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题名红外光电探测器件市场与发展
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作者
张钧屏
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机构
中国科学院上海技术物理研究所
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出处
《世界产品与技术》
2000年第10期34-36,共3页
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关键词
红外光电探测器
市场
非致冷集平面探测器
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分类号
TN215
[电子电信—物理电子学]
F407.635
[经济管理—产业经济]
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题名氮化硅支撑层薄膜的PECVD法制备及性能研究
被引量：4
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作者
莫镜辉
刘黎明
太云见
杨培志
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机构
昆明物理研究所
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出处
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期804-807,共4页
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文摘
采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100))上成功制备了用于非致冷红外焦平面阵列微桥结构支撑层的氮化硅薄膜。采用X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)及原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的微观结构和表面形貌;分别采用台阶仪、薄膜应力分布测试仪和快速退火炉等手段测试了薄膜的厚度均匀性,应力大小和耐温性能等参数。结果表明,制备氮化硅薄膜为非晶态,含有少量的氢,主要表现为Si-N键合;薄膜表面平整、致密,厚度不均匀性小于5%,具有107Pa的较低压应力,耐温性能较好。
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关键词
氮化硅薄膜
PECVD
非致冷焦平面探测器
微桥结构支撑层
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Keywords
silicon nitride thin films
PECVD
UFPA
microbridge structure supporting membranes
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分类号
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
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题名基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计
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作者
史佳欣
陈超
王军
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机构
电子科技大学光电科学与工程学院
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出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2020年第1期15-19,共5页
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文摘
基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法,采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真,具体工作包括:单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模,结合实际MEMS结构的材料参数,进行了电学与热电耦合多物理场有限元仿真模拟分析。通过仿真优化获得探测单元的主要热电参数、响应时间和响应率,分别为:热导4.31×10-8 W/K、热容2.69×10-10 J/K、电压响应率(未经后端读出电路放大)7 200V/W、热响应时间6.24ms。采用所提出的微桥设计仿真方法,可显著提高器件设计效率和设计精度,缩短研发周期,可满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求。
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关键词
微测辐射热计
小像元
非致冷红外焦平面探测器
有限元仿真
热电耦合分析
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Keywords
microbolometer
small pixel
uncooled infrared focal plane detector
finite element simulation
thermal-couple
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分类号
TN215
[电子电信—物理电子学]
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