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走向光学工业应用的辅助镀膜霍尔等离子体源 被引量：4
1
作者 尤大伟 李安杰 +2 位作者 江建国 武建军 黄小刚 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期679-683,共5页
论述了霍尔等离子体源的工作原理 ,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布。本设计采用永久磁铁并利用极靴产生发散磁场 ,及沿轴向有较大梯度的磁场 。
关键词 光学工业 霍尔等离子体源 光学镀膜 离子束辅助镀膜 工作原理 霍尔电流加速器
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