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0.7微米i线分步重复投影光刻曝光系统研制
被引量:
1
1
作者
陈旭南
姚汉民
+1 位作者
林大键
刘业异
《微细加工技术》
1997年第4期1-7,共7页
本文介绍0.7μm线分步重复投影光刻曝光系统的技术指标、系统设计、研制中解决的关键单元技术和研制结果。结果表明工作波长365nm,缩少倍率5倍.曝光视场15mm×15mm.光刻工作分辨力0.6μm,并具有双路暗场同轴对准.又能精确分...
本文介绍0.7μm线分步重复投影光刻曝光系统的技术指标、系统设计、研制中解决的关键单元技术和研制结果。结果表明工作波长365nm,缩少倍率5倍.曝光视场15mm×15mm.光刻工作分辨力0.6μm,并具有双路暗场同轴对准.又能精确分步投影光刻的曝光系统已研制成功。
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关键词
0.
7
微米i线
微电子技术
光刻曝光系统
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职称材料
2,7'-(乙烯基)-二-8-羟基喹啉的合成、晶体结构及性质研究
被引量:
15
2
作者
袁国赞
曾和平
《化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期37-41,共5页
合成了2,7'-(乙烯基)-二-8-羟基喹啉(C20H14N2O2),利用IR,UV,HNMR,MS和元素分析确认其结构;利用X射1线单晶衍射仪测定了该化合物的晶体结构;测定了目标产物的荧光光谱.实验结果表明,晶体(C20H14N2O2)属于三斜晶系,空间群P-1,a=0.747...
合成了2,7'-(乙烯基)-二-8-羟基喹啉(C20H14N2O2),利用IR,UV,HNMR,MS和元素分析确认其结构;利用X射1线单晶衍射仪测定了该化合物的晶体结构;测定了目标产物的荧光光谱.实验结果表明,晶体(C20H14N2O2)属于三斜晶系,空间群P-1,a=0.7473(10)nm,b=0.8323(11)nm,c=1.3124(17)nm,α=102.054(2)°,β=95.030(2)°,γ=109.753(2)°,V=0.7401(17)nm3,Z=2,Dc=1.410Mg/m3,μ=0.093mm-1,F(000)=328,R1=0.0427,wR2=0.1122.
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关键词
2
7
′-(乙烯基)-二-8-羟基喹啉
晶体结构
荧光光谱
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职称材料
Er^(3+)单掺与Er^(3+)/Pr^(3+)共掺碲酸盐玻璃的2.7μm光谱性质及能量转移过程
被引量:
4
3
作者
范小康
王欣
+2 位作者
李夏
李科峰
胡丽丽
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期163-169,共7页
采用高温熔融法制备了不同浓度Er3+,Er3+/Pr3+共掺的60TeO2-30WO3-10La2O3玻璃。研究了玻璃的红外透过光谱,吸收光谱以及在980nm LD抽运下的荧光光谱和Er3+…4I13/2能级荧光寿命。根据红外光谱计算了玻璃中OH-的吸收系数α。应用Judd-Of...
采用高温熔融法制备了不同浓度Er3+,Er3+/Pr3+共掺的60TeO2-30WO3-10La2O3玻璃。研究了玻璃的红外透过光谱,吸收光谱以及在980nm LD抽运下的荧光光谱和Er3+…4I13/2能级荧光寿命。根据红外光谱计算了玻璃中OH-的吸收系数α。应用Judd-Ofelt理论计算了J-O参量,自发辐射系数Arad,荧光分支比β;利用Fuchtbauer-Laderburg理论计算了2.7μm受激发射截面。分析了980nm抽运时Er3+/Pr3+共掺的能量转移过程。计算得到OH-吸收系数α为0.57cm-1,2.7μm自发辐射系数Arad为60.6s-1,荧光分支比β为16.3%,最大受激发射截面达到1.13×10-20 cm2。结果表明,这种碲酸盐玻璃适合作为获得2.7μm输出的激光材料。
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关键词
材料
碲酸盐
ER3+
Pr3+
2
7
μ
m荧光
能量转移
原文传递
基于嵌入式系统的电子鼻研究与实现
被引量:
3
4
作者
张延军
刘敬彪
+4 位作者
蔡强
方向生
吴文娟
刘锐
王彦闯
《电子器件》
CAS
2010年第4期466-470,共5页
研制了一种基于ARM7和μC/OS-Ⅱ的便携式电子鼻系统,包括传感器阵列、信号采集模块、嵌入式系统和模式识别等模块,其中ARM7选用飞利浦公司的LPC2214,模式识别采用BP神经网络。选用TGS822,TGS826,TGS800,TGS825作为传感器阵列对贮藏在5...
研制了一种基于ARM7和μC/OS-Ⅱ的便携式电子鼻系统,包括传感器阵列、信号采集模块、嵌入式系统和模式识别等模块,其中ARM7选用飞利浦公司的LPC2214,模式识别采用BP神经网络。选用TGS822,TGS826,TGS800,TGS825作为传感器阵列对贮藏在5℃的猪肉进行品质检测时,系统整体识别正确率达到90.9%,并且表现出较强的稳定性。系统具有体积小,功耗较低,携带方便等优点。
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关键词
电子鼻
便携式
BP网络
ARM
7
μ
C/OS-Ⅱ
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职称材料
云的垂直非均一性对卫星3.7μm通道反射率的影响
5
作者
刘浩
周毓荃
《气象》
CSCD
北大核心
2013年第1期80-87,共8页
卫星3.7μm通道被广泛用于反演云粒子有效半径。为了解云的垂直非均一性对该通道反射率的影响,作者基于SBDART辐射传输模式,分别计算了有效粒子半径垂直连续变化分布下和垂直分层均一分布下的3.7μm反射率。结果表明对于有效粒子半径垂...
卫星3.7μm通道被广泛用于反演云粒子有效半径。为了解云的垂直非均一性对该通道反射率的影响,作者基于SBDART辐射传输模式,分别计算了有效粒子半径垂直连续变化分布下和垂直分层均一分布下的3.7μm反射率。结果表明对于有效粒子半径垂直连续变化分布的云,当云比较薄(光学厚度小于10)时,如果把有效粒子半径垂直非均一的云当作垂直均一的云进行反演,会出现一定的误差,该误差随着光学厚度的增大而减小。当云足够厚(光学厚度大于10)时,该误差小于10%,可以认为此处云粒子垂直结构的变化对3.7μm通道反射率没有影响。对于有效粒子半径垂直分层均一分布的云,当光学厚度比较大时,只有靠近云顶的"浅层"(即有效辐射层,其光学厚度约为3~10)的云参数变化才能对3.7μm反射率产生影响。有效辐射层的光学厚度与云上层有效粒子半径、太阳天顶角和卫星天顶角等因素呈反相关,与相对方位角无无明显的联系。
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关键词
3
7
μ
m通道反射率
粒子有效半径
辐射传输模式
有效辐射层
非均一性
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职称材料
7μm铝箔双合轧制板形模拟研究
6
作者
王宏旭
张军亮
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
1999年第7期23-26,共4页
根据体积不变定律,推导了铝箔轧制的前张力横向分布公式,建立了考虑工作辊端部压靠的板形数学模型,应用该模型,完成了轧制工艺参数对7gn铝箔板形影响的模拟研究、模拟结果对指导宽幅高速7μm铝箔的生产有一定的实用价值。
关键词
轧制
铝箔
板形模拟
双合轧制
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职称材料
基于ARM7和数字温度传感器的多点测温系统设计
被引量:
5
7
作者
邓智坚
倪远平
《中国仪器仪表》
2007年第4期29-32,共4页
本文介绍了一种数字温度采集系统,详细分析其测温原理,给出其硬件系统和软件系统的设计。本系统以ARM7处理器LPC2114、实时嵌入式操作系统μC/OS-Ⅱ和数字温度传感器DS18B20为基础,实现多点温度采集。当温度超出正常范围报警,并通过USB...
本文介绍了一种数字温度采集系统,详细分析其测温原理,给出其硬件系统和软件系统的设计。本系统以ARM7处理器LPC2114、实时嵌入式操作系统μC/OS-Ⅱ和数字温度传感器DS18B20为基础,实现多点温度采集。当温度超出正常范围报警,并通过USB接口连接上位机进行通信时,克服了以往数据采集卡的缺点,又提高了数据传输的速度。
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关键词
数字温度采集
DS18820
USB
ARM
7
LPC2114
μ
C/OSⅡ
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职称材料
题名
0.7微米i线分步重复投影光刻曝光系统研制
被引量:
1
1
作者
陈旭南
姚汉民
林大键
刘业异
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《微细加工技术》
1997年第4期1-7,共7页
文摘
本文介绍0.7μm线分步重复投影光刻曝光系统的技术指标、系统设计、研制中解决的关键单元技术和研制结果。结果表明工作波长365nm,缩少倍率5倍.曝光视场15mm×15mm.光刻工作分辨力0.6μm,并具有双路暗场同轴对准.又能精确分步投影光刻的曝光系统已研制成功。
关键词
0.
7
微米i线
微电子技术
光刻曝光系统
Keywords
0.
7
μ
m
i-line
projection
lithography
exposure
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
2,7'-(乙烯基)-二-8-羟基喹啉的合成、晶体结构及性质研究
被引量:
15
2
作者
袁国赞
曾和平
机构
华南师范大学化学系
出处
《化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期37-41,共5页
基金
国家自然科学基金(Nos.20231020
20471020)
广东省自然科学基金重点(No.36585)资助项目.
文摘
合成了2,7'-(乙烯基)-二-8-羟基喹啉(C20H14N2O2),利用IR,UV,HNMR,MS和元素分析确认其结构;利用X射1线单晶衍射仪测定了该化合物的晶体结构;测定了目标产物的荧光光谱.实验结果表明,晶体(C20H14N2O2)属于三斜晶系,空间群P-1,a=0.7473(10)nm,b=0.8323(11)nm,c=1.3124(17)nm,α=102.054(2)°,β=95.030(2)°,γ=109.753(2)°,V=0.7401(17)nm3,Z=2,Dc=1.410Mg/m3,μ=0.093mm-1,F(000)=328,R1=0.0427,wR2=0.1122.
关键词
2
7
′-(乙烯基)-二-8-羟基喹啉
晶体结构
荧光光谱
Keywords
2,
7
μ
-(ethylene)-bis-8-hydroxyquinoline
crystal
structure
fluorescence
spectrum
分类号
O626.3 [理学—有机化学]
下载PDF
职称材料
题名
Er^(3+)单掺与Er^(3+)/Pr^(3+)共掺碲酸盐玻璃的2.7μm光谱性质及能量转移过程
被引量:
4
3
作者
范小康
王欣
李夏
李科峰
胡丽丽
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
中国科学院大学
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期163-169,共7页
基金
国家自然科学基金(60937003
61308084)
上海市自然科学基金(12ZR1451600)
文摘
采用高温熔融法制备了不同浓度Er3+,Er3+/Pr3+共掺的60TeO2-30WO3-10La2O3玻璃。研究了玻璃的红外透过光谱,吸收光谱以及在980nm LD抽运下的荧光光谱和Er3+…4I13/2能级荧光寿命。根据红外光谱计算了玻璃中OH-的吸收系数α。应用Judd-Ofelt理论计算了J-O参量,自发辐射系数Arad,荧光分支比β;利用Fuchtbauer-Laderburg理论计算了2.7μm受激发射截面。分析了980nm抽运时Er3+/Pr3+共掺的能量转移过程。计算得到OH-吸收系数α为0.57cm-1,2.7μm自发辐射系数Arad为60.6s-1,荧光分支比β为16.3%,最大受激发射截面达到1.13×10-20 cm2。结果表明,这种碲酸盐玻璃适合作为获得2.7μm输出的激光材料。
关键词
材料
碲酸盐
ER3+
Pr3+
2
7
μ
m荧光
能量转移
Keywords
materials
tellurite
Er3+/Pr3+
fluorescence
of
2.
7
μ
m
energy
transfer
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于嵌入式系统的电子鼻研究与实现
被引量:
3
4
作者
张延军
刘敬彪
蔡强
方向生
吴文娟
刘锐
王彦闯
机构
杭州电子科技大学电子信息学院
浙江清华长三角研究院
出处
《电子器件》
CAS
2010年第4期466-470,共5页
基金
国家科技支撑项目子课题<农产品物流过程品质动态监测与跟踪技术研究>资助(2006BAD30B03-02)
土壤和地下水污染快速诊断和高效修复技术的合作研究(2008DFA91300)
文摘
研制了一种基于ARM7和μC/OS-Ⅱ的便携式电子鼻系统,包括传感器阵列、信号采集模块、嵌入式系统和模式识别等模块,其中ARM7选用飞利浦公司的LPC2214,模式识别采用BP神经网络。选用TGS822,TGS826,TGS800,TGS825作为传感器阵列对贮藏在5℃的猪肉进行品质检测时,系统整体识别正确率达到90.9%,并且表现出较强的稳定性。系统具有体积小,功耗较低,携带方便等优点。
关键词
电子鼻
便携式
BP网络
ARM
7
μ
C/OS-Ⅱ
Keywords
electronic
nose
portable
BP
ARM
7
μ
C/OS-Ⅱ
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
云的垂直非均一性对卫星3.7μm通道反射率的影响
5
作者
刘浩
周毓荃
机构
南京信息工程大学
中国气象科学研究院
出处
《气象》
CSCD
北大核心
2013年第1期80-87,共8页
基金
国家高新技术863课题(2012AA120902)资助
文摘
卫星3.7μm通道被广泛用于反演云粒子有效半径。为了解云的垂直非均一性对该通道反射率的影响,作者基于SBDART辐射传输模式,分别计算了有效粒子半径垂直连续变化分布下和垂直分层均一分布下的3.7μm反射率。结果表明对于有效粒子半径垂直连续变化分布的云,当云比较薄(光学厚度小于10)时,如果把有效粒子半径垂直非均一的云当作垂直均一的云进行反演,会出现一定的误差,该误差随着光学厚度的增大而减小。当云足够厚(光学厚度大于10)时,该误差小于10%,可以认为此处云粒子垂直结构的变化对3.7μm通道反射率没有影响。对于有效粒子半径垂直分层均一分布的云,当光学厚度比较大时,只有靠近云顶的"浅层"(即有效辐射层,其光学厚度约为3~10)的云参数变化才能对3.7μm反射率产生影响。有效辐射层的光学厚度与云上层有效粒子半径、太阳天顶角和卫星天顶角等因素呈反相关,与相对方位角无无明显的联系。
关键词
3
7
μ
m通道反射率
粒子有效半径
辐射传输模式
有效辐射层
非均一性
Keywords
reflectance
of
3.
7
μ
m
channel,
droplet
effective
radius,
radiative
transfer
mode,
effective
radia-
tion
layer,
inhomogeneity
分类号
P414 [天文地球—大气科学及气象学]
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职称材料
题名
7μm铝箔双合轧制板形模拟研究
6
作者
王宏旭
张军亮
机构
燕山大学
渤海铝业有限公司
出处
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
1999年第7期23-26,共4页
文摘
根据体积不变定律,推导了铝箔轧制的前张力横向分布公式,建立了考虑工作辊端部压靠的板形数学模型,应用该模型,完成了轧制工艺参数对7gn铝箔板形影响的模拟研究、模拟结果对指导宽幅高速7μm铝箔的生产有一定的实用价值。
关键词
轧制
铝箔
板形模拟
双合轧制
Keywords
Simulation,
flatness,
rolling
technology
parameters
7
μ
m
aluminium
foil
分类号
TG339 [金属学及工艺—金属压力加工]
TG335.58
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职称材料
题名
基于ARM7和数字温度传感器的多点测温系统设计
被引量:
5
7
作者
邓智坚
倪远平
机构
昆明理工大学信息工程与自动化学院
出处
《中国仪器仪表》
2007年第4期29-32,共4页
文摘
本文介绍了一种数字温度采集系统,详细分析其测温原理,给出其硬件系统和软件系统的设计。本系统以ARM7处理器LPC2114、实时嵌入式操作系统μC/OS-Ⅱ和数字温度传感器DS18B20为基础,实现多点温度采集。当温度超出正常范围报警,并通过USB接口连接上位机进行通信时,克服了以往数据采集卡的缺点,又提高了数据传输的速度。
关键词
数字温度采集
DS18820
USB
ARM
7
LPC2114
μ
C/OSⅡ
Keywords
Digital
temperature
system
DS18B20
USB
ARM
7
LPC2114
μ
C/OS-
Ⅱ
分类号
TH811 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
0.7微米i线分步重复投影光刻曝光系统研制
陈旭南
姚汉民
林大键
刘业异
《微细加工技术》
1997
1
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职称材料
2
2,7'-(乙烯基)-二-8-羟基喹啉的合成、晶体结构及性质研究
袁国赞
曾和平
《化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2006
15
下载PDF
职称材料
3
Er^(3+)单掺与Er^(3+)/Pr^(3+)共掺碲酸盐玻璃的2.7μm光谱性质及能量转移过程
范小康
王欣
李夏
李科峰
胡丽丽
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
原文传递
4
基于嵌入式系统的电子鼻研究与实现
张延军
刘敬彪
蔡强
方向生
吴文娟
刘锐
王彦闯
《电子器件》
CAS
2010
3
下载PDF
职称材料
5
云的垂直非均一性对卫星3.7μm通道反射率的影响
刘浩
周毓荃
《气象》
CSCD
北大核心
2013
0
下载PDF
职称材料
6
7μm铝箔双合轧制板形模拟研究
王宏旭
张军亮
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
1999
0
下载PDF
职称材料
7
基于ARM7和数字温度传感器的多点测温系统设计
邓智坚
倪远平
《中国仪器仪表》
2007
5
下载PDF
职称材料
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