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基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法
被引量：
6
1
作者
李竞男
鲍爱达
秦丽
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2016年第11期280-285,共6页
针对传统激光功率计体积庞大、响应速度慢且检测精度难以保证的缺陷,提出了一种基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法。该测试方法利用激光的热效应,以CO2激光器为被测激光光源,黑硅MEMS热电堆探测器为激光探测传感器。根据能量...
针对传统激光功率计体积庞大、响应速度慢且检测精度难以保证的缺陷,提出了一种基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法。该测试方法利用激光的热效应,以CO2激光器为被测激光光源,黑硅MEMS热电堆探测器为激光探测传感器。根据能量转换原理,热电堆吸收激光辐射的能量转换为自身热力学能,热力学能以电压的形式输入CMOS接口电路。通过TopView2000通用虚拟仪器应用软件采集和处理数据,获得激光功率相关数据。在室温条件下,对MEMS热电堆激光功率检测系统在不同占空比和不同出光时间的CO2激光照射下,进行重复实验。结果表明,在激光输出占空比为30%、总出光时间为150 ms条件下,系统热响应时间为14.92ms,计算出激光功率值为23.01 W,测量相对偏差为0.55%,满足了实际应用中对激光功率高精度、低成本、低功耗、强便携性等的需求。
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关键词
光电子学
光电检测
激光功率测量
CMOS接口电路
黑
硅
mems
热电堆
探测器
原文传递
MEMS热电堆高温测试系统中单晶材料的红外衰减特性研究
被引量：
1
2
作者
王会强
郝晓剑
周汉昌
《传感器世界》
2010年第4期10-13,共4页
在对PerkinElmer公司的MEMS热电堆红外探测器静态和动态特性实验研究的基础上,本文提出了由MEMS热电堆、红外衰减片、靶体和存储模块组成瞬态表面高温测试装置的方案,对拓宽测温上限的关键元件——红外陶瓷衰减片进行了较深入的研究,用M...
在对PerkinElmer公司的MEMS热电堆红外探测器静态和动态特性实验研究的基础上,本文提出了由MEMS热电堆、红外衰减片、靶体和存储模块组成瞬态表面高温测试装置的方案,对拓宽测温上限的关键元件——红外陶瓷衰减片进行了较深入的研究,用MEMS热电堆测量方法测量了氧化锆陶瓷片红外吸收系数,得出了不同厚度氧化锆(熔点为2715℃)陶瓷片红外衰减倍数曲线,为基于MEMS热电堆的表面高温测试装置的设计提供了依据。
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关键词
mems
热电堆
探测器
瞬态表面高温
红外吸收系数
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职称材料
题名
基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法
被引量：
6
1
作者
李竞男
鲍爱达
秦丽
机构
中北大学仪器与电子学院
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2016年第11期280-285,共6页
基金
国家自然科学基金(51375463)
山西省自然科学基金(2014011021-5)
文摘
针对传统激光功率计体积庞大、响应速度慢且检测精度难以保证的缺陷,提出了一种基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法。该测试方法利用激光的热效应,以CO2激光器为被测激光光源,黑硅MEMS热电堆探测器为激光探测传感器。根据能量转换原理,热电堆吸收激光辐射的能量转换为自身热力学能,热力学能以电压的形式输入CMOS接口电路。通过TopView2000通用虚拟仪器应用软件采集和处理数据,获得激光功率相关数据。在室温条件下,对MEMS热电堆激光功率检测系统在不同占空比和不同出光时间的CO2激光照射下,进行重复实验。结果表明,在激光输出占空比为30%、总出光时间为150 ms条件下,系统热响应时间为14.92ms,计算出激光功率值为23.01 W,测量相对偏差为0.55%,满足了实际应用中对激光功率高精度、低成本、低功耗、强便携性等的需求。
关键词
光电子学
光电检测
激光功率测量
CMOS接口电路
黑
硅
mems
热电堆
探测器
Keywords
optoelectronics
photoelectric detection
laser power measurement
CMOS interface circuit
black silicon
mems
thermopile detector
分类号
TH247 [机械工程—机械制造及自动化]
原文传递
题名
MEMS热电堆高温测试系统中单晶材料的红外衰减特性研究
被引量：
1
2
作者
王会强
郝晓剑
周汉昌
机构
中北大学信息与通信工程学院电子信息系
中北大学
出处
《传感器世界》
2010年第4期10-13,共4页
文摘
在对PerkinElmer公司的MEMS热电堆红外探测器静态和动态特性实验研究的基础上,本文提出了由MEMS热电堆、红外衰减片、靶体和存储模块组成瞬态表面高温测试装置的方案,对拓宽测温上限的关键元件——红外陶瓷衰减片进行了较深入的研究,用MEMS热电堆测量方法测量了氧化锆陶瓷片红外吸收系数,得出了不同厚度氧化锆(熔点为2715℃)陶瓷片红外衰减倍数曲线,为基于MEMS热电堆的表面高温测试装置的设计提供了依据。
关键词
mems
热电堆
探测器
瞬态表面高温
红外吸收系数
Keywords
mems
thermopile sensor
transient surface high temperature
infrared absorption coefficient
分类号
TH811 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法
李竞男
鲍爱达
秦丽
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2016
6
原文传递
2
MEMS热电堆高温测试系统中单晶材料的红外衰减特性研究
王会强
郝晓剑
周汉昌
《传感器世界》
2010
1
下载PDF
职称材料
已选择
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引证文献
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