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题名航天器用薄膜温度传感器的研制及性能研究
被引量：8
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作者
崔云先
高富来
朱熙
苏新明
殷俊伟
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机构
大连交通大学机械工程学院
北京卫星环境工程研究所
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出处
《航空学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第12期405-416,共12页
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基金
国家自然科学基金(51905071,51575074)
辽宁省自然科学基金(2019-BS-043)。
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文摘
飞行器以高超声速飞行时瞬间温升可达1600℃以上,为了保证飞行器的可靠和运行安全,准确实时测量热防护系统表面温度显得尤为重要。针对高温环境实时测温的技术难题,结合磁控溅射技术和陶瓷烧结技术,提出了一种引线和传感器基底一体化的微小型高温薄膜温度传感器结构。采用高温检定炉对传感器陶瓷基底的高温绝缘性进行了测试,并使用多种微观形貌表征方法对传感器主要结构材料进行筛选,得到薄膜温度传感器制备所需的最佳材料组合。进行了薄膜温度传感器静态标定和综合性能高温考核试验,结果表明,所研制传感器灵敏度、重复性的变化与标准热电偶基本保持一致,在实际环境温度低于1500℃时,传感器测量误差不超过4‰,可在1200℃高温环境中连续准确测温6h以上,且测温上限高达1800℃,验证了该传感器在高温环境中进行测温的可行性和实用性,为航天器表面温度测量和热防护系统优化提供科学依据。
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关键词
薄膜热电偶
温度传感器
磁控溅射
陶瓷烧结
静态标定
高温考核
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Keywords
thin film thermocouple
temperature sensors
magnetron sputtering
ceramic sintering
static calibration
high temperature assessment
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分类号
V467
[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
TH811
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名底镀层对陶瓷封装芯腔表面高温变色的影响
被引量：3
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作者
王占华
沈卓身
李裕洪
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机构
北京科技大学材料科学与工程学院
宜兴钟山微电子封装有限公司
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期35-37,48,共4页
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文摘
研究了Ni底镀层和不同Co含量的Ni-Co合金底镀层对陶瓷封装芯腔镀金层表面抗高温变色能力的影响。420℃、15 min的高温考核表明:w(Co)超过10%以上的Ni-Co合金底镀层,对陶瓷封装芯腔表面抗高温变色能力明显优于纯Ni底镀层。镀层中w(Co)超过10%以上时,抗高温变色能力并不会随着Co含量增加而提高,仅随底镀层厚度的增加而明显增强。因而在陶瓷封装中,采用厚度大于4 mm的、含Co 15%左右的Ni-Co合金,代替Ni作为底镀层是可行的。
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关键词
芯腔
高温变色
镍
镍-钴合金
底镀层
陶瓷封装
高温考核
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Keywords
Ni
Ni-Co alloy
underlayer
ceramic packages
high-temperature aging
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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