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双质量硅微陀螺仪驱动模态测试(英文) 被引量:5
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作者 殷勇 王寿荣 +3 位作者 王存超 杨波 盛平 田忠 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1355-1360,共6页
考虑双线振动双质量硅微陀螺仪环境适应性强且两个质量块的差动输出能够有效消除共模干扰的影响,提出了一种新型双质量陀螺仪。依据双质量硅微陀螺的结构和工作原理,对该陀螺的驱动模态进行了理论分析,并提出了简化的动力学方程。利用AN... 考虑双线振动双质量硅微陀螺仪环境适应性强且两个质量块的差动输出能够有效消除共模干扰的影响,提出了一种新型双质量陀螺仪。依据双质量硅微陀螺的结构和工作原理,对该陀螺的驱动模态进行了理论分析,并提出了简化的动力学方程。利用ANSYS有限元软件对陀螺的驱动模态进行了数值仿真,并对陀螺仪样品进行了电路测试。通过几种不同的加载方式,分别得到了相应的仿真和测试的幅频曲线,结果表明,仿真和实验结果与理论分析完全一致,且双边驱动方式要优于单边驱动方式,反向驱动方式可以使陀螺仪在工作模态运动。仿真和实验结果验证了双质量硅微陀螺的驱动模态特性。 展开更多
关键词 双质量陀螺 驱动模态 ANSYS仿真 扫频实验
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硅微陀螺仪的正交误差分析 被引量:2
2
作者 杨波 周百令 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1182-1185,共4页
推导了双框架式硅微陀螺仪驱动模态和检测模态的运动方程,定义了驱动位移和敏感位移。在此基础上,利用弹性主轴原理,分别推导了内外框弹性主轴偏转产生的正交误差信号表达式及正交误差信号和敏感信号的比值表达式。分析结果表明,双框架... 推导了双框架式硅微陀螺仪驱动模态和检测模态的运动方程,定义了驱动位移和敏感位移。在此基础上,利用弹性主轴原理,分别推导了内外框弹性主轴偏转产生的正交误差信号表达式及正交误差信号和敏感信号的比值表达式。分析结果表明,双框架式硅微陀螺仪内外框弹性主轴发生偏转时,都将产生正交误差位移,且双框架式硅微陀螺仪产生的正交误差位移数值相当于单框架式硅微陀螺仪正交误差位移的两倍。测定了双框架式硅微陀螺仪的正交误差,正交误差信号,其值为431°/s,此时偏转角度仅为0.0196°。 展开更多
关键词 硅微陀螺仪 正交误差信号 弹性主轴 驱动模态 检测模态
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微机械隧道陀螺的振动特性测试 被引量:2
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作者 李文望 王凌云 《中国测试》 CAS 2011年第1期10-12,30,共4页
结合微机械陀螺仪和隧道效应的特点,提出了角振动微机械隧道陀螺仪的工作原理和结构设计方案。针对微机械陀螺的驱动和检测在面内和面外的结构特点,制定了图像处理法、静电力阶跃激励法和机械激励法等振动特性测试方法,在大气环境下分... 结合微机械陀螺仪和隧道效应的特点,提出了角振动微机械隧道陀螺仪的工作原理和结构设计方案。针对微机械陀螺的驱动和检测在面内和面外的结构特点,制定了图像处理法、静电力阶跃激励法和机械激励法等振动特性测试方法,在大气环境下分别对隧道陀螺仪驱动和检测模态的振动特性进行了测试,得到了相应的谐振频率,采用不同的方法得到的结果基本一致。 展开更多
关键词 微机械隧道陀螺仪 驱动模态 敏感模态
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MEMS振动陀螺驱动模态稳幅特性与控制 被引量:2
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作者 何胜 王巍 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第4期469-473,共5页
微机电哥氏振动陀螺控制系统分析主要包括驱动模态和检测模态两个部分。对于微机电哥氏振动陀螺驱动控制多采用类比LCR振荡电路的间接分析方法,不能精确定量的分析微机电哥氏振动陀螺驱动稳幅控制的系统特性与控制参数,也未能明确提出... 微机电哥氏振动陀螺控制系统分析主要包括驱动模态和检测模态两个部分。对于微机电哥氏振动陀螺驱动控制多采用类比LCR振荡电路的间接分析方法,不能精确定量的分析微机电哥氏振动陀螺驱动稳幅控制的系统特性与控制参数,也未能明确提出微机电哥氏振动陀螺的驱动稳幅回路对象模型及其特点;针对这一问题,采用脉冲响应函数法,推导了微机电哥氏振动陀螺的驱动稳幅回路被控对象数学模型,经过实际系统测试验证了模型分析的准确性。在分析了该模型特点和物理本质的基础上,结合工程实践阐述微机电哥氏振动陀螺驱动稳幅控制回路的两种实现方式,并比较了两种实现方式的优缺点。 展开更多
关键词 微机电哥氏振动陀螺 驱动模态 对象模型 实现方法
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振动式微机械陀螺的驱动模态的研究 被引量:1
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作者 李锦明 张文栋 苏淑靖 《测试技术学报》 2004年第z6期219-222,共4页
本文针对的是振动式微机械陀螺自动增益驱动模态的研究.通常的振动式微机械陀螺的驱动模态采用交-直流电压变化的办法来获取振幅信号,然后通过反馈去控制驱动电压,从而达到恒幅振荡的效果.本文提出了一种直接由交流信号去控制驱动电压... 本文针对的是振动式微机械陀螺自动增益驱动模态的研究.通常的振动式微机械陀螺的驱动模态采用交-直流电压变化的办法来获取振幅信号,然后通过反馈去控制驱动电压,从而达到恒幅振荡的效果.本文提出了一种直接由交流信号去控制驱动电压的方法,这就避免了由交-直流电压变化造成的延时,达到实时自动增益控制的效果. 展开更多
关键词 振动式微机械陀螺 恒幅振荡 驱动模态
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