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一种基于自动对焦的非球面测量系统
被引量：
1
1
作者
仲进安
郭隐彪
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2004年第7期50-53,共4页
影响高精度非球面磨削加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数 ,而且取决于制造系统所采用的测试手段和所能达到的测量精度。针对非球面制造系统的测量特点 ,将光栅测量技术和光学显微镜自动对焦技术引入环节 ,进而提高对非球面工...
影响高精度非球面磨削加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数 ,而且取决于制造系统所采用的测试手段和所能达到的测量精度。针对非球面制造系统的测量特点 ,将光栅测量技术和光学显微镜自动对焦技术引入环节 ,进而提高对非球面工件的测量精度 ,解决了制约非球面加工精度提高的测量问题。
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关键词
自动对焦
非球面
测量
系统
磨削加工
光电检测技术
加工精度
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职称材料
猫眼波前定位虚实结合干涉非球面参数误差测量(特邀)
被引量：
2
2
作者
胡摇
陶鑫
郝群
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第9期104-113,共10页
非球面广泛应用于光学系统中。表征非球面的基本参数包括顶点曲率半径、圆锥系数以及高阶非球面系数,它们贯穿了非球面的设计、制造、检测、装调过程。对非球面参数的高精度测量是加工和装调的前提。提出了一种基于虚实结合干涉仪的部...
非球面广泛应用于光学系统中。表征非球面的基本参数包括顶点曲率半径、圆锥系数以及高阶非球面系数,它们贯穿了非球面的设计、制造、检测、装调过程。对非球面参数的高精度测量是加工和装调的前提。提出了一种基于虚实结合干涉仪的部分补偿非球面参数误差测量系统。在该系统中,采用部分补偿干涉法测量剩余波前,复用干涉仪利用轴向扫描透镜的猫眼波前定位法测量补偿镜与被测镜之间的间距,采用虚实结合迭代算法进行参数误差求解。该系统仅需在部分补偿干涉光路中引入会聚透镜,装调简单,测量精度高。通过一个四次非球面参数误差测量实验验证了该方法的有效性和精度。
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关键词
仪器科学与技术
非球面
参数误差
测量
系统
虚实结合干涉法
猫眼波前定位
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职称材料
题名
一种基于自动对焦的非球面测量系统
被引量：
1
1
作者
仲进安
郭隐彪
机构
桂林电子工业学院电子工程系
厦门大学物理与机电工程学院
出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2004年第7期50-53,共4页
文摘
影响高精度非球面磨削加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数 ,而且取决于制造系统所采用的测试手段和所能达到的测量精度。针对非球面制造系统的测量特点 ,将光栅测量技术和光学显微镜自动对焦技术引入环节 ,进而提高对非球面工件的测量精度 ,解决了制约非球面加工精度提高的测量问题。
关键词
自动对焦
非球面
测量
系统
磨削加工
光电检测技术
加工精度
Keywords
Automatic Focusing
Photoelectric Inspecting Technology
Aspheric Surface
Manufacturing Accuracy
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
猫眼波前定位虚实结合干涉非球面参数误差测量(特邀)
被引量：
2
2
作者
胡摇
陶鑫
郝群
机构
北京理工大学精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第9期104-113,共10页
基金
国家自然科学基金(51735002)
中国科学院战略性先导科技专项(XDA25020317)。
文摘
非球面广泛应用于光学系统中。表征非球面的基本参数包括顶点曲率半径、圆锥系数以及高阶非球面系数,它们贯穿了非球面的设计、制造、检测、装调过程。对非球面参数的高精度测量是加工和装调的前提。提出了一种基于虚实结合干涉仪的部分补偿非球面参数误差测量系统。在该系统中,采用部分补偿干涉法测量剩余波前,复用干涉仪利用轴向扫描透镜的猫眼波前定位法测量补偿镜与被测镜之间的间距,采用虚实结合迭代算法进行参数误差求解。该系统仅需在部分补偿干涉光路中引入会聚透镜,装调简单,测量精度高。通过一个四次非球面参数误差测量实验验证了该方法的有效性和精度。
关键词
仪器科学与技术
非球面
参数误差
测量
系统
虚实结合干涉法
猫眼波前定位
Keywords
instrument science and technology
aspheric parameter error measurement system
virtualreal combination interferometry
cat-eye wavefront positioning
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种基于自动对焦的非球面测量系统
仲进安
郭隐彪
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2004
1
下载PDF
职称材料
2
猫眼波前定位虚实结合干涉非球面参数误差测量(特邀)
胡摇
陶鑫
郝群
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
2
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职称材料
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