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贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响
被引量：
1
1
作者
郭惠玉
文丰
+2 位作者
康强
石云波
王艳阳
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期83-87,共5页
贴片工艺是高量程MEMS加速度传感器封装工艺中一个非常重要的环节,对传感器的灵敏度和可靠性具有重要的影响。根据一种自制的、量程为XX的高量程MEMS加速度传感器的贴片封装模式,利用有限元分析法建立了传感器的贴片封装模型,基于理论...
贴片工艺是高量程MEMS加速度传感器封装工艺中一个非常重要的环节,对传感器的灵敏度和可靠性具有重要的影响。根据一种自制的、量程为XX的高量程MEMS加速度传感器的贴片封装模式,利用有限元分析法建立了传感器的贴片封装模型,基于理论、有限元方法研究了贴片胶弹性模量对传感器性能的影响。使用两种不同弹性模量的贴片胶对传感器进行了封装,开展了基于霍普金森压杆测试系统的传感器性能测试试验。模拟和试验结果表明:对于使用贴片封装模式的高量程MEMS传感器,其灵敏度随着贴片胶弹性模量的增加而相应的提高。
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关键词
封装
贴片工艺
高
量程
mems
加速度传感器
弹性模量
有限元分析
霍普金森杆
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职称材料
题名
贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响
被引量：
1
1
作者
郭惠玉
文丰
康强
石云波
王艳阳
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
出处
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期83-87,共5页
基金
国家自然科学基金项目(51225504)资助~~
文摘
贴片工艺是高量程MEMS加速度传感器封装工艺中一个非常重要的环节,对传感器的灵敏度和可靠性具有重要的影响。根据一种自制的、量程为XX的高量程MEMS加速度传感器的贴片封装模式,利用有限元分析法建立了传感器的贴片封装模型,基于理论、有限元方法研究了贴片胶弹性模量对传感器性能的影响。使用两种不同弹性模量的贴片胶对传感器进行了封装,开展了基于霍普金森压杆测试系统的传感器性能测试试验。模拟和试验结果表明:对于使用贴片封装模式的高量程MEMS传感器,其灵敏度随着贴片胶弹性模量的增加而相应的提高。
关键词
封装
贴片工艺
高
量程
mems
加速度传感器
弹性模量
有限元分析
霍普金森杆
Keywords
Packaging
Die process
High-g
mems
accelerometer
Elastic modulus
Finite element analysis（FEA）
Hopkinson Bar
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响
郭惠玉
文丰
康强
石云波
王艳阳
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
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职称材料
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参考文献
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