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微系统技术现状及发展综述 被引量：23
1
作者 马福民 王惠 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期12-19,共8页
电力电子产品系统逐渐向小型化、高度集成化的方向发展,微系统汇集了多门学科技术的创新与突破,无论在军事还是民用领域已有广泛的应用。本文详述了国内外微系统技术的现状和发展趋势,其技术创新点在于多功能芯片一体化、智能传感、异... 电力电子产品系统逐渐向小型化、高度集成化的方向发展,微系统汇集了多门学科技术的创新与突破,无论在军事还是民用领域已有广泛的应用。本文详述了国内外微系统技术的现状和发展趋势,其技术创新点在于多功能芯片一体化、智能传感、异质集成、堆叠式系统级封装技术的突破和新型半导体材料的应用;文末总结了微系统技术发展的意义,并提出展望。 展开更多
关键词 微系统技术 3D mmic 综述 3D MCM MEMS 集成技术
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T/ R 模块的发展现状及趋势 被引量：7
2
作者 李静 《半导体情报》 1999年第4期22-24,共3页
介绍了 Ｔ／ Ｒ 模块的关键技术、新技术。展望了 Ｔ／ Ｒ 模块的发展趋势。
关键词 T/R模块 mmic 微波集成电路
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汽车防撞雷达概述 被引量：11
3
作者 任亚欣 《科技情报开发与经济》 2007年第17期153-155,共3页
介绍了汽车防撞雷达的工作原理、基本组成,总结了国内外在该领域的发展情况,阐述了汽车防撞雷达今后的发展趋势。
关键词 汽车防撞雷达 调频连续波雷达 mmic FMCW
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T/R组件核心技术最新发展综述(一) 被引量：15
4
作者 吴礼群 孙再吉 《中国电子科学研究院学报》 2012年第1期29-33,共5页
以固态T/R组件为核心的有源相控阵(AESA)技术在雷达、电子战、制导武器和通信等领域都得到了广泛应用。T/R组件的成本约占整个相控阵雷达系统造价的60%,是固态有源相控阵雷达的核心。首先阐述了有源相控阵雷达T/R组件中的关键技术——Ga... 以固态T/R组件为核心的有源相控阵(AESA)技术在雷达、电子战、制导武器和通信等领域都得到了广泛应用。T/R组件的成本约占整个相控阵雷达系统造价的60%,是固态有源相控阵雷达的核心。首先阐述了有源相控阵雷达T/R组件中的关键技术——GaAs MMIC技术和微波MCM技术,同时对T/R组件的最新发展现状及趋势进行了分析,以此来推动我国有源相控阵技术的快速发展。 展开更多
关键词 T/R组件 微波单片集成电路 微波多芯片组件
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Ku波段PHEMT单片低噪声放大器的设计与实验 被引量：2
5
作者 陈效建 乔宝文 +3 位作者 戚友芹 郝西萍 刘军 王军贤 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第11期33-36,共4页
通过分析微波单片集成电路（MMIC）与常用的微波立体电路的不同点，讨论了采用通用的微波电路软件进行MMIC精确设计的有效途径．着重分析了在软件中如何建立三类MMIC用元件（有源器件、无源元件及由MMIC工艺决定的特有图形元件）电路模... 通过分析微波单片集成电路（MMIC）与常用的微波立体电路的不同点，讨论了采用通用的微波电路软件进行MMIC精确设计的有效途径．着重分析了在软件中如何建立三类MMIC用元件（有源器件、无源元件及由MMIC工艺决定的特有图形元件）电路模型的方法借助这一分析，使用通用的微波电路软件，完成了Ku波段两级AlGaAs／InGaAsPHEMT单片低噪声放大器的设计与研制，取得了与CAD设计值十分相近的实验结果：在13．4～14．0GHz的频率范围内，噪声系数（NF）1．66±0．04dB，相关增益（Ga）13．3±0．05dB。 展开更多
关键词 mmic HEMT 微波单片IC 设计
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GaAs微波单片集成电路(MMIC)的可靠性研究 被引量：9
6
作者 黄云 《微电子技术》 2003年第1期49-52,共4页
本文介绍了GaAsMMIC的可靠性研究与进展 ,重点介绍了工艺表征工具 (TCV)、工艺控制监测 (PCM )和统计工艺控制 (SPC)等实现产品高质量、高可靠性和可重复性的可靠性保障技术 ,为国内GaAsMMIC可靠性研究提供了新的思路。
关键词 mmic 砷化镓 微波单片集成电路 可靠性 失效机理
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GaAs MMIC用无源元件的模型 被引量：8
7
作者 申华军 陈延湖 +5 位作者 严北平 杨威 葛霁 王显泰 刘新宇 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1872-1879,共8页
制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2... 制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2,NiCr薄膜电阻的方块电阻约为16·1Ω/□.分析结构参数对螺旋电感性能的影响可知,减小线圈面积相关的寄生损耗有助于获得高品质的电感. 展开更多
关键词 mmic 矩形螺旋电感 MIM电容 薄膜电阻 多项式拟合公式
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高增益K波段MMIC低噪声放大器 被引量：7
8
作者 王闯 钱蓉 孙晓玮 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1285-1289,共5页
基于0.25μm PHEMT工艺,给出了两个高增益K波段低噪声放大器.放大器设计中采用了三级级联增加栅宽的电路结构,通过前级源极反馈电感的恰当选取获得较高的增益和较低的噪声;采用直流偏置上加阻容网络,用来消除低频增益和振荡;三级电路通... 基于0.25μm PHEMT工艺,给出了两个高增益K波段低噪声放大器.放大器设计中采用了三级级联增加栅宽的电路结构,通过前级源极反馈电感的恰当选取获得较高的增益和较低的噪声;采用直流偏置上加阻容网络,用来消除低频增益和振荡;三级电路通过电阻共用一组正负电源,使用方便,且电路性能较好,输入输出驻波比小于2.0;功率增益达24dB;噪声系数小于3.5dB.两个放大器都有较高的动态范围和较小的面积,放大器1dB压缩点输出功率大于15dBm;芯片尺寸为1mm×2mm×0.1mm.该放大器可以应用在24GHz汽车雷达前端和26.5GHz本地多点通信系统中. 展开更多
关键词 PHEMT K波段 mmic 高增益 低噪声放大器 芯片级电磁场仿真
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一种新颖的DC～50GHz低插入相移MMIC可变衰减器 被引量：5
9
作者 戴永胜 陈堂胜 +5 位作者 俞土法 刘琳 杨立杰 陈继义 陈效建 林金庭 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期186-188,共3页
介绍了一种新颖的 DC～ 5 0 GHz低相移、多功能的 Ga As MMIC可变衰减器的设计与制作 ,获得了优异的电性能。微波探针在片测试结果为 :在 DC～ 5 0 GHz频带内 ,最小衰减≤ 3 .8d B,最大衰减≥ 3 5± 5 d B,最小衰减时输入 /输出驻波... 介绍了一种新颖的 DC～ 5 0 GHz低相移、多功能的 Ga As MMIC可变衰减器的设计与制作 ,获得了优异的电性能。微波探针在片测试结果为 :在 DC～ 5 0 GHz频带内 ,最小衰减≤ 3 .8d B,最大衰减≥ 3 5± 5 d B,最小衰减时输入 /输出驻波≤ 1 .5 ,最大衰减时输入 /输出驻波≤ 2 .2 ,衰减相移比≤ 1 .2°/d B。芯片尺寸 2 .3 3 mm× 0 .68mm× 0 .1 mm。芯片成品率高达 80 %以上 ,工作环境温度达 1 2 5°C,可靠性高 。 展开更多
关键词 砷化镓微波单片集成电路 超宽带 低相移 可变衰减器 GAAS mmic
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一些典型管道煤气爆炸的数值模拟研究 被引量：4
10
作者 沈玉玲 宁建国 卢捷 《安全与环境学报》 CAS CSCD 2001年第3期11-16,共6页
为了研究煤气、瓦斯之类易爆品的爆炸机理以及怎样进行类似的灾害预防 ,本文采用气体爆炸理论 ,对煤气爆炸问题进行了数值模拟。在整个模拟过程中不考虑外力、外源和热交换的影响 ,得到了可压缩流体的偏微分守恒方程 ;基于多流体网格法 ... 为了研究煤气、瓦斯之类易爆品的爆炸机理以及怎样进行类似的灾害预防 ,本文采用气体爆炸理论 ,对煤气爆炸问题进行了数值模拟。在整个模拟过程中不考虑外力、外源和热交换的影响 ,得到了可压缩流体的偏微分守恒方程 ;基于多流体网格法 (MMIC) ,给出了该问题的计算格式 ;最后对得到的结果进行了分析 ,并且运用可视化软件进行处理后获得了煤气二维爆炸场的动画模拟结果 。 展开更多
关键词 多媒体网格 mmic 数值模拟 管道煤气 爆炸事故
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被动毫米波成像系统的发展状况及其关键技术 被引量：13
11
作者 宋崧 王学田 邓甲昊 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第19期74-79,共6页
毫米波对大气具有良好的穿透性并能提供较好的角分辨率,因此被动毫米波(PMMW)成像技术越来越受到重视。为科学设计PMMW成像系统,本文在分析被动毫米波成像原理、系统组成及辐射特性的基础上,重点阐述了国内外被动毫米波成像的最新进展... 毫米波对大气具有良好的穿透性并能提供较好的角分辨率,因此被动毫米波(PMMW)成像技术越来越受到重视。为科学设计PMMW成像系统,本文在分析被动毫米波成像原理、系统组成及辐射特性的基础上,重点阐述了国内外被动毫米波成像的最新进展及关键技术,包括主要器件、系统和信号处理方法等,并提出了被动毫米波成像的发展方向和应用领域。 展开更多
关键词 被动毫米波成像 辐射计 焦平面 微波单片集成电路
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微波单片集成电路及其发展趋势 被引量：6
12
作者 费元春 陈世伟 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1996年第3期297-302,共6页
讨论了微波集成电路（ＭＭＩＣ）的发展过程、特点、材料和元件，它的设计、制造、应用以及国内ＭＭＩＣ发展概况．
关键词 电子战 相控阵 微波集成电路 砷化镓 FET
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航天微系统技术综述 被引量：13
13
作者 周庆瑞 孟松 +1 位作者 宋坚 马骏 《航天器工程》 2014年第4期84-91,共8页
航天微系统技术包括专用集成电路(ASIC)、片上系统(SoC)、单片微波集成电路(MMIC)、混合集成电路(HIC)等微电子技术和微机电系统(MEMS)。文章介绍了这几种技术的特点、发展现状,以及在航天中的应用情况和应用前景。ASIC与SoC技术可显著... 航天微系统技术包括专用集成电路(ASIC)、片上系统(SoC)、单片微波集成电路(MMIC)、混合集成电路(HIC)等微电子技术和微机电系统(MEMS)。文章介绍了这几种技术的特点、发展现状,以及在航天中的应用情况和应用前景。ASIC与SoC技术可显著提高电子系统的集成度和性能,已在航天中得到广泛应用。MMIC技术可用于航天器通信载荷和平台的射频通信部件,已在欧美航天器中大量应用,目前正朝高频段发展。HIC主要包括厚膜HIC和薄膜HIC,特别适于功率器件和微波器件的集成,目前国外已有大量产品用于航天,如"国际空间站"(ISS)。MEMS技术可用于航天器导航、热控、推进、光学遥感与通信等系统,甚至可对航天器设计方法产生重要影响,但目前还处于起步阶段。在以上技术领域,我国虽已开展了一些研究,但与国外相比还存在较大差距。文章针对航天微系统技术的产业布局、发展方式等提出了建议,可为我国的发展规划和战略决策提供参考。 展开更多
关键词 航天微系统 专用集成电路 片上系统 单片微波集成电路 混合集成电路 微机电系统
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高增益自偏S波段MMIC低噪声放大器 被引量：10
14
作者 王闯 钱蓉 +1 位作者 孙晓玮 顾建忠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期786-789,共4页
报道了具有高增益自偏结构的低噪声S波段MMIC宽带低噪声高增益放大器.该放大器是采用国际先进的0.25μmPHEMT工艺技术加工而成.电路设计采用了两级级联负反馈结构,并采用电阻自偏压技术,单电源供电,使用方便,可靠性高,一致性好.MMIC芯... 报道了具有高增益自偏结构的低噪声S波段MMIC宽带低噪声高增益放大器.该放大器是采用国际先进的0.25μmPHEMT工艺技术加工而成.电路设计采用了两级级联负反馈结构,并采用电阻自偏压技术,单电源供电,使用方便,可靠性高,一致性好.MMIC芯片测试指标如下:在1.9～4.2GHz频率范围内,输入输出驻波小于2.0,线性功率增益达30dB,带内增益平坦度为±0.7dB,噪声系数小于2.7dB.芯片尺寸:1mm×2mm×0.1mm.这是国内报道的增益最高,芯片面积最小的S波段放大器. 展开更多
关键词 赝配高电子迁移率晶体管 低噪声 高增益放大器 微波单片集成电路
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微波MCM电路的设计与制作 被引量：1
15
作者 王钧 施建俊 李征凡 《电讯技术》 北大核心 1998年第6期48-53,共6页
本文介绍了一种新的封装技术—微波多芯片组件（ＭＣＭ）技术。详细阐述了其设计环节并分析了设计要点，提出了通用的设计方法。
关键词 多芯片组件 封装 微波单片 IC 集成电路
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MMIC单片微波集成电路的原理及应用 被引量：2
16
作者 司朝良 《国外电子元器件》 2002年第7期48-50,共3页
介绍了MMIC单片微波集成电路的特点和分类 ,分析了其内部电路原理 ,列举了几种常用的MMIC的性能指标 ,给出了典型应用电路 ,最后就使用中的问题提出了几点建议。
关键词 mmic 高频放大器 自排列晶体管 微波集成电路
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S波段单片四位数控移相器 被引量：3
17
作者 沈亚 陈继义 +2 位作者 陈堂胜 陈效建 林金庭 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期139-143,共5页
描述了Ｓ波段单片四位数字移相器的电路设计、工艺制作和性能。采用集总元件的高通／低通网络构成移相网络和ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ作为开关控制器件，利用南京电子器件研究所标准的离子注入微波单片集成电路（ＭＭＩＣ）制造工艺，研制... 描述了Ｓ波段单片四位数字移相器的电路设计、工艺制作和性能。采用集总元件的高通／低通网络构成移相网络和ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ作为开关控制器件，利用南京电子器件研究所标准的离子注入微波单片集成电路（ＭＭＩＣ）制造工艺，研制出Ｓ波段单片四位数字移相器。该移相器在设计工作频带内１６个移相态具有移相精度高（均方根误差小于１°）、输入输出驻波好（＜１．４）和较低的插入损耗（＜５．５ｄＢ）与插损变化（均方根误差小于０．２ｄＢ）等优良的电特性。芯片尺寸为６．４５ｍｍ×１．４ｍｍ×０．２ｍｍ。 展开更多
关键词 移相器 微波单片IC mmic
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用于安检应用的Ka波段毫米波成像平台研究 被引量：7
18
作者 许杰 关福宏 +2 位作者 杨明辉 时翔 孙晓玮 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2009年第S1期150-153,共4页
本篇文章介绍了用于安检的Ka波段毫米波成像平台,其中Ka波段接收机射频前端为直接检波体制,采用自行研制的MMIC LNA,在RT/duroid 5880基片上进行级联。利用扇叶切割天线波束产生交流视频信号,去除直流噪声。制作的毫米波成像平台由单片... 本篇文章介绍了用于安检的Ka波段毫米波成像平台,其中Ka波段接收机射频前端为直接检波体制,采用自行研制的MMIC LNA,在RT/duroid 5880基片上进行级联。利用扇叶切割天线波束产生交流视频信号,去除直流噪声。制作的毫米波成像平台由单片机控制可以进行二维扫描,并将视频信号进行采集处理,传输给计算机得到毫米波图像。对毫米波接收机放大器模块和检波器进行了性能测试,并利用成像平台对藏有金属的假肢进行成像实验,得到的毫米波图片大致显示出假肢和金属的形状,表明本毫米波成像平台可以用于检测诸如藏在假肢中的枪支等违禁品。 展开更多
关键词 毫米波成像 Ka波段直接检波式辐射计 mmic LNA 交流辐射计 成像平台 安检
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Ku波段600W固态合成功放设计 被引量：8
19
作者 吴礼群 蔡昱 +2 位作者 成海峰 徐建华 任重 《电子与封装》 2011年第4期24-27,38,共5页
文章介绍了一种Ku波段600W固态合成功率放大器的工程实现。根据工程应用的实际要求,该固态功率放大器采用多芯片多级合成,每级功率合成采用了不同的合成方式。其中芯片级合成选择了微带合成方式,模块级合成选择了多腔体空间耦合合成结构... 文章介绍了一种Ku波段600W固态合成功率放大器的工程实现。根据工程应用的实际要求,该固态功率放大器采用多芯片多级合成,每级功率合成采用了不同的合成方式。其中芯片级合成选择了微带合成方式,模块级合成选择了多腔体空间耦合合成结构,组件级合成选择了波导合成方式。固放以6.5W的MMIC功放单片为基本单元,共采用了128个功放单片合成出大于600W的脉冲峰值功率,功率附加效率高达18.5%,并具有脉冲速度快、频谱纯净、体积小、可靠性高、工程上容易实现等优点。 展开更多
关键词 固态功率放大器 空间功率合成 mmic
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雷达用微波功率器件的发展趋势 被引量：3
20
作者 高志忠 《真空电子技术》 北大核心 1995年第6期8-13,29,共7页
本文从雷达技术发展的角度阐述了雷达用微波功率器件的发展趋势，并指出今后将主要发展ＭＰＭ，ＭＭＩＣ，毫米波真空器件和真空微电子器件。
关键词 雷达 微波功率模块 单片 微波集成电路
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