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非球面非零位横向剪切干涉检测与波前重建
被引量：
3
1
作者
王起维
董申
+2 位作者
孙涛
韩成顺
Shekhtman V N
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2013年第3期261-270,共10页
本文分析了非球面非零位检测中3种典型的非球面度及其变化率、调整误差、回程误差以及干涉仪系统误差,提出了非球面度变化率是影响检测误差的主要因素,并给出了非球面非零位检测面形加工误差的确定方法.对基于Zernike多项式拟合的最小...
本文分析了非球面非零位检测中3种典型的非球面度及其变化率、调整误差、回程误差以及干涉仪系统误差,提出了非球面度变化率是影响检测误差的主要因素,并给出了非球面非零位检测面形加工误差的确定方法.对基于Zernike多项式拟合的最小二乘法和系数转换法进行了对比研究,分析了剪切量和多项式拟合阶数对波前重建精度的影响,并给出了数值模拟结果.为了验证以上方法的可行性及检测精度,针对一单点金刚石车削的抛物面反射镜,利用顶点球作为测试波前进行非零位横向剪切干涉检测,并用最小二乘法进行波前重建.实验结果表明,在非球面度变化率最大的反射镜边缘处面形误差最大,达到0.203μm,研究结果为横向剪切干涉仪用于非球面加工过程中在位检测提供了技术支撑.
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关键词
非球
面
检测
非零位检测
横向剪切干涉检测
波前重建
面
形
加工
误差
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职称材料
题名
非球面非零位横向剪切干涉检测与波前重建
被引量：
3
1
作者
王起维
董申
孙涛
韩成顺
Shekhtman V N
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
俄罗斯工程物理实验室有限责任公司
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2013年第3期261-270,共10页
基金
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金资助项目(10776006)
文摘
本文分析了非球面非零位检测中3种典型的非球面度及其变化率、调整误差、回程误差以及干涉仪系统误差,提出了非球面度变化率是影响检测误差的主要因素,并给出了非球面非零位检测面形加工误差的确定方法.对基于Zernike多项式拟合的最小二乘法和系数转换法进行了对比研究,分析了剪切量和多项式拟合阶数对波前重建精度的影响,并给出了数值模拟结果.为了验证以上方法的可行性及检测精度,针对一单点金刚石车削的抛物面反射镜,利用顶点球作为测试波前进行非零位横向剪切干涉检测,并用最小二乘法进行波前重建.实验结果表明,在非球面度变化率最大的反射镜边缘处面形误差最大,达到0.203μm,研究结果为横向剪切干涉仪用于非球面加工过程中在位检测提供了技术支撑.
关键词
非球
面
检测
非零位检测
横向剪切干涉检测
波前重建
面
形
加工
误差
Keywords
aspheric surface testing
non-null testing
lateral shearing interferometric testing
wavefront re-construction
surface machining error
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非球面非零位横向剪切干涉检测与波前重建
王起维
董申
孙涛
韩成顺
Shekhtman V N
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2013
3
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