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题名2015中国气体
被引量：3
- 1
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作者
孙福楠
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机构
中昊光明化工研究设计院有限公司
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出处
《低温与特气》
CAS
2015年第6期1-4,18,共5页
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文摘
回顾2015年中国气体的现状,对未来中国气体进行了预测。提出了我国标准气体属地化生产与经营的想法,对于我国各类主要电子气体同发达国家的差距做了详细的分析。
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关键词
电子气体
标准气体
硅烷
高纯笑气
砷烷
锗烷
高纯氯气
高纯氨气
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Keywords
electronic gas
standard gases
silane
high purity nitrous oxide
arsine
germane
high purity chlorine
high purity ammonia
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
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题名2019:中国气体
被引量：1
- 2
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作者
孙福楠
于大秋
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机构
中昊光明化工研究设计院有限公司
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出处
《低温与特气》
CAS
2019年第6期1-5,共5页
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文摘
回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。
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关键词
电子气体
标准气体
硅烷
烷类气体
砷烷
磷烷
乙硼烷
DCS
高纯氨气
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Keywords
electronic gas
standard gas
silane
alkane gas
arsene
phosphane
ethoborane
DCS
high purity ammonia
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
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题名大流量高纯氨气输送系统优化设计
- 3
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作者
于锋
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机构
上海正帆科技股份有限公司
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出处
《造纸装备及材料》
2022年第2期78-81,共4页
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文摘
文章根据氨气的相关特性和气体输送系统特点,对大流量超高纯氨气输送系统的工作原理、输送机理和系统设计进行了分析,针对现有技术存在的问题,对大流量超高纯氨气输送系统进行优化设计,可达到避免系统二次污染、确保流量稳定性和系统可靠性的目的。
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关键词
高纯氨气
输送设备
冗余设计
研究设计
MOCVD
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分类号
TQ113.2
[化学工程—无机化工]
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