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硅基MEMS红外光源制造及其辐射特性研究
被引量：
1
1
作者
曹嘉峰
孙玉虹
+4 位作者
王成
孔龄婕
陈晓勇
许卓
丑修建
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期276-280,共5页
结合现有微机电系统（MEMS）制造工艺加工设计了一种新型的硅基MEMS红外辐射光源,该光源采用辐射功能层悬浮结构,主要包括微米量级多晶硅辐射层、重掺杂单晶硅反射层、二氧化硅保护层、支撑层和金属电极层;采用硼离子注入技术对多晶硅...
结合现有微机电系统（MEMS）制造工艺加工设计了一种新型的硅基MEMS红外辐射光源,该光源采用辐射功能层悬浮结构,主要包括微米量级多晶硅辐射层、重掺杂单晶硅反射层、二氧化硅保护层、支撑层和金属电极层;采用硼离子注入技术对多晶硅辐射层进行掺杂改性,实现多晶硅辐射层良好的电阻加热和体辐射效应;采用光谱辐射计对MEMS红外光源辐射光谱进行测试,显示光谱辐射波段为2~14μm;光源驱动电压为5.8 V时,电光转化效率达9.76%,光源开启时间约为20 ms,关断时间约为10 ms,总驱动响应时间为30 ms。
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关键词
MEMS红外光源
多晶硅
电光转化效率
驱动
响应
时间
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职称材料
题名
硅基MEMS红外光源制造及其辐射特性研究
被引量：
1
1
作者
曹嘉峰
孙玉虹
王成
孔龄婕
陈晓勇
许卓
丑修建
机构
中北大学电子测试技术国防重点实验室
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期276-280,共5页
基金
国家自然科学基金项目(No.51275492)
中国博士后科学基金特别项目(No.2013T60557)
+1 种基金
中国博士后科学基金面上项目(No.2012T52118)
江苏省博士后科研计划项目(No.1201038C)资助
文摘
结合现有微机电系统（MEMS）制造工艺加工设计了一种新型的硅基MEMS红外辐射光源,该光源采用辐射功能层悬浮结构,主要包括微米量级多晶硅辐射层、重掺杂单晶硅反射层、二氧化硅保护层、支撑层和金属电极层;采用硼离子注入技术对多晶硅辐射层进行掺杂改性,实现多晶硅辐射层良好的电阻加热和体辐射效应;采用光谱辐射计对MEMS红外光源辐射光谱进行测试,显示光谱辐射波段为2~14μm;光源驱动电压为5.8 V时,电光转化效率达9.76%,光源开启时间约为20 ms,关断时间约为10 ms,总驱动响应时间为30 ms。
关键词
MEMS红外光源
多晶硅
电光转化效率
驱动
响应
时间
Keywords
MEMS infrared source
polycrystalline silicon
electro-optic convert efficiency
drive time
分类号
TN219 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅基MEMS红外光源制造及其辐射特性研究
曹嘉峰
孙玉虹
王成
孔龄婕
陈晓勇
许卓
丑修建
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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