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大口径连续相位板面形检测与评价
被引量：
7
1
作者
温圣林
石琦凯
+3 位作者
颜浩
张远航
杨春林
王健
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期2296-2300,共5页
基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开...
基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开展了数值模拟和检测实验。理论计算结果表明:系统计算误差为0.005nm。实验结果表明,整个检测系统软硬件RMS误差小于5nm,基本满足CPP面形检测要求。从而验证了CPP检测和评价的正确性和可行性。
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关键词
光学设计与制造
连续相位板
子孔径拼接检测
面
形
残差
惯性约束聚变
下载PDF
职称材料
题名
大口径连续相位板面形检测与评价
被引量：
7
1
作者
温圣林
石琦凯
颜浩
张远航
杨春林
王健
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期2296-2300,共5页
文摘
基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开展了数值模拟和检测实验。理论计算结果表明:系统计算误差为0.005nm。实验结果表明,整个检测系统软硬件RMS误差小于5nm,基本满足CPP面形检测要求。从而验证了CPP检测和评价的正确性和可行性。
关键词
光学设计与制造
连续相位板
子孔径拼接检测
面
形
残差
惯性约束聚变
Keywords
optical design and fabrication
continuous phase plate
sub-aperture stitching interferometry
residual surface error
inertial confinement fusion
分类号
O435.2 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径连续相位板面形检测与评价
温圣林
石琦凯
颜浩
张远航
杨春林
王健
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
7
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职称材料
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