonner中子多球谱仪,在相应放电实验中进行了实验测量。通过与EAST上中子注量监测结果进行源强归一化处理,并结合模拟计算获得的每个慢化球中子响应函数,利用最大熵程序解算出大厅内部中子能谱分布。进一步通过中子注量-剂量转化系数获得中子剂量当量,并与蒙特卡罗方法模拟计算的主机大厅内相应位置的中子能谱和剂量当量进行比较,归一化聚变中子源项下测量位置的中子注量与模拟值的比值为0.98;归一化聚变中子源项下测量位置的周围剂量当量与模拟值的比值为1.05。对比结果验证了该多球谱仪在EAST装置上初步应用的可靠性。 展开更多
关键词 Bonner多球谱仪 4h-sic探测器 中子能谱 EAST
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4H-SiC肖特基二极管α探测器研究 被引量:4
6
作者 陈雨 范晓强 +5 位作者 蒋勇 吴健 白立新 柏松 陈刚 李理 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期57-61,共5页
碳化硅(SiC)是一种具有优良物理性能的宽禁带半导体材料,可作为探测器的优良探测介质。用241Am源5.486 MeV的α粒子研究4H-SiC肖特基二极管α探测器的能量分辨率和信号相对上升时间等特性。在真空室中,使SiC探测器暴露在α粒子下,SiC探... 碳化硅(SiC)是一种具有优良物理性能的宽禁带半导体材料,可作为探测器的优良探测介质。用241Am源5.486 MeV的α粒子研究4H-SiC肖特基二极管α探测器的能量分辨率和信号相对上升时间等特性。在真空室中,使SiC探测器暴露在α粒子下,SiC探测器输出良好的响应信号。SiC二极管对5.486 MeVα粒子的能量分辨率最佳可达3.4%;经前置放大器FH1047输出和示波器观测,脉冲幅度随偏压增加而稳定在(35.39±0.21)mV;脉冲上升时间随偏压增加而稳定在(137.87±9.44)ns。4H-SiC肖特基二极管对α粒子响应良好,可用于α粒子强度测量。结合SiC耐辐照、耐高温等特性,进一步改进后有望制成分辨率更高、上升时间更快、耐辐照的新型α探测器和中子探测器。 展开更多
关键词 α探测器 肖特基二极管 4hsic
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Analysis of high-temperature performance of 4H-SiC avalanche photodiodes in both linear and Geiger modes
7
作者 周幸叶 吕元杰 +5 位作者 郭红雨 顾国栋 王元刚 梁士雄 卜爱民 冯志红 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第3期583-588,共6页
The high-temperature performance of 4H-SiC ultraviolet avalanche photodiodes(APDs)in both linear and Geiger modes is extensively investigated.During the temperature-dependent measurements,a fixed bias voltage is adopt... The high-temperature performance of 4H-SiC ultraviolet avalanche photodiodes(APDs)in both linear and Geiger modes is extensively investigated.During the temperature-dependent measurements,a fixed bias voltage is adopted for the device samples,which is much more practical and important for high-temperature applications.The results show that the fabricated 4H-SiC APDs are very stable and reliable at high temperatures.As the temperature increases from room temperature to 425 K,the dark current at 95%of the breakdown voltage increases slightly and remains lower than40 pA.In Geiger mode,our 4H-SiC APDs can be self-quenched in a passive-quenching circuit,which is expected for highspeed detection systems.Moreover,an interesting phenomenon is observed for the first time:the single-photon detection efficiency shows a non-monotonic variation as a function of temperature.The physical mechanism of the variation in hightemperature performance is further analyzed.The results in this work can provide a fundamental reference for researchers in the field of 4H-SiC APD ultraviolet detectors. 展开更多
关键词 4h-sic avalanche photodiode ultraviolet detector high temperature
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辐照后4H-SiC带电粒子探测器的特性研究 被引量:2
8
作者 韩冲 崔兴柱 +7 位作者 梁晓华 梁红伟 夏晓川 杨存 叶鑫 唐吉龙 王登魁 魏志鹏 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期47-52,共6页
碳化硅材料因其禁带宽度大、晶体原子离位能高等物理特性,被视为制作耐高温、抗辐射器件极具代表性的宽带隙半导体材料。为观察辐照对4H-SiC肖特基二极管带电粒子探测器的电学特性及对α粒子响应的能量分辨率的影响。利用60Co源的γ射线... 碳化硅材料因其禁带宽度大、晶体原子离位能高等物理特性,被视为制作耐高温、抗辐射器件极具代表性的宽带隙半导体材料。为观察辐照对4H-SiC肖特基二极管带电粒子探测器的电学特性及对α粒子响应的能量分辨率的影响。利用60Co源的γ射线对4H-SiC肖特基二极管探测器进行辐照实验。经过总剂量为1 000 kGy的γ射线辐照后,探测器的正向电流相较于辐照前减小了三个数量级;反向电流值在0~120 V偏压下没有明显变化,当反向偏压高于120 V时,反向电流值变化明显。同时,辐照前后对α粒子的能量分辨率没有明显变化。 展开更多
关键词 4h-sic 肖特基二极管 Γ射线 探测器 电学特性 能量分辨率
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基于4H-SiC肖特基势垒二极管的γ射线探测器 被引量:2
9
作者 杜园园 张春雷 曹学蕾 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第20期212-219,共8页
针对极端环境下耐高温和耐辐照半导体核探测器的研制需求,采用外延层厚度为100μm的4H碳化硅(4H-SiC)制备成肖特基二极管探测器,研究了该探测器对^(241)Am源γ射线的能谱响应.采用磁控溅射金属Ni制备了肖特基二极管的欧姆接触和肖特基接... 针对极端环境下耐高温和耐辐照半导体核探测器的研制需求,采用外延层厚度为100μm的4H碳化硅(4H-SiC)制备成肖特基二极管探测器,研究了该探测器对^(241)Am源γ射线的能谱响应.采用磁控溅射金属Ni制备了肖特基二极管的欧姆接触和肖特基接触,利用室温电流-电压和电容-电压测试研究了二极管的电学特性.欧姆特性测试表明,1050°C退火时,欧姆接触特性最好.从正向电流-电压曲线得出二极管肖特基势垒高度为1.617 eV,理想因子为1.127,表明探测器具备良好的热电子发射特性.从电容-电压曲线获得二极管外延层净掺杂浓度为2.903×10^(14)cm^(-3),并研究了自由载流子浓度在外延层中的纵向分布.在反向偏压为500 V时,二极管的漏电流只有2.11 nA,具有较高的击穿电压.测得在-300 V条件下,SiC二极管探测器对能量为59.5 keV的γ射线的能量分辨率为9.49%(5.65 keV). 展开更多
关键词 4h-sic 宽禁带半导体 肖特基二极管 Γ射线探测器
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晶格畸变检测仪研究碳化硅晶片中位错缺陷分布 被引量:2
10
作者 尹朋涛 于金英 +6 位作者 杨祥龙 陈秀芳 谢雪健 彭燕 肖龙飞 胡小波 徐现刚 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第4期752-756,共5页
利用晶格畸变检测仪研究了SiC晶片位错分布情况,通过对熔融KOH腐蚀后的SiC晶片进行全片或局部扫描,从而得到完整SiC晶片或局部区域的位错分布。与LEXT OLS40003D激光共聚焦显微镜扫描腐蚀图进行比较,晶格畸变检测仪扫描腐蚀图可以将晶... 利用晶格畸变检测仪研究了SiC晶片位错分布情况,通过对熔融KOH腐蚀后的SiC晶片进行全片或局部扫描,从而得到完整SiC晶片或局部区域的位错分布。与LEXT OLS40003D激光共聚焦显微镜扫描腐蚀图进行比较,晶格畸变检测仪扫描腐蚀图可以将晶片上位错腐蚀坑信息完全呈现出来,且根据腐蚀坑呈现的颜色及尺寸大小,可以分辨出三种不同类型的穿透型位错,其中黑点腐蚀坑对应螺位错,小尺寸白点腐蚀坑对应刃位错,大尺寸白点腐蚀坑对应混合型位错。采用晶格畸变测试仪研究了4英寸(101.6 mm)N型4H-SiC晶体不同生长时期的位错密度及分布情况,结果表明随着晶体生长,位错密度呈现逐渐降低的趋势,生长后期晶片的总位错密度降为生长前期晶片总位错密度的近1/3,有利于反馈位错缺陷在SiC晶体生长过程中的延伸和转化特性信息,以指导SiC晶体生长工艺改进。 展开更多
关键词 4h-sic 晶格畸变检测仪 位错 位错密度 KOh腐蚀 位错缺陷分布
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高温下4H-SIC α探测器的性能研究 被引量:2
11
作者 李正 雷家荣 +6 位作者 范义奎 吴锟霖 蒋勇 白忠雄 高辉 鲁艺 吴健 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2018年第6期805-810,共6页
制成了基于4H碳化硅(4H-SiC)二极管的4H-SIC探测器,研究了室温~200℃下该探测器的IV特性,同时研究了该温度范围内4H-S1C探测器对α粒子的探测性能,获得了该探测器测得的α能谱及其半高宽和能量分辨率随温度变化的规律。探测器的正向电... 制成了基于4H碳化硅(4H-SiC)二极管的4H-SIC探测器,研究了室温~200℃下该探测器的IV特性,同时研究了该温度范围内4H-S1C探测器对α粒子的探测性能,获得了该探测器测得的α能谱及其半高宽和能量分辨率随温度变化的规律。探测器的正向电流值随着温度上升而逐渐增大,开启电压逐渐减小;当反向偏压一定时,在温度大于100℃时探测器的漏电流随温度迅速增加。但在温度为200℃和反向偏压为70V的条件下,探测器的漏电流仅为190nA.在室温~200℃范围内,4H-SiC探测器均具备α粒子探测能力。所得能谱的峰值随温度增加而增大,变化幅度相对于峰值小于1%;环境温度为200℃时,探测器的能量分辨率可达1.86%。本研究结果表明,4H-SiCα探测器具有良好的耐高温能力。 展开更多
关键词 4h-sic探测器 高温 漏电流 能谱 能量分辨率
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4H-SiC探测器对强激光等离子体下反应产物的测量 被引量:1
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作者 浮海娟 王林军 +7 位作者 王宏伟 曹喜光 刘龙祥 范功涛 马余刚 薛韩 张岳 胡新荣 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期54-59,共6页
研制了一款采用PCB(Printed Circuit Board)板封装、直接信号波形采样引出、用于激光等离子体飞行时间测量的4H-SiC探测器,探测器灵敏面积5 mm×5 mm,灵敏层厚度80μm,全耗尽电压为350~600 V。利用标准α源和强激光反应产物对4H-Si... 研制了一款采用PCB(Printed Circuit Board)板封装、直接信号波形采样引出、用于激光等离子体飞行时间测量的4H-SiC探测器,探测器灵敏面积5 mm×5 mm,灵敏层厚度80μm,全耗尽电压为350~600 V。利用标准α源和强激光反应产物对4H-SiC的性能进行了测试:标准α源(^(228)Th,^(226)Ra)的能量刻度表明,4H-SiC探测器具有良好的能量线性响应,能量分辨率达到1.19%@7 666.75 keV,具有2~3 ns的快时间响应和飞行时间离子甄别的功能,是用于强激光等离子体反应产物的离子诊断和能量测量的有力工具。 展开更多
关键词 4h-sic探测器 波形采样器 能量分辨 飞行时间
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SiC SAM APD紫外探测器的模拟研究
13
作者 刘丽 何志伟 《电子设计工程》 2017年第15期26-30,共5页
文中基于多种理论模型构建了4H-SiC SAM APD结构紫外光电探测器的基本物理模型。模拟研究了包括反向伏安特性、离化率、光谱响应在内的光电效应特性,并通过改变SAM结构各层厚度,得到了厚度与击穿电压、光谱响应的关系,从结果可以看出:减... 文中基于多种理论模型构建了4H-SiC SAM APD结构紫外光电探测器的基本物理模型。模拟研究了包括反向伏安特性、离化率、光谱响应在内的光电效应特性,并通过改变SAM结构各层厚度,得到了厚度与击穿电压、光谱响应的关系,从结果可以看出:减小P+层厚度、增大N、N+层厚度可有效增大光电流,提高探测器性能。 展开更多
关键词 紫外探测器 4hsic SAM APD 模拟研究 光谱响应
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Simulation of SiC radiation detector degradation
14
作者 Hai-Li Huang Xiao-Yan Tang +3 位作者 Hui Guo Yi-Men Zhang Yu-Tian Wang Yu-Ming Zhang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第1期300-305,共6页
Simulation on the degradation of 4H-SiC Schottky detector was carried out using ISE TCAD, and the limit of the driftdiffusion analytical model was discussed. Two independent defect levels, rather than a pair of specif... Simulation on the degradation of 4H-SiC Schottky detector was carried out using ISE TCAD, and the limit of the driftdiffusion analytical model was discussed. Two independent defect levels, rather than a pair of specific carrier lifetime, were induced to describe Z1/2 defects in simulation to calculate the charge collection efficiency versus bias voltage. Comparison between our calculation and the reported experimental results shows that an acceptable agreement was achieved, proving the feasibility of regarding Z1/2 defect as two individual defect levels. Such a treatment can simplify the simulation and may help to further investigate the detector degradation. 展开更多
关键词 4h-sic detector DEGRADATION SIMULATION Z1/2 DEFECT
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4H-SiC探测器的γ辐照影响研究
15
作者 李正 吴健 +6 位作者 白忠雄 吴锟霖 范义奎 蒋勇 尹延朋 谢奇林 雷家荣 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期111-114,共4页
为研究4H-SiC探测器的抗γ辐照性能,使用40万Ci级的60Co源对4H-SiC探测器进行了数次辐照,累积辐照剂量最大为1MGy(Si),并在辐照后对4H-SiC的性能进行了测试。随着累积辐照剂量增加,4H-SiC探测器的正向电流增大,而反向电流恰好相反;根据4... 为研究4H-SiC探测器的抗γ辐照性能,使用40万Ci级的60Co源对4H-SiC探测器进行了数次辐照,累积辐照剂量最大为1MGy(Si),并在辐照后对4H-SiC的性能进行了测试。随着累积辐照剂量增加,4H-SiC探测器的正向电流增大,而反向电流恰好相反;根据4H-SiC探测器的正向I-V曲线可提取理想因子和肖特基势垒,理想因子从1.87增加到2.18,肖特基势垒从1.93V减小至1.69V;4H-SiC探测器对241Am源产生的α粒子进行探测时,探测器的电荷收集率从95.65%退化到93.55%,测得能谱的能量分辨率由1.81%退化到2.32%。4H-SiC探测器在受到1MGy(Si)的γ辐照后,与未受到辐照时相比,在探测能量为5.486MeV的α粒子时能量分辨率和电荷收集率仅退化了28.18%和2.2%,仍具备优良的探测性能。 展开更多
关键词 4h-sic探测器 Γ辐照 I-V特性 α探测器
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4×44H-SiC紫外雪崩光电二极管阵列
16
作者 许婧 周幸叶 +4 位作者 谭鑫 吕元杰 李佳 梁士雄 冯志红 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第7期519-523,共5页
碳化硅(SiC)雪崩光电二极管(APD)固态紫外(UV)探测器在很多领域具有重要的潜在应用价值。针对4H-SiC APD阵列目前面临的像元良率较低和击穿电压一致性差等问题,基于吸收电荷倍增分离结构,设计制备了一款4×4的4H-SiC APD阵列芯片,... 碳化硅(SiC)雪崩光电二极管(APD)固态紫外(UV)探测器在很多领域具有重要的潜在应用价值。针对4H-SiC APD阵列目前面临的像元良率较低和击穿电压一致性差等问题,基于吸收电荷倍增分离结构,设计制备了一款4×4的4H-SiC APD阵列芯片,并对其紫外探测性能和阵列像元的一致性进行了测试与分析。结果显示,所制备的4×4 4H-SiC APD阵列不但具有较大的像元面积,而且具有较好的紫外探测性能、较高的像元良率和较好的击穿电压一致性。室温下,像元的雪崩增益高达10~5以上,单位增益最大外量子效率为70%,阵列中16个像元均实现雪崩硬击穿,像元良率达到100%,击穿电压保持高度一致,均为157.2 V,在95%击穿电压时像元的暗电流全部小于1 nA。4H-SiC APD阵列性能的提高将为4H-SiC APD在紫外成像领域的应用奠定基础。 展开更多
关键词 4h-sic 雪崩光电二极管(APD) 紫外(UV)探测器 阵列 暗电流
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