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微弯曲面成型技术—多线成面技术 被引量：4
1
作者 蒋振新 丁桂甫 +2 位作者 杨春生 倪智萍 张永华 《电子工艺技术》 2003年第5期210-213,共4页
熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺—多线成面技术。此方法工艺简单,一般具备光刻条件的实验室就能够... 熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺—多线成面技术。此方法工艺简单,一般具备光刻条件的实验室就能够实现,与传统工艺兼容性好,用它制作的弯曲面可以与灰阶掩膜光刻相比拟,介绍了该工艺的原理和特点。 展开更多
关键词 高深宽比光刻胶结构 熔融成型 二次涂胶定型 微弯曲面 任意形状表面
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