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题名一种分时差分的频率调制MEMS加速度计
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作者
汪鹏
黄丽斌
丁徐锴
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机构
东南大学仪器科学与工程学院
东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2024年第6期598-603,612,共7页
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基金
装备预研项目(50917020201)。
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文摘
为提升MEMS加速度计温度适应性,设计了频率调制和分时差分方法。基于静电刚度效应,将敏感质量块因加速度产生的位移变化调制成谐振频率的变化,兼顾了位移检测的温度系数较低与谐振频率检测不易受电路噪声干扰的优点,且采用单个谐振器在时间上通过刚度切换进行分时差分,从而降低零偏随温度的漂移。通过实验测得,在10 V调谐电压下,加速度计室温下的零偏稳定性为76.79μg。-40℃~60℃全温范围内经过分时差分后得到的频差全温变化量为-0.072 Hz,相较于单个刚度状态下的谐振频率变化约7.7 Hz,减小了约99%,验证了静电刚度频率调制和分时差分的有效性。
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关键词
MEMS加速度计
静电刚度频率调制
分时差分
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Keywords
MEMS accelerometer
electrostatic stiffness frequency modulation
temporal difference
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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