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微机械陀螺仪温度特性及补偿算法研究 被引量:38
1
作者 陈怀 张嵘 +1 位作者 周斌 陈志勇 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第10期24-26,共3页
微机械陀螺是近代发展起来的一种角速率传感器,与传统陀螺仪相比,它具有体积小、重量轻、价格便宜等特点,但其性能受环境温度的改变影响很大。通过分析温度变化对微机械陀螺仪的影响,推导出陀螺输出、驱动轴相位与温度的关系,提出了一... 微机械陀螺是近代发展起来的一种角速率传感器,与传统陀螺仪相比,它具有体积小、重量轻、价格便宜等特点,但其性能受环境温度的改变影响很大。通过分析温度变化对微机械陀螺仪的影响,推导出陀螺输出、驱动轴相位与温度的关系,提出了一种无温度传感器的新型补偿算法,经温度实验补偿后的陀螺温度漂移减小到补偿前的5%,为微机械陀螺的性能改善提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 重量轻 微机械陀螺仪 体积小 温度特性 补偿算法 温度漂移 相位 角速率传感器 温度传感器 输出
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微机械陀螺温度特性及其补偿算法研究 被引量:19
2
作者 温祖强 钱峰 《电子测量技术》 2011年第1期51-54,共4页
微机械陀螺是近年发展起来的一种角速率传感器,具有体积小、重量轻、价格便宜等优点。但是微机械陀螺的精度很容易受到温度的影响。本文介绍了微机械陀螺的温度特性,并且通过实验推导出陀螺输出与温度的关系,在此基础上使用了最小二乘... 微机械陀螺是近年发展起来的一种角速率传感器,具有体积小、重量轻、价格便宜等优点。但是微机械陀螺的精度很容易受到温度的影响。本文介绍了微机械陀螺的温度特性,并且通过实验推导出陀螺输出与温度的关系,在此基础上使用了最小二乘拟合与神经网络两种算法进行温度补偿并将结果进行了对比。通过实验验证对于由温度导致的误差有很好的补偿效果,为今后在实际中的应用提供了一种参考途径。 展开更多
关键词 微机械陀螺 温度补偿 最小二乘 神经网络
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Gross errors identification and correction of in-vehicle MEMS gyroscope based on time series analysis 被引量:3
3
作者 陈伟 李旭 张为公 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2013年第2期170-174,共5页
This paper presents a novel approach to identify and correct the gross errors in the microelectromechanical system (MEMS) gyroscope used in ground vehicles by means of time series analysis. According to the characte... This paper presents a novel approach to identify and correct the gross errors in the microelectromechanical system (MEMS) gyroscope used in ground vehicles by means of time series analysis. According to the characteristics of autocorrelation function (ACF) and partial autocorrelation function (PACF), an autoregressive integrated moving average (ARIMA) model is roughly constructed. The rough model is optimized by combining with Akaike's information criterion (A/C), and the parameters are estimated based on the least squares algorithm. After validation testing, the model is utilized to forecast the next output on the basis of the previous measurement. When the difference between the measurement and its prediction exceeds the defined threshold, the measurement is identified as a gross error and remedied by its prediction. A case study on the yaw rate is performed to illustrate the developed algorithm. Experimental results demonstrate that the proposed approach can effectively distinguish gross errors and make some reasonable remedies. 展开更多
关键词 microelectromechanical system memsgyroscope autoregressive integrated moving average(ARIMA) model time series analysis gross errors
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模糊自适应整定PID的MEMS陀螺温控系统设计 被引量:1
4
作者 刘庆爱 孟江 周天兵 《仪表技术》 2011年第8期23-26,共4页
MEMS陀螺的零偏、零偏稳定性和重复性等指标与陀螺温度直接相关,MEMS陀螺零偏主要由温度漂移造成。为了提高陀螺性能指标,设计了一套模糊自适应整定PID的MEMS陀螺温控系统。试验表明,该系统静态误差小于±0.3℃,超调小,稳定时间短,... MEMS陀螺的零偏、零偏稳定性和重复性等指标与陀螺温度直接相关,MEMS陀螺零偏主要由温度漂移造成。为了提高陀螺性能指标,设计了一套模糊自适应整定PID的MEMS陀螺温控系统。试验表明,该系统静态误差小于±0.3℃,超调小,稳定时间短,而且在各温度环境下升温曲线比较一致,保证了陀螺每次上电的零偏重复性。 展开更多
关键词 mems陀螺 模糊PID 温度控制 自适应整定
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基于Allan方差的MEMS陀螺仪随机误差辨识与抑制 被引量:16
5
作者 马群 王庆 +1 位作者 阳媛 盛浩 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第6期62-65,共4页
为了提高某型微机电系统(MEMS)陀螺仪输出精度,静态采集该型MEMS陀螺仪原始数据,通过Allan方差分析法,对陀螺仪随机误差成分进行辨识;以z轴输出为例,利用时间序列分析法,建立其随机误差的自回归滑动平均(ARMA)模型。根据拟合后的模型参... 为了提高某型微机电系统(MEMS)陀螺仪输出精度,静态采集该型MEMS陀螺仪原始数据,通过Allan方差分析法,对陀螺仪随机误差成分进行辨识;以z轴输出为例,利用时间序列分析法,建立其随机误差的自回归滑动平均(ARMA)模型。根据拟合后的模型参数设计卡尔曼滤波器,对原始数据进行滤波处理,再对预滤波后的数据进行Allan方差分析。结果表明:滤波后的量化噪声、角度随机游走、零偏不稳定性误差系数分别减小了2. 8%,19. 8%和8. 1%。卡尔曼滤波器能够有效抑制MEMS陀螺仪的随机误差,提高输出精度。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)陀螺仪 随机误差 ALLAN方差 自回归滑动平均模型 卡尔曼滤波
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基于EMD的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法 被引量:15
6
作者 李文华 汪立新 +1 位作者 沈强 李成 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1927-1932,共6页
为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用... 为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用模态集合选择标准将IMF分为噪声IMF、噪声与信号混合IMF和信号IMF三类;然后,对混合IMF进行重构、时间序列建模及自适应卡尔曼滤波(AKF);最后,将3类信号重构,实现MEMS陀螺仪信号去噪。实验表明:所提方法有更好的去噪效果和实时性,提高了MEMS陀螺仪的使用精度。 展开更多
关键词 微机械电子系统(mems)陀螺仪 自适应卡尔曼滤波(AKF) 时间序列模型 ALLAN方差 经验模态分解(EMD)
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MEMS陀螺仪的研究现状与进展 被引量:11
7
作者 李永 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第9期757-768,共12页
MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件。当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段。从微结构、电子学控制、工艺平台和集成应用四个方面综述了MEMS陀螺仪的最新... MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件。当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段。从微结构、电子学控制、工艺平台和集成应用四个方面综述了MEMS陀螺仪的最新进展。对MEMS陀螺仪分别按简并和非简并工作模式;速率陀螺仪的机械化和全角机械化;体Si、表面工艺、3D结构、封装和修调工艺等;高性能集成、高精度校准、数据融合新算法和各类导航应用等详细分类与内容进行介绍。在提取MEMS陀螺仪在微结构等四个方面的技术创新点的基础上,进一步分析了MEMS陀螺仪的发展趋势和未来发展重点。 展开更多
关键词 mems陀螺仪 传感器 角度陀螺仪 速率陀螺仪 惯性测量单元(IMU)
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改进的MEMS陀螺随机噪声自适应滤波算法 被引量:13
8
作者 唐晓红 赵鲁阳 +2 位作者 李鲁明 何为 王沛 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第10期133-136,共4页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机噪声建模时,自回归滑动平均(ARMA)模型中有色噪声白化问题,提出了将有色噪声作为系统状态方程控制项,以改进解耦自适应Kalman滤波算法,从而提高MEMS陀螺仪的噪声补偿效果。实验结果表明:经改进算法滤波后... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机噪声建模时,自回归滑动平均(ARMA)模型中有色噪声白化问题,提出了将有色噪声作为系统状态方程控制项,以改进解耦自适应Kalman滤波算法,从而提高MEMS陀螺仪的噪声补偿效果。实验结果表明:经改进算法滤波后,MEMS陀螺仪噪声均方差减小85.1%,随机误差项减小41.9%;与标准Kalman滤波算法、解耦自适应Kalman滤波算法相比,改进算法的随机误差项分别减小30.5%,10.1%,能更好地降低MEMS陀螺仪随机噪声。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺仪 自回归滑动平均模型 ALLAN方差 KALMAN滤波 自适应滤波
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多MEMS陀螺数据融合系统的设计和实现 被引量:13
9
作者 柯熙政 张伟志 刘娟花 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2062-2070,共9页
微机电系统陀螺仪以其成本低廉和小巧方便已经广泛应用于军民领域,但是其仍然面临着零偏稳定性不够高的问题。针对这种现象,设计了一套空间大小仅为45 mm×55 mm×30 mm的可扩展可移植的硬件平台,在此平台上利用小波域多尺度融... 微机电系统陀螺仪以其成本低廉和小巧方便已经广泛应用于军民领域,但是其仍然面临着零偏稳定性不够高的问题。针对这种现象,设计了一套空间大小仅为45 mm×55 mm×30 mm的可扩展可移植的硬件平台,在此平台上利用小波域多尺度融合算法,对4个微机电陀螺仪所采集的原始数据进行实时小波融合处理。分别对该集成系统在静态和动态环境下进行测试,实验结果表明,该系统运行稳定可靠,融合处理后的数据标准差都比融合前降低了一个量级。 展开更多
关键词 微机电陀螺仪 零偏稳定性 小波融合 多尺度分析
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基于压缩感知理论的MEMS陀螺仪信号降噪研究 被引量:12
10
作者 程承 潘泉 +1 位作者 王申龙 程咏梅 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期769-773,共5页
通过分析传统小波阈值滤波的局限性,将基于压缩感知的小波滤波方法应用于低精度MEMS(micro electro mechanicalsystem)陀螺仪信号降噪中,并与小波阈值滤波方法进行了实验对比,实验结果表明:基于压缩感知的小波滤波方法可以有效地去除MEM... 通过分析传统小波阈值滤波的局限性,将基于压缩感知的小波滤波方法应用于低精度MEMS(micro electro mechanicalsystem)陀螺仪信号降噪中,并与小波阈值滤波方法进行了实验对比,实验结果表明:基于压缩感知的小波滤波方法可以有效地去除MEMS陀螺仪输出信号中的噪声,并且在压缩比较大时基于压缩感知的滤波方法去噪效果优于小波阈值滤波方法,改善了低精度MEMS陀螺仪零偏稳定性,为工程中解决低精度MEMS陀螺仪降噪问题提供了新思路。 展开更多
关键词 mems陀螺仪 小波滤波 压缩感知 信号噪声
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基于两步修正法的MEMS三轴陀螺仪标定方法 被引量:9
11
作者 邹泽兰 徐同旭 +1 位作者 徐祥 赵鹤鸣 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期191-198,共8页
针对目前三轴陀螺仪标定存在依赖于昂贵的转台设备或标定参数不完全的问题,本文提出了一种了基于两步修正法的MEMS三轴陀螺仪标定方法。该方法首先使用六位置法对加速度计12参数模型、三轴陀螺仪比例因子、三轴陀螺仪静态零偏进行标定补... 针对目前三轴陀螺仪标定存在依赖于昂贵的转台设备或标定参数不完全的问题,本文提出了一种了基于两步修正法的MEMS三轴陀螺仪标定方法。该方法首先使用六位置法对加速度计12参数模型、三轴陀螺仪比例因子、三轴陀螺仪静态零偏进行标定补偿,然后对三轴陀螺仪非正交误差模型建模,进行系统级标定。两步修正法可实现在无精密设备条件下快速准确的对各项误差进行辨识,获得良好的标定效果。仿真实验表明,本文算法所获得的非正交误差均值接近1%,标准差小于0.1%;比例因子误差均值小于0.14%,标准差小于0.004%,且具有很好的一致性。实际实验表明,65 s纯惯性导航姿态更新结果中,该标定方法的俯仰角误差精度可以达到0.624°,横滚角误差精度可以达到0.67°。 展开更多
关键词 mems三轴陀螺仪 六位置法 系统级标定 误差模型
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改进的MEMS陀螺静态误差模型及标定方法 被引量:10
12
作者 李建利 房建成 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1614-1618,共5页
静态干扰力矩造成的陀螺角速度测量误差是MEMS(Micro Electromechanical System)陀螺主要的误差源之一,为了增强MEMS陀螺的抗干扰能力,根据外框架驱动式MEMS陀螺工作原理、具体结构,针对比力引起的干扰力矩,采用解析的方法分析了陀螺静... 静态干扰力矩造成的陀螺角速度测量误差是MEMS(Micro Electromechanical System)陀螺主要的误差源之一,为了增强MEMS陀螺的抗干扰能力,根据外框架驱动式MEMS陀螺工作原理、具体结构,针对比力引起的干扰力矩,采用解析的方法分析了陀螺静态误差,结合试验法确定了陀螺静态误差数学模型,讨论了各误差项的物理起因及误差影响大小,论证了静态多位置法不能标定陀螺与比力平方有关误差项,提出了改进的陀螺静态误差数学模型,设计了10位置静态误差标定方法。试验结果表明:补偿后陀螺在10个静态位置的误差平均值和均方差分别为补偿前的0.83%和40%,提高了陀螺实用精度,为MEMS陀螺的精确标定、补偿提供了理论依据。 展开更多
关键词 微机电陀螺 静态误差 比力 标定 补偿
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基于优化KF的MEMS陀螺阵列信号融合方法 被引量:11
13
作者 刘洁瑜 沈强 +1 位作者 李灿 秦伟伟 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2016年第12期2705-2710,共6页
针对微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)陀螺仪准确度低、噪声大的问题,采用陀螺阵列技术降噪以提高陀螺的使用精度。采用Allan方差法分析陀螺信号误差噪声项,依据分析结果对测量模型进行了简化,利用噪声相关性设计了一... 针对微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)陀螺仪准确度低、噪声大的问题,采用陀螺阵列技术降噪以提高陀螺的使用精度。采用Allan方差法分析陀螺信号误差噪声项,依据分析结果对测量模型进行了简化,利用噪声相关性设计了一种卡尔曼滤波器(Kalman filter,KF)对陀螺阵列进行数据融合,并对最优估计过程进行了改进,降低了数据处理的复杂度和计算量,同时从理论上分析了各参数对阵列性能的影响。为提高滤波器的动态性能,将自回归(autoregressive,AR)模型应用于陀螺真实角速率的建模。采用6个陀螺构成的阵列进行了验证实验。实验结果表明:与单个陀螺相比,陀螺阵列的噪声在静态条件下降低了144.2倍,在恒速率和正弦速率条件下噪声分别降低了18.18倍和5.36倍,证明了此建模方法和融合方法的有效性。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺仪 陀螺阵列 自回归模型 数据融合 卡尔曼滤波
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基于多传感器融合的TBM姿态角测量方法 被引量:10
14
作者 张春草 张剑波 朱国力 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期48-51,81,共5页
为了解决倾角仪在硬岩掘进过程中强振动环境下的失效问题,基于倾角仪输出精度高、微型机电系统(MEMS)陀螺仪抗振动强的优点,提出了多传感融合的姿态测量方法.采用Allan方差方法建立MEMS陀螺仪的随机误差模型,并用扩展卡尔曼滤波算法对... 为了解决倾角仪在硬岩掘进过程中强振动环境下的失效问题,基于倾角仪输出精度高、微型机电系统(MEMS)陀螺仪抗振动强的优点,提出了多传感融合的姿态测量方法.采用Allan方差方法建立MEMS陀螺仪的随机误差模型,并用扩展卡尔曼滤波算法对陀螺仪的零漂进行有效估计和补偿,在倾角仪失效情况下采用修正过的陀螺仪数据计算掘进机的姿态角.仿真和实验表明:该算法能有效实现振动环境下姿态测量的计算,保证多传感器融合系统误差不超过0.06°. 展开更多
关键词 多传感器融合 姿态测量 倾角仪 微型机电系统陀螺仪 扩展卡尔曼滤波 隧道掘进机(TBM)
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硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿 被引量:10
15
作者 曹慧亮 李宏生 +2 位作者 王寿荣 杨波 黄丽斌 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3118-3125,共8页
提出了一种基于微机械陀螺仪测控电路进行温度补偿的方法。介绍了本课题组自主研发的SHH17#陀螺结构,分析了温度变化对陀螺的影响,并对驱动和检测模态的谐振频率,品质因数以及标度因数和零偏进行了测试。分析了陀螺结构的动力学方程以... 提出了一种基于微机械陀螺仪测控电路进行温度补偿的方法。介绍了本课题组自主研发的SHH17#陀螺结构,分析了温度变化对陀螺的影响,并对驱动和检测模态的谐振频率,品质因数以及标度因数和零偏进行了测试。分析了陀螺结构的动力学方程以及测控电路,指出了标度因数与驱动幅度和检测回路增益成正比,与两模态频差成反比。以热敏电阻为补偿元件在检测次级放大器中补偿标度因数,然后以直流叠加的方法在低通滤波器模块对零偏的温度系数和输出值进行了补偿,并介绍了补偿参数的配置方法。实验显示,经过温度补偿,标度因数和零偏的温度系数分别由393×10-6·℃-1和75(°)·h-1·℃-1减小到了73×10-6·℃-1和20(°)·h-1·℃-1,补偿后0℃零偏值由89.59mV减小到7.33mV,标度因数和零偏的温度系数分别减小了80%和73%。得到的结果证明了补偿方法的正确性和可行性。 展开更多
关键词 硅微机械陀螺仪 测温电路 温度补偿 标度因数 零偏 热敏电阻
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MEMS环形陀螺仪正交误差补偿系统设计 被引量:8
16
作者 薛日辉 张英杰 +3 位作者 曹慧亮 崔让 刘宇鹏 石云波 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第6期782-787,共6页
以一种电容式全对称S形弹性梁硅基环形波动陀螺仪为对象,对其正交误差进行了相关的研究,以提升MEMS环形陀螺仪的精度。首先,介绍了环形陀螺仪结构,同时以此结构为基础分析了正交误差产生的原因及影响;然后,对环形陀螺仪检测通道的输出... 以一种电容式全对称S形弹性梁硅基环形波动陀螺仪为对象,对其正交误差进行了相关的研究,以提升MEMS环形陀螺仪的精度。首先,介绍了环形陀螺仪结构,同时以此结构为基础分析了正交误差产生的原因及影响;然后,对环形陀螺仪检测通道的输出信号进行量化分析,并根据正交力校正法设计了环形陀螺仪的正交误差补偿系统;最后,对加入正交误差补偿后的环形陀螺仪进行了实验测试。结果显示,校正后的零偏、零偏稳定性分别为-2.62°/s、1.37°/h,与校正前相比,分别提升了3倍和10.6倍,验证了该正交误差补偿系统对陀螺仪正交误差的抑制效果,补偿后陀螺仪的零偏稳定性显著提升,陀螺输出更加稳定,为MEMS陀螺仪应用于未来军事及民用领域奠定了基础。 展开更多
关键词 mems环形陀螺仪 正交误差 正交力校正法 正交误差补偿系统
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基于MEMS陀螺仪的随机误差分析 被引量:7
17
作者 曹慧芳 吕洪波 孙启国 《计算机测量与控制》 2016年第1期178-181,共4页
为了提高MEMS陀螺仪测量精度,减少随机误差的影响,对产生随机误差的噪声源及其随机误差模型进行了分析;通过分析MEMS陀螺仪自身结构的缺陷并且对其输出数据进行了相应的滤波处理与平稳性检验,确立了合适的误差模型并利用Kalman滤波进行... 为了提高MEMS陀螺仪测量精度,减少随机误差的影响,对产生随机误差的噪声源及其随机误差模型进行了分析;通过分析MEMS陀螺仪自身结构的缺陷并且对其输出数据进行了相应的滤波处理与平稳性检验,确立了合适的误差模型并利用Kalman滤波进行误差补偿,验证了模型的有效性;同时运用Allan方差法对MEMS陀螺仪噪声项进行了分析,确定了影响MEMS陀螺仪测量性能的主要因素以及比较了滤波前后的各项噪声源系数,检验了滤波效果且实验结果证明误差模型显著提高了MEMS陀螺仪的测量精度。 展开更多
关键词 mems陀螺仪 KALMAN滤波 误差模型 Allan方差法
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BPNN辅助KF的MEMS陀螺仪数据处理方法 被引量:7
18
作者 段志强 刘洁瑜 +2 位作者 汪立新 李新三 沈强 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第2期284-288,共5页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪数据误差建模不精确或无法给出模型的情况,提出了误差反馈(BP)神经网络辅助卡尔曼滤波对陀螺仪数据进行降噪处理的方法。分析卡尔曼滤波器的系统噪声方差Q矩阵可知,当模型不精确时可通过Q补偿。基于BP神经网... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪数据误差建模不精确或无法给出模型的情况,提出了误差反馈(BP)神经网络辅助卡尔曼滤波对陀螺仪数据进行降噪处理的方法。分析卡尔曼滤波器的系统噪声方差Q矩阵可知,当模型不精确时可通过Q补偿。基于BP神经网络优化Q值原理,首先把采集到的MEMS陀螺仪数据输入卡尔曼滤波器得到Q;再把新息、滤波增益、量测噪声方差输入神经网络,把Q作为神经网络的输出,神经网络优化系统噪声协方差矩阵得到Q*;最后将Q*作为卡尔曼滤波算法系统噪声方差矩阵。实验结果表明,在建模不精确的情况下该方法也能有效提高陀螺仪的精度。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)陀螺仪 数据处理 误差建模 卡尔曼滤波 BP神经网络
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硅微机械陀螺表头温度特性研究与测试 被引量:6
19
作者 夏国明 王寿荣 杨波 《测控技术》 CSCD 北大核心 2009年第9期9-13,共5页
硅微机械陀螺目前已经能达到较高的精度,但温度的变化对它的性能有较大的影响。为了改善硅微机械陀螺的温度性能,从硅微机械陀螺的基本原理入手,通过分析及测量微机械表头的传递函数中各个参数随温度的变化规律以及它们对陀螺性能的影响... 硅微机械陀螺目前已经能达到较高的精度,但温度的变化对它的性能有较大的影响。为了改善硅微机械陀螺的温度性能,从硅微机械陀螺的基本原理入手,通过分析及测量微机械表头的传递函数中各个参数随温度的变化规律以及它们对陀螺性能的影响,找到了影响陀螺温度性能的关键参数和改进方法,对陀螺的微结构设计和陀螺的温度补偿电路设计都有重要的指导意义。 展开更多
关键词 硅微机械陀螺 温度特性 微小电容测量
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基于MEEMD的MEMS陀螺仪降噪方法
20
作者 侯梦婷 王雪梅 +3 位作者 单斌 许哲 李灿 郑雨晞子 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期409-415,共7页
为了有效抑制微机械陀螺仪的随机误差,基于改进的经验模态分解(MEEMD),结合粒子群优化算法(QPSO)优化的卡尔曼滤波(KF),提出了一种微机械陀螺仪降噪方法。通过引入排列熵的概念对微机械陀螺信号进行分解得到本征模态分量;计算各分量排列... 为了有效抑制微机械陀螺仪的随机误差,基于改进的经验模态分解(MEEMD),结合粒子群优化算法(QPSO)优化的卡尔曼滤波(KF),提出了一种微机械陀螺仪降噪方法。通过引入排列熵的概念对微机械陀螺信号进行分解得到本征模态分量;计算各分量排列熵,分析排列熵变化趋势筛选出信号噪声混叠的分量,对其中混叠的分量分析建模,采用QPSO-KF算法滤波去噪;再对滤波结果和信号主导的分量进行重构,实现微机械陀螺信号降噪。实验验证了所提方法的有效性,相比传统经验模态分解(EMD)、KF精度提高了1个数量级,验证了所提方法的有效性和精度。 展开更多
关键词 微机械(mems)陀螺仪 经验模态分解 多尺度熵 粒子群优化 卡尔曼滤波
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