期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析 被引量：7
1
作者 宋伟红 伍凡 +1 位作者 侯溪 杨鹏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3229-3234,共6页
基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段。通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得到被测球面完整的面... 基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段。通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得到被测球面完整的面形信息。详细推导了平移旋转法的理论公式,并进行了仿真分析。仿真结果表明,基于上述方法获得的被测球面面形误差与初始面形误差残差图的均方根值为5.300 0×10-12 nm,其与初始面形误差均方根值的比值为1.164 1×10-12,理论误差极小,满足高精度面形检测要求。 展开更多
关键词 光学检测 平移旋转法 球面绝对检测 高精度面形检测
下载PDF
大口径空间反射镜高精度面形检测的支撑技术研究 被引量：5
2
作者 彭扬林 戴一帆 +2 位作者 陈善勇 王建敏 郑子文 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1166-1172,共7页
由于空间失重状态与地面状态不同,大口径空间反射镜在地面检测时需要通过特殊支撑结构对其重力进行卸载,同时严格控制支撑力引入的反射镜变形,以满足反射镜高精度面形检测的要求。通过对一口径750mm的空间SiC非球面反射镜进行检测,对比... 由于空间失重状态与地面状态不同,大口径空间反射镜在地面检测时需要通过特殊支撑结构对其重力进行卸载,同时严格控制支撑力引入的反射镜变形,以满足反射镜高精度面形检测的要求。通过对一口径750mm的空间SiC非球面反射镜进行检测,对比分析检测结果和有限元仿真结果,研究支撑结构对反射镜面形所造成的影响。主要针对吊带支撑和中心支撑进行详细的检测验证,分析其不能实现该反射镜高精度检测的原因;通过改进支撑方案,最后提出背板支撑,改善支撑变形的影响,不同角度下测量重复性达到纳米级,收到较好的检测效果,为该反射镜加工质量和加工效率的提升奠定了基础。 展开更多
关键词 高精度面形检测 背板支撑 有限元分析 检测误差
下载PDF
大口径标准镜绝对面形精度传递方法 被引量：1
3
作者 徐凯源 李强 +2 位作者 刘昂 高波 何宇航 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3210-3214,共5页
提出了一种大口径干涉仪标准镜绝对面形精度的传递方法,在已知一台干涉仪参考镜绝对面形的前提下,可向待测标准镜进行精度传递。由于检测温度与使用温度的不同,待测标准镜在另一台干涉仪作参考镜时,绝对面形会发生变化,变化集中在离焦量... 提出了一种大口径干涉仪标准镜绝对面形精度的传递方法,在已知一台干涉仪参考镜绝对面形的前提下,可向待测标准镜进行精度传递。由于检测温度与使用温度的不同,待测标准镜在另一台干涉仪作参考镜时,绝对面形会发生变化,变化集中在离焦量上;在待测标准镜使用状态下,通过对经典三板互检法得到的竖直方向直线绝对面形的分析,得到标准镜使用状态离焦量的估计,以此修正直接精度传递结果,最终得到待测标准镜使用状态下的绝对面形。比较同一块光学元件在两台干涉仪上标定前和标定后的测量结果,标定后的面形差值更小且分布一致性更好,证明了本方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 波前检测 面形精度传递方法 高精度面形检测 干涉检测 光学仪器
下载PDF
基于多次平移的平面绝对检测仿真 被引量：1
4
作者 马骅 陈波 +2 位作者 任寰 刘旭 刘勇 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期47-51,共5页
将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形。推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和... 将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形。推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响。仿真结果表明:待测平面与初始平面残差图的均方根值为5.118×10^(-13)λ,理论误差达到高精度平面面形检测要求。 展开更多
关键词 光学检测 多次平移法 平面绝对测量 高精度面形检测 仿真分析
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部