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题名极紫外光栅波导中TE_(0)模式有效折射率分析
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作者
毛亚星
曹清
程长杰
朱吉瑞
陈文轩
肖晓琳
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机构
上海大学理学院物理系
浙江省杭州第七中学
中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第12期457-464,共8页
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文摘
将极紫外光刻掩模板的吸收层视为光栅波导,对光栅波导的最低阶横电模式(TE_(0)模式)进行理论分析。根据光栅波导电场分布的对称性,首先指出其电场分布应为双曲余弦函数cosh(·),并提供了有效折射率的零阶近似值n_(eff,0)。利用有限元软件对TE_(0)模式进行仿真,然后将模拟结果与解析表达式计算结果进行对比,验证理论猜测的准确性。在吸收材料为金和银的情况下,零阶近似值(n_(eff,0))的相对误差已分别小至0.75%和0.96%。在此基础上,进一步推导出了一个简单的适用于非亚波长光栅波导有效折射率(neff)的高阶迭代公式,并用其来减小零阶近似的相对误差。数值模拟结果表明,经过7次迭代后,相对误差已减小到0.11%;经过23次迭代后,相对误差小于10^(-5)。
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关键词
物理光学
极紫外
光栅波导
有效折射率
零阶近似值
高阶数值迭代
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Keywords
physical optics
extreme ultraviolet
grating waveguide
effective refractive index
zero-order approximation value
highorder numerical iteration
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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