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邻近效应校正函数及参数确定 被引量：2
1
作者 覃志国 刘志杰 《微细加工技术》 2001年第4期21-25,5,共6页
对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨 。
关键词 高斯圆束 矢量扫描 邻近效应 半导体集成电路
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高斯圆束矢量扫描作图图形剂量计算方法 被引量：1
2
作者 覃志国 刘志杰 《微细加工技术》 2001年第4期16-20,共5页
使用改进的高斯圆束的能量分布密度函数 ,结合矢量扫描作图方式 ,推导出图形各关键位置的剂量计算公式 。
关键词 高斯圆束 矢量扫描 能量分布密度函数 集成电路 半导体工艺
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