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基于聚合氯化铝电解液的锆合金阵列微孔掩模射流电解加工试验研究
1
作者 何俊峰 王赞 +2 位作者 王俊杰 梁华卓 周莉 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2023年第9期102-110,共9页
锆具有优异的综合性能,在航空航天、医药和化工等领域具有广阔的应用前景。然而,用现有的加工方法对其进行微细加工时,具有刀具磨损严重、加工效率低、加工质量差等缺点。微细电化学加工在金属微结构制造方面具有独特的优势。提出一种... 锆具有优异的综合性能,在航空航天、医药和化工等领域具有广阔的应用前景。然而,用现有的加工方法对其进行微细加工时,具有刀具磨损严重、加工效率低、加工质量差等缺点。微细电化学加工在金属微结构制造方面具有独特的优势。提出一种新型聚氯化铝溶液(PAC)作为电解液,利用掩模射流电解加工在锆合金(Zr702)表面进行阵列微孔加工。研究了Zr702在不同质量分数聚氯化铝溶液中的溶解特性。通过试验研究了电解液压强、射流扫描速度和脉冲电压等主要加工参数对加工性能的影响,并通过正交试验进行参数优化,加工出了平均直径为163.20μm,平均深度为85.49μm,深径比为0.524,侧蚀系数为2.055,形貌精度较好的阵列微孔。 展开更多
关键词 锆合金 掩模射流微细电解加工 PAC电解液 阵列微孔
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转印掩膜电解加工宏量金属微结构 被引量：2
2
作者 申继文 明平美 +5 位作者 张新民 牛屾 夏亚坤 张云燕 王伟 李冬冬 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期295-307,共13页
金属宏量微结构的高效、高质量、整体无接缝电化学加工至今仍面临重大技术挑战。对此,提出了转印掩膜电解加工技术,以滚动印制方式克服传统面对面静印式掩膜电解加工在制备金属微结构方面的局限性和不足。数值仿真分析了新技术加工微坑... 金属宏量微结构的高效、高质量、整体无接缝电化学加工至今仍面临重大技术挑战。对此,提出了转印掩膜电解加工技术,以滚动印制方式克服传统面对面静印式掩膜电解加工在制备金属微结构方面的局限性和不足。数值仿真分析了新技术加工微坑结构过程中的电场分布特性及其时空变化规律、廓形演变规律,开展了阵列微结构制备的试验研究,探究了主要工艺参数对阵列微结构表面与几何轮廓特征、成形精度等的影响,评测了在平面和圆柱面工件上加工宏量微结构的工艺效果。结果表明:转印掩膜电解加工时,阳极、阴极和掩膜虽均处于运动状态,但是各加工微区的电场时空分布保持较高的一致性,且其轮廓演变过程与最终廓形特征主要受工件旋转速度、极间电压的影响;基于优选工艺参数,在不锈钢圆柱面和平面上均能高效加工出廓形特征一致性高的宏量阵列微坑/微孔结构,360°圆柱面上2266个深度89μm的阵列微坑用时仅250 s,直径和深度CV值分别低至3.21%和3.68%,表面粗糙度Ra小于0.65μm,加工平面分布8360个深度50μm的阵列微孔用时仅460s,其直径CV值低至2.19%,入口与出口直径偏差仅1.06%~3.22%。转印掩膜电解加工技术在圆柱面和大尺寸(超长、宽幅)平面工件上高效、高精度制备微结构方面具有很强工艺能力与发展潜能。 展开更多
关键词 转印掩膜电解加工 掩膜电解加工 宏量微结构 阵列微坑 阵列微孔
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微细阵列结构电子束加工试验研究
3
作者 颜泽林 马志兵 汪炜 《电加工与模具》 2021年第3期61-65,共5页
基于电子束曝光基本理论和工艺原理,以涂覆有PMMA抗蚀剂的石英玻璃为研究对象,采用电子束曝光制备微细阵列结构,研究不同工艺参数对曝光微细阵列孔和阵列槽结构的影响。结果表明,在PMMA薄膜厚度250 nm、曝光剂量400 pAs/cm^(2)、显影时... 基于电子束曝光基本理论和工艺原理,以涂覆有PMMA抗蚀剂的石英玻璃为研究对象,采用电子束曝光制备微细阵列结构,研究不同工艺参数对曝光微细阵列孔和阵列槽结构的影响。结果表明,在PMMA薄膜厚度250 nm、曝光剂量400 pAs/cm^(2)、显影时间120 s的条件下,可制备出直径2μm的阵列微孔结构;在PMMA薄膜厚度225 nm、曝光剂量500 pAs/cm^(2)、显影时间90 s的条件下,可制备出宽度1μm、间距50μm的阵列微槽结构。 展开更多
关键词 电子束曝光 抗蚀剂 工艺参数 阵列微孔 阵列微槽
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阵列微孔阴极放电触发的纳秒脉冲开关 被引量：2
4
作者 滕亚青 刘克富 +1 位作者 邱剑 饶俊峰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期621-624,共4页
为了实现在大气压下低触发电压的多通道放电,以阵列微孔阴极结构作为触发装置设计了一种新型纳秒脉冲开关。以激光打孔的双面环氧板为阵列微孔阴极,研究了开关工作系数、微孔阴极放电电流、微孔阴极孔数及微孔阴极孔径对开关触发电压、... 为了实现在大气压下低触发电压的多通道放电,以阵列微孔阴极结构作为触发装置设计了一种新型纳秒脉冲开关。以激光打孔的双面环氧板为阵列微孔阴极,研究了开关工作系数、微孔阴极放电电流、微孔阴极孔数及微孔阴极孔径对开关触发电压、延迟和抖动时间的影响。实验结果表明:更多的阵列微孔、100μm的微孔孔径能够降低开关的触发电压,同时高开关工作系数、大触发电流、多阵列微孔能够减少开关的延迟和抖动时间。因此,为了获得更高性能的纳秒脉冲开关,除了对开关结构的进一步改善,这几个影响开关性能的因素是设计开关时应主要考虑的。 展开更多
关键词 阵列微孔阴极放电 纳秒脉冲开关 触发电压 延迟和抖动时间 多通道放电
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CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究 被引量：3
5
作者 王鹏 张凤林 +1 位作者 刘文广 欧阳承达 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第11期195-203,共9页
采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工,研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状和尺寸的影响规律。研究发现,激光扫描速度对微孔尺寸的影响不明显。而激光扫描次数对微孔出口直径影响明... 采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工,研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状和尺寸的影响规律。研究发现,激光扫描速度对微孔尺寸的影响不明显。而激光扫描次数对微孔出口直径影响明显。随着激光脉宽的增加,微孔深度和出口直径均增加,但微孔锥度减小。 展开更多
关键词 激光技术 阵列锥形微孔 光纤激光 CVD金刚石薄膜 微细加工
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