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题名基于365nm LED的数字光刻照明系统匀光设计
被引量：4
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作者
梁庆九
周金运
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机构
广东工业大学物理与光电工程学院
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第2期225-229,共5页
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基金
国家自然科学基金
61475037
+1 种基金
2016广东省科技发展专项资金
2016B090918124~~
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文摘
在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管(LED)进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光。近六边形阵列相对于方形结构能减少无效透镜数量,能更有效地利用透镜发挥匀光效能.用软件分别仿真了近六边形、9×9方形透镜的照明系统,并对比了其照度图,结果表明使用近六边形阵列的照明系统照度更为均匀.用近六边形阵列设计的照明系统与数字微反射镜(DMD)、光刻镜头相结合,进行了2μm精度的数字光刻实验,其像面照度均匀,线条清晰.
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关键词
均匀照明
复眼透镜阵列
光学设计
365nm发光二极管
数字光刻
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Keywords
uniform illumination
fly＇s-eye lens array
optical design
365 nm light-emitting diode
digital lithography
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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