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环境扫描电子显微镜的关键技术 被引量：2
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作者 朱武 干蜀毅 王先路 《真空》 CAS 北大核心 2001年第4期34-37,共4页
环境扫描电子显微镜在气体压力高达 660 0 Pa,温度高达 15 0 0℃ ,具有任何气体种类的多气环境里 ,都可提供高分辨率的二次电子成像。如此优良性能的获得 ,取决于两项新技术 :一是将柱形电子导管的真空环境与样品室环境分开 ;二是使用... 环境扫描电子显微镜在气体压力高达 660 0 Pa,温度高达 15 0 0℃ ,具有任何气体种类的多气环境里 ,都可提供高分辨率的二次电子成像。如此优良性能的获得 ,取决于两项新技术 :一是将柱形电子导管的真空环境与样品室环境分开 ;二是使用了一个在样品室非真空环境下仍然能起作用的二次电子探头。这些问题的解决是开发 ESEM的关键。 展开更多
关键词 环境扫描电子显微镜 限压狭缝 二次探头 真空系统 分辨率 电流
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