期刊文献+
共找到400篇文章
< 1 2 20 >
每页显示 20 50 100
现代传感器发展方向 被引量:168
1
作者 孙圣和 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2009年第1期1-10,共10页
传感器是信息系统的源头,在某种程度上是决定系统特性和性能指标的关键部件。本文试图探讨现代传感器技术发展方向,从概念、原理、性能和应用等层面评述了9种传感器:光纤传感器、集成传感器、MEMS传感器、模糊传感器、智能传感器、多功... 传感器是信息系统的源头,在某种程度上是决定系统特性和性能指标的关键部件。本文试图探讨现代传感器技术发展方向,从概念、原理、性能和应用等层面评述了9种传感器:光纤传感器、集成传感器、MEMS传感器、模糊传感器、智能传感器、多功能传感器、模型传感器、网络传感器及生物传感器,且每类传感器列举了应用实例。 展开更多
关键词 集成传感器 MEMS传感器 智能传感器 多功能传感器 网络传感器
下载PDF
集成霍尔传感器的发展 被引量:25
2
作者 白韶红 《自动化仪表》 CAS 北大核心 2003年第3期1-9,共9页
首先总结了 10 0多年来霍尔效应应用的三个阶段 ,然后介绍各种集成霍尔元件、集成霍尔传感器的原理、结构、特性和应用 ,最后论及到当前新型的量子、等离子霍尔传感器。对霍尔传感器的发展趋势和特点进行了总结。
关键词 霍尔传感器 集成传感器 霍尔效应 发展动向
下载PDF
一种适合集成传感器的微弱信号读出放大器 被引量:10
3
作者 蔡光杰 沈延钊 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期97-100,共4页
 设计了一种适用于低频集成传感器微弱信号检测的低噪声放大器。该电路应用斩波技术抑制低频噪声和失调,利用带通滤波器减少残余失调电压。电路采用0.8μmN阱CMOS工艺设计,并进行了实际流片。对试制样片进行了测试,测得电路的增益为37...  设计了一种适用于低频集成传感器微弱信号检测的低噪声放大器。该电路应用斩波技术抑制低频噪声和失调,利用带通滤波器减少残余失调电压。电路采用0.8μmN阱CMOS工艺设计,并进行了实际流片。对试制样片进行了测试,测得电路的增益为37dB,等效输入噪声为56.4nV/Hz。 展开更多
关键词 集成传感器 微弱信号 读出放大器 信号检测 斩波技术 带通滤波器 CMOS工艺
下载PDF
基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作 被引量:9
4
作者 徐敬波 赵玉龙 +3 位作者 蒋庄德 张大成 杨芳 孙剑 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期302-307,共6页
为满足小体积、多参数测量的要求,采用SOI硅片,设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.根据集成传感器的结构,制定了相... 为满足小体积、多参数测量的要求,采用SOI硅片,设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.根据集成传感器的结构,制定了相应的制备工艺步骤.针对芯片上各电阻间金属引线的可靠性问题和加速度传感器质量块吸附问题提出了有效的改进方法.最后给出了集成传感器芯片的性能测试结果. 展开更多
关键词 集成传感器 SOI MEMS 芯片
下载PDF
高精度硅基集成光学温度传感器研究 被引量:10
5
作者 王艺蒙 舒浩文 韩秀友 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1355-1361,共7页
传统温度检测在传感精度和响应时间等方面存在一定局限性,而基于热光效应的芯片级光电传感器不仅能够提升测量灵敏度和速度,也有利于降低系统复杂度和制造成本,近年来引起了人们广泛的关注。目前的集成温度传感器大多通过测量光学谐振... 传统温度检测在传感精度和响应时间等方面存在一定局限性,而基于热光效应的芯片级光电传感器不仅能够提升测量灵敏度和速度,也有利于降低系统复杂度和制造成本,近年来引起了人们广泛的关注。目前的集成温度传感器大多通过测量光学谐振腔对宽谱光源或可调谐光源的光谱响应来提供精准快速的测量解决方案,但这种基于宽光谱检测的方案无法实现实时处理,且成本较高,信号后处理较复杂,难以实现系统的整体集成。本文针对以上问题,采用硅基集成微环阵列技术设计了快速高精度的温度测量方法,通过对不同温度下级联微环阵列对单频激光的不同响应,构建光电二极管输出响应与温度变化的单调关系,从而实现实时高精度温度测量。为了提升单频光下的温度传感范围,使用多微环级联结构,并基于该结构设计了一种包括光源、微环阵列、探测器阵列、信号后处理单元和输出数据单元的硅基集成温度传感系统。根据实际用途的不同,在保证低功耗低成本的同时,该系统可以通过分别对级联微环数量、中心谐振波长以及谐振峰半高宽的设计改变温度测量范围以及温度测量分辨率,拥有比较大的设计自由度以及灵活的测量范围。通过对微环阵列的优化设计,实现了响应范围覆盖-20~105℃、精度优于60 mK、响应时间优于20μs的精准快速测量的温度传感。 展开更多
关键词 集成光学 温度测量 微环阵列 集成传感器
下载PDF
未来机床——开放式智能数控机床的研究进展 被引量:9
6
作者 韩振宇 李茂月 +1 位作者 富宏亚 姜春雨 《航空制造技术》 2010年第10期38-44,共7页
生产过程中不断出现的新加工需求,要求数控系统具有迅速、高效、经济地面向用户定制的能力。这使得CNC控制器必须具有可重构、可扩展、可移植和可伸缩等特性,并允许用户在集成传感器和加工监控系统的基础上方便地实现“智能控制”。
关键词 智能控制 数控机床 开放式 CNC控制器 用户定制 集成传感器 生产过程 数控系统
下载PDF
一种集成式多参数硅微传感器 被引量:4
7
作者 周建发 赵玉龙 +1 位作者 苑国英 蒋庄德 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期273-276,共4页
为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工... 为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成。测量电阻通过离子注入B+形成扩散电阻。为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置。温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿。芯片大小为5mm×5mm。试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度。 展开更多
关键词 压力传感器 扩散 温度传感器 湿度传感器 集成传感器
下载PDF
全集成式流量传感器 被引量:6
8
作者 黄金彪 李斌 +1 位作者 童勤义 周明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第1期55-61,共7页
本文介绍了利用恒定芯片温度原理工作的全集成式流量传感器,它由三部分组成.CMOS温度敏感级、CMOS运放和加热部分,这三部分由CMOS工艺集成在同一芯片上,不需附加工艺.本文在给出温度敏感级的理论分析和流量传感器工作原理的介绍后,报道... 本文介绍了利用恒定芯片温度原理工作的全集成式流量传感器,它由三部分组成.CMOS温度敏感级、CMOS运放和加热部分,这三部分由CMOS工艺集成在同一芯片上,不需附加工艺.本文在给出温度敏感级的理论分析和流量传感器工作原理的介绍后,报道了传感器用于气体流速(氮气)和液体(水)流速的测量结果,结果表明,该传感器具有如下特点:输出电平和灵敏度高(在传感器芯片温度T_c与流体温度了T_f之差为15℃、流速V_f为50cm/s的氮气条件下,传感器的输出可达500毫伏);响应时间快(在T_c-T_f=5℃、V_f=50cm/s时,响应时间为7秒);芯片尺寸小(2.02×1.62mm^2);成本低(因用普通工艺);用单5伏电源工作与微处理机自然接口等.对水流流速的试验还表明,该传感器特别适合于低流速水的测量. 展开更多
关键词 集成传感器 流量传感器 CMOS
下载PDF
基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器 被引量:4
9
作者 武宇 赵湛 +1 位作者 方震 张博军 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z3期101-103,共3页
微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义。基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器。分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚... 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义。基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器。分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚胺薄膜对湿度、温度、压力进行检测,并且进行了理论计算,设计了加工工艺步骤,制作出雏形器件。 展开更多
关键词 集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿
下载PDF
工程车辆液压系统检测仪的关键技术及实现 被引量:6
10
作者 凌海风 高亚明 +1 位作者 韩军 肖燕妮 《液压与气动》 北大核心 2006年第5期24-26,共3页
文章介绍了一种采用嵌入加载阀的集成传感器的工程车辆液压系统检测仪的结构原理、性能特点和测试方法,满足了在同一点、同时、高精度测出液压系统压力、流量、温度等3个重要参数的要求。最后给出了故障检测与诊断实例。
关键词 液压系统 检测仪 集成传感器 测试方法
下载PDF
带有集成传感器的轴承单元 被引量:5
11
作者 杜迎辉 程俊景 《轴承》 北大核心 2002年第5期39-40,共2页
传感轴承亦称智能轴承 ,是把具有某些功能的传感器与轴承结合为一体结构单元。它除支承转轴外还可测量两套圈的相对运动 ,传感记录旋转速度与方向 ,从这些数据可获得角速度及转速。附表 1个 ,图
关键词 智能轴承 深沟球轴承 集成传感器 轴承单元 结构 工作原理
下载PDF
Morphable three-dimensional electronic mesofliers capable of on-demand unfolding 被引量:3
12
作者 Ziyao Ji Jianzhong Zhao +12 位作者 Honglie Song Shiwei Xu Wenbo Pang Xiaonan Hu Fan Zhang Tianqi Jin Yumeng Shuai Yu Lan Di Cheng Wenwen Man Renheng Bo Zhaoguo Xue Yihui Zhang 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第8期2309-2318,共10页
Development of miniaturized three-dimensional(3 D)fliers with integrated functional components has important implications to a diverse range of engineering areas.Among the various active and passive miniaturized 3 D f... Development of miniaturized three-dimensional(3 D)fliers with integrated functional components has important implications to a diverse range of engineering areas.Among the various active and passive miniaturized 3 D fliers reported previously,a class of 3 D electronic fliers inspired by wind-dispersed seeds show promising potentials,owing to the lightweight and noiseless features,aside from the stable rotational fall associated with a low falling velocity.While on-demand shape-morphing capabilities are essential for those 3 D electronic fliers,the realization of such miniaturized systems remains very challenging,due to the lack of fast-response 3 D actuators that can be seamlessly integrated with 3 D electronic fliers.Here we develop a type of morphable3 D mesofliers with shape memory polymer(SMP)-based electrothermal actuators,capable of large degree of actuation deformations,with a fast response(e.g.,~1 s).Integration of functional components,including sensors,controllers,and chip batteries,enables development of intelligent 3 D mesoflier systems that can achieve the on-demand unfolding,triggered by the processing of real-time sensed information(e.g.,acceleration and humidity data).Such intelligent electronic mesofliers are capable of both the low-air-drag rising and the low-velocity falling,and thereby,can be used to measure the humidity fields in a wide 3 D space by simple hand throwing,according to our demonstrations.The developed electronic mesofliers can also be integrated with other types of physical/chemical sensors for uses in different application scenarios. 展开更多
关键词 bioinspired mesofliers mechanically guided 3D assembly shape morphing low-air-drag throwing low-velocity falling flexible electronics
原文传递
现代传感器发展方向(续) 被引量:3
13
作者 孙圣和 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2009年第2期1-9,共9页
传感器是信息系统的源头,在某种程度上是决定系统特性和性能指标的关键部件。本文试图探讨现代传感器技术发展方向,从概念、原理、性能和应用等层面评述了9种传感器:光纤传感器、集成传感器、MEMS传感器、模糊传感器、智能传感器、多功... 传感器是信息系统的源头,在某种程度上是决定系统特性和性能指标的关键部件。本文试图探讨现代传感器技术发展方向,从概念、原理、性能和应用等层面评述了9种传感器:光纤传感器、集成传感器、MEMS传感器、模糊传感器、智能传感器、多功能传感器、模型传感器、网络传感器及生物传感器,且每类传感器列举了应用实例。 展开更多
关键词 集成传感器 MEMS传感器 智能传感器 多功能传感器 网络传感器
下载PDF
一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器 被引量:5
14
作者 徐敬波 赵玉龙 +1 位作者 蒋庄德 孙剑 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1393-1398,共6页
针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂... 针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应。结合芯片中各传感器的工作原理,用有限元方法对设计的结构进行了仿真,确定集成传感器的电阻分布和结构参数。根据确定的集成传感器结构,制定了相应的制备工艺步骤。最后给出了集成传感器芯片的性能测试结果。 展开更多
关键词 集成传感器 SOI MEMS
下载PDF
集成传感器芯片的封装应力分析 被引量:5
15
作者 徐敬波 赵玉龙 +1 位作者 蒋庄德 孙剑 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1338-1342,共5页
针对集成传感器芯片封装粘贴过程中的残余应力影响器件性能的问题,使用有限元方法对环氧粘胶粘贴集成传感器芯片产生的封装残余应力进行了分析.采用有机层压板作为封装基板,仿真计算了环氧粘胶的杨氏模量、厚度和溢出厚度的变化对集成... 针对集成传感器芯片封装粘贴过程中的残余应力影响器件性能的问题,使用有限元方法对环氧粘胶粘贴集成传感器芯片产生的封装残余应力进行了分析.采用有机层压板作为封装基板,仿真计算了环氧粘胶的杨氏模量、厚度和溢出厚度的变化对集成传感器性能的影响,同时对集成传感器进行了封装实验.实验测量与仿真结果的比较分析表明:通过选择低杨氏模量的环氧粘胶、增加环氧粘胶厚度和增加环氧粘胶的溢出厚度可以减小封装应力对集成传感器的影响,而且封装应力对其中压力传感器的影响远大于对温度和湿度传感器的影响.分析结果对集成传感器的封装应用具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 集成传感器 封装 有限元 残余应力
下载PDF
应用SU-8粘合技术的微型压力、温度和湿度集成传感器(英文) 被引量:3
16
作者 张建刚 庞程 +1 位作者 方震 赵湛 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1350-1354,共5页
压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm×3.5mm×0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该... 压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm×3.5mm×0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器,铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程,给出了实验和测试方法。结果表明,压力传感器的精度优于0.05%;温度传感器的精度为0.3%;湿度集成传感器的量程为25%RH~95%RH,其性能曲线的线性相关系数为0.998。集成传感器中的这3种传感器的高精度表明该集成传感器的制作工艺具有良好的工艺兼容性。 展开更多
关键词 集成传感器 压力传感器 温度传感器 湿度传感器 聚酰亚胺 SU-8粘合技术
下载PDF
基于集成传感器技术的液压系统检测仪 被引量:4
17
作者 严骏 杨小强 《机床与液压》 北大核心 2004年第5期143-144,188,共3页
文章分析了新型数字式液压系统检测仪压力、流量、温度、泵组功率四个重要参数的测试原理 ,着重讲述了基于创新设计———三位一体集成传感器基础上的电路设计及其实现途径 。
关键词 液压系统 集成传感器 检测仪 测试方法
下载PDF
超声脉冲法测量固体材料切变模量 被引量:4
18
作者 肖定国 何平 +1 位作者 周世圆 冯红亮 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期564-566,共3页
研究利用扭转超声脉冲测量固体材料切变模量的动力学新方法与新技术 .用磁致伸缩式集成超声传感器激发和接收扭转超声脉冲 ,测量其在被测材料试样中的传播时间 ,根据试样长度及材料密度计算出材料切变模量 .讨论该方法的测量原理 ,测量... 研究利用扭转超声脉冲测量固体材料切变模量的动力学新方法与新技术 .用磁致伸缩式集成超声传感器激发和接收扭转超声脉冲 ,测量其在被测材料试样中的传播时间 ,根据试样长度及材料密度计算出材料切变模量 .讨论该方法的测量原理 ,测量系统构成和磁致伸缩式扭转超声脉冲激发与接收集成传感器设计原理 ;对影响测量不确定度的因素进行了分析 .采用基于 Wiedem ann效应的磁致伸缩式超声传感器及通用电子仪器对 3种不同材料的切变模量进行了测量 ,实验结果证明了该方法的实用性 . 展开更多
关键词 超声脉冲法 固体材料 切变模量 扭转超声脉冲 集成传感器 测量原理
下载PDF
数字集成传感器测试系统设计与试验探析
19
作者 郭佳 项卓 《中国设备工程》 2023年第22期266-268,共3页
为实现数字集成传感器的性能测试,根据测试需求设计了一套数字集成传感器测试系统。系统由控制器、模拟量采集卡、1553B通讯接口卡、电源以及测试软件等组成。测试软件使用Microsoft Visual C++6.0完成集成开发。使用设计开发的测试系... 为实现数字集成传感器的性能测试,根据测试需求设计了一套数字集成传感器测试系统。系统由控制器、模拟量采集卡、1553B通讯接口卡、电源以及测试软件等组成。测试软件使用Microsoft Visual C++6.0完成集成开发。使用设计开发的测试系统进行数字集成传感器测试试验,测试系统运行可靠、界面友好,试验数据能够准确反映被测对象性能特性,达到了预期的目标。 展开更多
关键词 集成传感器 测试 总线控制 光纤陀螺 MEMS
下载PDF
便携式工程机械液压系统状态检测仪 被引量:2
20
作者 韩军 《建筑机械》 北大核心 2005年第9期78-79,共2页
关键词 便携式工程机械 液压系统 状态检测仪 集成传感器 集成式温度
下载PDF
上一页 1 2 20 下一页 到第
使用帮助 返回顶部