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三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征 被引量：2
1
作者 王陈 孟宪昱 +2 位作者 于瀛洁 孔明 刘维 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期651-658,共8页
三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度。本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法。首先,针对三维微纳米台阶的结... 三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度。本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法。首先,针对三维微纳米台阶的结构特征选取测量系统并设计测量方法,获取其三维形貌点云数据信息;其次,建立三维形貌实测数据维度重构方法,将复杂的多维面形数据降维至有序二维空间;基于K-means聚类算法和数据映射,创建台阶高度参数量化表征模型,实现识别离群值的同时将二维数据点集中的质心距离映射为台阶高度值;最后,通过迭代收敛设计,进一步提高算法表征的准确度和鲁棒性。对两种微纳台阶标准物质进行实验,结果表明,在测量存在离群值等坏点情况下,本方法能够高精度表征出台阶高度参数,与校准值比对,误差小于1.5%。 展开更多
关键词 三维纳米结构 台阶高度 光学显微测量 参数表征 三维形貌
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多酚控制二水草酸锌形貌及三维氧化锌纳米结构性能研究
2
作者 冯欢欢 徐晶晶 +10 位作者 廖威 孙丛立 陈军泽 陈寰 罗建勇 姜龙 陈瑜 李旭东 晋勇 焦志峰 孙小松 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期215-220,225,共7页
以氯化锌、草酸钠和多酚为原料,通过沉淀反应及调节多酚浓度制得形貌可控的二水草酸锌晶体,再通过热分解得到三维自组装纳米氧化锌结构。分别用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、热重-差热分析(TG-DTA)和荧光分光光度计(PL)对制备... 以氯化锌、草酸钠和多酚为原料,通过沉淀反应及调节多酚浓度制得形貌可控的二水草酸锌晶体,再通过热分解得到三维自组装纳米氧化锌结构。分别用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、热重-差热分析(TG-DTA)和荧光分光光度计(PL)对制备的样品进行表征。结果表明:随着多酚含量的增加,四方块状二水草酸锌出现了中空结构,当多酚浓度达到20mg/mL时晶体变成无规则的小碎块。当多酚含量为3.0mg/mL时,晶体尺寸最大。光致发光谱显示三维氧化锌发出很强的蓝绿光,并随着退火温度的升高而增强。 展开更多
关键词 氧化锌 三维纳米结构 二水草酸锌 多酚
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基于纳米压印技术的光伏器件微三维构型研究 被引量：1
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作者 尹磊 刘红忠 +1 位作者 丁玉成 卢秉恒 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1455-1458,共4页
将纳米压印技术应用到三明治结构光伏器件制作.采用具有三维微结构(平行波纹、离散孤岛)软模具,通过纳米压印将定制化微三维结构转印到电子给体层和电子受体层的异质结界面上,以增大异质结界面实际面积,提高光伏效率.通过仿真计算,模拟... 将纳米压印技术应用到三明治结构光伏器件制作.采用具有三维微结构(平行波纹、离散孤岛)软模具,通过纳米压印将定制化微三维结构转印到电子给体层和电子受体层的异质结界面上,以增大异质结界面实际面积,提高光伏效率.通过仿真计算,模拟了通过微结构界面几何改变,提高有效面积内异质结界面实际接触面积,从而增大载流子浓度的过程,优化三维微结构几何特征.典型试验结果证明了光伏器件异质结三维微结构界面对光伏效率的良好效果. 展开更多
关键词 纳米压印 三维微结构 光伏器件
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