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题名面投影微立体光刻技术研究进展
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作者
于成龙
王秀峰
江红涛
单联娟
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机构
陕西科技大学材料科学与工程学院
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出处
《新技术新工艺》
2006年第5期22-25,共4页
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基金
陕西省自然科学基金项目资助(2000C35)
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文摘
综述了国内外最近几年面投影微立体光刻技术的研究进展。阐述了液晶动态掩膜技术和数字微反射镜动态掩膜技术的基本原理。分析了两者的技术核心并对相关参数进行了比较。最后,对该技术的发展前景作了展望。
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关键词
面投影微立体光刻
微制造
快速原型制造
MEMS
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Keywords
integral microstereolithography, microfabrication, rapid prototyping, MEMS
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分类号
TH164
[机械工程—机械制造及自动化]
TN205
[电子电信—物理电子学]
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题名面投影微立体光刻系统的开发和研究
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作者
周庚侠
班书宝
吴东岷
顾济华
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机构
苏州大学物理科学与技术学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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出处
《制造业自动化》
北大核心
2011年第2期129-132,共4页
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基金
国家重点基础研究发展计划(G2009CB929300)
国家自然科学基金委员会青年科学基金项目资助(60807039/F050105)
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文摘
面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,设计新的树脂槽和涂覆系统。对系统中使用的投影镜头的光学分辨率以及树脂的工作曲线进行了测量,系统的加工横线分辨率可以达到14μm。利用该系统成功制作了齿轮的模型。
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关键词
面投影微立体光刻
复合材料
MTF测量
树脂固化曲线
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分类号
TG659
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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