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非本征型光纤法珀干涉仪的微加工技术研究
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作者 徐兵 《科技信息》 2010年第26期119-119,共1页
本文分析了非本征型光纤法珀干涉仪的几种主要的制作工艺:手工制作、化学腐蚀和激光微加工。三种方法各有其特点,本文主要总结化学腐蚀和激光微加工这两种方法。
关键词 非本光纤法珀干涉仪 化学腐蚀 激光微加工
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