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溅射靶材的制备及应用研究
被引量：
27
1
作者
金永中
刘东亮
陈建
《四川理工学院学报（自然科学版）》
CAS
2005年第3期22-24,共3页
随着电子及信息产业迅猛发展,全球溅射靶材的需求量越来越多。文章介绍了靶材的分类、制备方法和应用情况,并指出了目前溅射靶材急需解决的几个重大问题。
关键词
溅射
靶材
制备
集成电路
平面显示器
光学镀膜
下载PDF
职称材料
题名
溅射靶材的制备及应用研究
被引量：
27
1
作者
金永中
刘东亮
陈建
机构
四川理工学院材料与化学工程系
出处
《四川理工学院学报（自然科学版）》
CAS
2005年第3期22-24,共3页
文摘
随着电子及信息产业迅猛发展,全球溅射靶材的需求量越来越多。文章介绍了靶材的分类、制备方法和应用情况,并指出了目前溅射靶材急需解决的几个重大问题。
关键词
溅射
靶材
制备
集成电路
平面显示器
光学镀膜
Keywords
sputtering
preparation of target materials
IC
flat panel display
optical coating
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
溅射靶材的制备及应用研究
金永中
刘东亮
陈建
《四川理工学院学报（自然科学版）》
CAS
2005
27
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