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面向IC制造的硅片机器人传输系统综述 被引量：20
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作者 丛明 杜宇 +1 位作者 沈宝宏 金立刚 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期261-266,共6页
介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持... 介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨. 展开更多
关键词 集成电路 硅片机器人传输系统 硅片机器人 预对准装置
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