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非球面度梯度均方根法确定最佳比较球面及应用 被引量：3
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作者 李俊峰 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2015年第10期1550-1556,共7页
非球面度是非球面光学元件的重要参数,其值大小及其分布情况将影响到所采用的加工工艺、加工余量大小等。非球面度梯度值可以表征非球面的加工难度,在分析近似公式法、最大非球面度最小化法、最大非球面度梯度最小化法计算非球面最佳比... 非球面度是非球面光学元件的重要参数,其值大小及其分布情况将影响到所采用的加工工艺、加工余量大小等。非球面度梯度值可以表征非球面的加工难度,在分析近似公式法、最大非球面度最小化法、最大非球面度梯度最小化法计算非球面最佳比较球面基础上,提出了非球面度梯度均方根值最小化法优化非球面最佳比较球面,从非球面整个镜面非球面度的梯度值考虑了加工的难度,特别适用于大口径高陡度非球面最佳比较球面的确定。以一个有效口径φ1000 mm、F/1.44的非球面为例,分析比较了4种方法的计算结果,结果表明非球面度梯度均方根值最小化法是一种综合考虑非球面加工难度和材料去除量的非球面最佳比较球面确定方法,得到的非球面度分布拐点在整个镜面口径的0.82位置附近。按照非球面度均方根值评价加工难度,均方根值最小化法的非球面度的均方根值为传统最大非球面度最小化法的2/3,显著的降低了加工的难度,对加工工艺的确定及表面全频误差段质量控制具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 非球面度 非球面度梯度 均方根 加工 检测
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非球面成形致动器排布方法的研究
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作者 曾春梅 余景池 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期292-300,共9页
为了实现超薄球面镜的非球面成形,提出了一种采用非球面梯度法求致动器排布初始解的方法。给出了该方法的理论依据、排布方法以及计算非球面度梯度的两种公式;以一大口径离轴超薄非球面镜为例,用非球面度梯度的两种计算公式分别求出了... 为了实现超薄球面镜的非球面成形,提出了一种采用非球面梯度法求致动器排布初始解的方法。给出了该方法的理论依据、排布方法以及计算非球面度梯度的两种公式;以一大口径离轴超薄非球面镜为例,用非球面度梯度的两种计算公式分别求出了致动器排布初始解,完成了非球面成形的有限元分析,得到了满足面形精度RMS值为21.09 nm的最终解;最后,介绍了致动器排布的优化步骤,比较了非球面梯度法、正方形法和环形法的差异。结果显示,用非球面度梯度平均值公式求出的初始解与最终解最接近,符合非球面度梯度变化率与致动器面密度的关系,而通过优化还能进一步减少致动器数量和面形残差。在相同面形精度下,非球面梯度法排布的致动器个数约为正方形和环形排布的1/2或更少;在相同致动器个数下,非球面梯度法排布的面形残差RMS值约为正方形和环形排布的1/3或更小。结果表明,非球面梯度法更适合在非球面成形领域用于求解致动器排布初始解。 展开更多
关键词 非球面成形 致动器排布 非球面度梯度 有限元法
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