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题名离子注入温度对NPN晶体管的影响探究
被引量：2
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作者
刘春玲
沈今楷
王星杰
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机构
上海华虹宏力半导体制造有限公司
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出处
《集成电路应用》
2019年第7期34-36,共3页
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基金
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223)
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文摘
通过使用不同冷却系统的离子注入机台(昆腾和GSD200),调整靶盘的转速等实现离子注入温度的改变,研究NPN晶体管发射极离子注入温度对NPN晶体管的影响。实验结果表明离子注入温度越高,NPN晶体管的电流增益会随之降低。热波法检测结果显示离子注入温度越高,硅晶圆表面注入损伤越严重,注入损伤会使载流子迁移率下降,少子寿命降低,从而降低了双极晶体管发射极的注入效率,导致NPN双极结型晶体管的共射极的电流增益变小。
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关键词
集成电路制造
NPN
双极结型晶体管
电流增益
离子注入
靶盘温度
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Keywords
integrated circuit manufacturing
NPN
bipolar
current gain
ion implant
disk temperature
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分类号
TN32
[电子电信—物理电子学]
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题名7 MHU热容量液态金属轴承CT球管的研制
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作者
李旭
胡银富
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机构
北京智束科技有限公司
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出处
《真空电子技术》
2023年第6期34-39,共6页
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文摘
阐述了7 MHU液态金属轴承CT球管的研制过程及取得的相关成果,重点阐述了电子束聚焦、阳极靶盘热分析和液态金属轴承等核心组件的技术解决方案。样机测试结果表明,大、小焦点尺寸均优于标称最大尺寸,高功率老炼后阳极靶面没有明显打火点和焊料熔化现象,24 h测试中样机正常运转,轴承未出现异常,验证了核心组件技术方案的正确性。
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关键词
高热容量
球管性能参数
焦点尺寸
靶盘温度分布
液态金属轴承
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Keywords
High heat capacity
CT tube performance parameters
Focus size
Temperature distribution of target plate
Liquid metal bearing
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分类号
TN14
[电子电信—物理电子学]
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