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题名基于叉指结构的平面分形电容研究
被引量：4
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作者
徐文彬
庄铭杰
王德苗
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机构
集美大学信息工程学院
浙江大学信息与电子工程系
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出处
《集美大学学报（自然科学版）》
CAS
2010年第5期389-393,共5页
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基金
国家自然科学基金资助(50172042)
福建省自然科学基金资助(2009JD1292)
集美大学科研启动基金资助
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文摘
以基于叉指结构的平面分形电容为研究对象,电容由激光刻蚀法制得,在测得其S参数后,利用ADS仿真工具进行了一阶等效电路参数提取及分析.结果表明,随着共面叉指电极间距的相对减小,电极间的耦合增大,相应的寄生电感也增大;而分形设计可以在保证电极间距不变的情况下,改善电容的工作稳定性.最后制得的分形平面电容的电容值在1~7 pF之间,电容稳定工作频率可达2.5 GHz以上,显示了较好的可调性和稳定性.
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关键词
集成薄膜电容
叉指电极
分形
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Keywords
integrated thin film capacitors
interdigital capacitors
fractal
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分类号
TN603.5
[电子电信—电路与系统]
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