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静电微电机及其可靠性分析 被引量：2
1
作者 张文明 孟光 周健斌 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期50-56,共7页
自 198 7年首台静电微电机诞生以来 ,微电子机械系统 (micro electro mechanicalsystem ,MEMS)的研究和开发已取得突破性进展。对静电微电机的可靠性研究现状进行综述 ,介绍静电微电机主要结构元件呈现的失效模式和机理 ,以及摩擦、磨... 自 198 7年首台静电微电机诞生以来 ,微电子机械系统 (micro electro mechanicalsystem ,MEMS)的研究和开发已取得突破性进展。对静电微电机的可靠性研究现状进行综述 ,介绍静电微电机主要结构元件呈现的失效模式和机理 ,以及摩擦、磨损、粘附等特性对微电机运行稳定性的影响 ,从不同角度探讨减少微电机失效的问题 ,介绍各种测试方法、检测仪器、润滑抗粘附材料和解决方案 。 展开更多
关键词 微电子机械系统 静电微电机 可靠性
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双定子静电微电机控制系统的信号检测研究 被引量：3
2
作者 张忠榕 刘武 +1 位作者 张卫平 陈文元 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期18-20,23,共4页
介绍了一种基于悬浮转子微陀螺的双定子轴向静电微电机控制系统的信号检测方法,它对实现悬浮转子旋转驱动的闭环控制尤为重要,其主要特点是采用互相关检测—锁定放大、DSP控制直接数字频率合成(DDS)产生正弦波,并通过实际正弦波发生电... 介绍了一种基于悬浮转子微陀螺的双定子轴向静电微电机控制系统的信号检测方法,它对实现悬浮转子旋转驱动的闭环控制尤为重要,其主要特点是采用互相关检测—锁定放大、DSP控制直接数字频率合成(DDS)产生正弦波,并通过实际正弦波发生电路和系统仿真验证其可行性,这些提供了解决微小电容检测在实际电路实现上的一些关键问题的办法,为实际电路参数选择提供重要参考。 展开更多
关键词 静电微电机 互相关检测 直接数字频率合成 锁定放大
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基于遗传算法的静电微电机优化设计 被引量：1
3
作者 宫香山 刘晓伟 何广平 《微特电机》 北大核心 2014年第7期11-14,共4页
针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法。实验结果... 针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法。实验结果表明,优化后电机的平均力矩提高,而其波动明显减小。 展开更多
关键词 可变电容 静电微电机 优化设计 遗传算法
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顶面驱动可变电容静电微电机的优化设计
4
作者 宫香山 刘晓伟 何广平 《微电机》 北大核心 2014年第5期21-26,共6页
针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法,并通过有... 针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法,并通过有限元分析对提出的方法进行了有效性验证,实现了静电微电机的快速优化设计。 展开更多
关键词 可变电容 静电微电机 优化设计 有限元分析
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微机电系统中微电机的发展趋暖 被引量：2
5
作者 施进浩 陈宝 《世界产品与技术》 2003年第12期42-45,共4页
文章介绍了微机电系统中的关键执行部件-超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、鞭毛电机、超声波微电枧等。分析了其原理,分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了徽电子机械系统中微电机的发展趋势。
关键词 微机电系统 超微电机 静电型微电机 电磁型微电机 鞭毛电机 超声波微电机
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微电子机械系统中的超微电机 被引量：1
6
作者 陈宝 施进浩 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第12期46-48,共3页
介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等。分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。
关键词 微电子机械系统 静电型微电机 电磁型微电机 超声波微电机 超微电机
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微型直流无刷电动机及其控制电路的研制 被引量：3
7
作者 张琛 赵小林 +1 位作者 张寿柏 蔡炳初 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期368-370,390,共4页
本文介绍了直径为２ｍｍ速度可调的微型直流无刷电动机。其主要特点为：１）采用层平面型三相绕组线圈；２）具有多极薄膜磁性转子；３）转速从５０转／分到１０００转／分连续可调；４）可识别磁极位置的微型薄膜变磁阻传感器。
关键词 微型直流无刷电动机 控制电路 微型电动机 定子绕组 位置传感器 磁性转子 制造工艺 静电型微电机 磁阻传感器 输出力矩
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可变电容静电型超微电机的优化设计 被引量：1
8
作者 刘晓伟 何广平 《微特电机》 北大核心 2012年第12期35-37,共3页
可变电容静电型超微电机是一类最早出现的动态MEMS器件。针对其静电力十分微小,且动态性能非常有限,给出了侧面驱动可变电容静电型超微电机的数学模型,并对定子采用单相对称电极顺序通电方式进行驱动,在此基础上提出了优化设计方法。实... 可变电容静电型超微电机是一类最早出现的动态MEMS器件。针对其静电力十分微小,且动态性能非常有限,给出了侧面驱动可变电容静电型超微电机的数学模型,并对定子采用单相对称电极顺序通电方式进行驱动,在此基础上提出了优化设计方法。实验结果表明,优化后电机的输出力矩有所增大,而且波动明显减小,有利于改善电机输出功率的稳定性。 展开更多
关键词 静电型超微电机 优化设计 稳定性 波动
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