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基于simulink的隧道式微加速度计的仿真与测试 被引量:3
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作者 石云波 王玲 刘俊 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1508-1510,1514,共4页
提出了利用Simulink软件包对隧道式加速度计系统进行仿真的方法,给出了系统的仿真模型,对系统进行了常压下和真空环境下的系统仿真,确定了系统的反馈深度范围。同时利用仿真结果指导了系统的反馈电路设计,并对传感器进行了性能测试,结... 提出了利用Simulink软件包对隧道式加速度计系统进行仿真的方法,给出了系统的仿真模型,对系统进行了常压下和真空环境下的系统仿真,确定了系统的反馈深度范围。同时利用仿真结果指导了系统的反馈电路设计,并对传感器进行了性能测试,结果表明Simulink是仿真的一条有效途径,可为电路设计及分析提供有价值的参考。 展开更多
关键词 隧道加速度计 SIMULINK 系统仿真 PD控制
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微隧道式加速度计的最优控制 被引量:1
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作者 刘益芳 吴德志 +2 位作者 郑高峰 杜晓辉 孙道恒 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1561-1567,共7页
为了扩大隧道式加速度计(MTA)的动态测量范围并通过降低系统中的主要噪声来提高器件的性能,本文为隧道式加速度计(MTA)设计了线性二次高斯(LQG)控制器。推导了微隧道式加速度计的线性化状态-空间方程;依据分离定理,设计了卡尔曼滤波器... 为了扩大隧道式加速度计(MTA)的动态测量范围并通过降低系统中的主要噪声来提高器件的性能,本文为隧道式加速度计(MTA)设计了线性二次高斯(LQG)控制器。推导了微隧道式加速度计的线性化状态-空间方程;依据分离定理,设计了卡尔曼滤波器和最优状态反馈控制器;最后,在Matlab/Simulink中构建了由卡尔曼滤波器和最优状态控制器串联的LQG仿真系统并进行了动态和静态测试。仿真结果表明,LQG最优控制系统能够将微隧道式加速度计的带宽从2×103 rad/s扩大到3×106 rad/s。通过LQG最优控制,静态测试结果显示其静态隧道电流的波动从1nA~2.95nA降到0.73nA~1.14nA;动态实验数据表明其在方波加速度信号的作用下能够将隧道间隙维持在1nm。 展开更多
关键词 闭环微系统 隧道加速度计 控制器设 LQG控制器
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隧道加速度计零偏漂移的动态补偿
3
作者 王玲 王栋 唐豫桂 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第5期616-619,共4页
信号处理电路及反馈控制电路能极大的提高隧道加速度计的灵敏度和分辨率,但工作在闭环状态存在明显的零点漂移,需要进一步在结构设计和电路设计上进行改进。在分析静电驱动力和反馈力的基础上,提出了一种动态补偿零点漂移的方法,它通过... 信号处理电路及反馈控制电路能极大的提高隧道加速度计的灵敏度和分辨率,但工作在闭环状态存在明显的零点漂移,需要进一步在结构设计和电路设计上进行改进。在分析静电驱动力和反馈力的基础上,提出了一种动态补偿零点漂移的方法,它通过拟合其零点漂移趋势来调整反馈电路的反馈参数。此方法相对简单,且能有效改善漂移现象,不致于输出饱和,使其能长时间工作。 展开更多
关键词 隧道加速度计 漂移 动态补偿 反馈
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硅微隧道式加速度计的输出反馈控制电路设计
4
作者 王玲 石云波 唐豫桂 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2008年第3期352-354,共3页
为提高硅微隧道式加速度计的灵敏度,必须设计出高灵敏度的输出和反馈控制电路。在电路设计中,通过采用行之有效的措施来降低噪声和干扰可达到提高灵敏度的目的,如:将隧道式加速度计敏感单元的参考地设置为同一的大地;采用能抑制隧道式... 为提高硅微隧道式加速度计的灵敏度,必须设计出高灵敏度的输出和反馈控制电路。在电路设计中,通过采用行之有效的措施来降低噪声和干扰可达到提高灵敏度的目的,如:将隧道式加速度计敏感单元的参考地设置为同一的大地;采用能抑制隧道式加速度计敏感单元和半导体器件所产生的1/f噪声的低噪声运算放大器;在电压信号放大过程中,尽量抑制干扰和噪声;且在电压反馈电路设计中,保护敏感单元不受损坏等措施。测试结果为标定因数1.2659V/g,其非线性度小于1%,可见在提高线性度的基础上也提高了灵敏度。 展开更多
关键词 硅微隧道加速度计 反馈控制 1/f噪声 灵敏度
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