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一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器
1
作者
王子龙
刘向明
+5 位作者
高雅浩
彭思敏
修日
杨鹏飞
毋正伟
彭春荣
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第10期1-5,共5页
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器。传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量。通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关...
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器。传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量。通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关键特性,制作了传感器芯片并搭建实验测试平台。测试结果表明,传感器灵敏度达到0.0967/V,线性度6.11%,且该传感器基于振幅比输出的电压灵敏度是基于频率输出的灵敏度的87.9倍,与理论结果一致。
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关键词
静电
压传感器
MEMS
模态局域化
三自由度
静电
弱
耦合
高灵敏度
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职称材料
题名
一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器
1
作者
王子龙
刘向明
高雅浩
彭思敏
修日
杨鹏飞
毋正伟
彭春荣
机构
中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
北京信息科技大学理学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第10期1-5,共5页
基金
国家自然科学基金(62031025,61971398)
国家重点研发计划资助(2018YFF01010800)
中国科学院科研仪器设备研制项目资助(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。
文摘
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器。传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量。通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关键特性,制作了传感器芯片并搭建实验测试平台。测试结果表明,传感器灵敏度达到0.0967/V,线性度6.11%,且该传感器基于振幅比输出的电压灵敏度是基于频率输出的灵敏度的87.9倍,与理论结果一致。
关键词
静电
压传感器
MEMS
模态局域化
三自由度
静电
弱
耦合
高灵敏度
Keywords
electrostatic potential sensor
MEMS
mode localization
three degree-of-freedom
electrostatic weak coupling
high sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器
王子龙
刘向明
高雅浩
彭思敏
修日
杨鹏飞
毋正伟
彭春荣
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021
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