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题名压电微动平台的改进PI迟滞模型研究
被引量:5
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作者
方凡
崔玉国
梁冬泰
李勇
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机构
宁波大学机械工程与力学学院
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期69-71,75,共4页
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基金
教育部回国人员科研启动基金资助项目
宁波市自然科学基金资助项目(2011A610138)
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文摘
为了建立既有较高精度又有较快运算速度的压电微动平台迟滞模型,对传统PI迟滞模型进行了改进研究。由于压电微动平台初载曲线前半升程斜率变化较大,而后半升程斜率变化较小,因此,采用非等分域值方法建立了其PI迟滞模型,通过求取所建模型与实测初载曲线误差的最小二范数辨识出了模型的相应参数,实验验证了所建模型的有效性。实验结果表明,在20.7μm的平台最大位移范围内,模型的最大误差为0.71μm,平均误差为0.23μm。
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关键词
压电微动平台
迟滞模型
PI模型
非等分阈值
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Keywords
piezoelectric micro-positioning stage
hysteresis model
PI model
non-equinterval threshold value
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分类号
TM282
[一般工业技术—材料科学与工程]
TN384
[电气工程—电工理论与新技术]
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