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可调谐超快激光贝塞尔光束加工方法研究
1
作者 全宏升 马威峰 +5 位作者 唐赞 张宗全 金昌骏 邱丽荣 徐可米 赵维谦 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第8期56-64,共9页
为了实现高效率和加工精度可灵活调节的超快激光微器件加工,提出了一种基于可调谐贝塞尔光束的超快激光加工方法。该方法通过调节可对初级贝塞尔光束压缩的双远心光学系统压缩比,实现了超快激光贝塞尔光束的中心主瓣半径和最大无衍射传... 为了实现高效率和加工精度可灵活调节的超快激光微器件加工,提出了一种基于可调谐贝塞尔光束的超快激光加工方法。该方法通过调节可对初级贝塞尔光束压缩的双远心光学系统压缩比,实现了超快激光贝塞尔光束的中心主瓣半径和最大无衍射传输距离的灵活调节,其中不同压缩比的双远心光学系统通过闭环反馈控制的高分辨位移音圈致动器控制实现。理论分析和实验测试证实,在锥透镜(底角2°)和双远心光学系统(f_(1)=250 mm,f_(2)=36、18、9 mm)配合下,超快激光贝塞尔光束的中心主瓣半径和最大无衍射传输距离分别为3.73μm和5.28 mm,1.86μm和1.32 mm,0.93μm和0.33 mm。同时,设计了一套贝塞尔光束检测系统,可以实现对上述设计的可调谐贝塞尔光束的精确测量。最后对厚度为1 mm的熔融石英样品进行了打孔实验,实验结果表明熔融石英上的表面微孔直径与设计的贝塞尔光束的中心主瓣直径相符。该研究内容为实现高精密高效超快激光加工提供了一种新方法,具备工程化价值。 展开更多
关键词 超快激光加工 贝塞尔光束 双远心光学系统 音圈致动器
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具有比例螺丝管型特性的长行程线性音圈致动器
2
《微特电机》 北大核心 2005年第2期48-48,共1页
一种音圈致动器，它提供了一个比例螺线管型特性，其中第一第第二磙铁被配置在第一次磁极杆的不同磁并在相反方向中被磁化。第一软磁极杆的长工大于第一磁铁的长度和第二磁铁的长度。
关键词 长行程线性音圈致动器 磁通路 磁铁 磁化 比例螺线管型特性 磁极杆
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具有比例螺丝管型特性的长行程线性音圈致动器
3
《微电机》 北大核心 2005年第1期81-81,共1页
一种音圈致动器，它提供了一个比例螺线管型特性，其中第一与第二磁铁被配置在第一软磁极杆的不同端并在相反方向中被磁化。第一软磁极杆的长度大于第一磁铁的长度和第二磁铁的长度。一个线圈，它的长度小于第一软磁极杆的长度，并被配... 一种音圈致动器，它提供了一个比例螺线管型特性，其中第一与第二磁铁被配置在第一软磁极杆的不同端并在相反方向中被磁化。第一软磁极杆的长度大于第一磁铁的长度和第二磁铁的长度。一个线圈，它的长度小于第一软磁极杆的长度，并被配置使能够沿第一软磁极杆和第一与第二磁铁的公共轴线移动，一个结构，在第一和第二磁铁的自由端之间提供一个磁通路。 展开更多
关键词 长行程线性音圈致动器 比例螺丝管型特性 磁化 磁铁
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专利快讯
4
《微特电机》 北大核心 2005年第4期48-48,共1页
关键词 直线电机 线性电机 振子装置 线圈 线性音圈致动器 电磁涡流耗能调谐阻尼器 液体磁流式发电机 线性驱动装置
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