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气相色谱法测高纯磷烷中的杂质含量 被引量：3
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作者 郁光 咸鹏林 +1 位作者 庄鸿涛 方华 《低温与特气》 CAS 2016年第1期27-31,共5页
采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷(PH3)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围。
关键词 气相色谱仪 高纯电子工业气体 磷烷 氦离子色谱法
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