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大口径大曲率半径光学元件的高精度检测
被引量：
17
1
作者
杨李茗
叶海仙
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期1207-1212,共6页
针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题,提出利用长程轮廓仪(LTP)来进行大口径大曲率半径(正、负)光学元件的精确测量,并通过实验证明了LTP检测大曲率半径光学元件的优势。分析计算了LTP测量曲...
针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题,提出利用长程轮廓仪(LTP)来进行大口径大曲率半径(正、负)光学元件的精确测量,并通过实验证明了LTP检测大曲率半径光学元件的优势。分析计算了LTP测量曲率半径的算法精度,设计了合理的机械结构进行旋转测量,得到了全口径的曲率半径分布。最后与球径仪、刀口仪的测量结果进行了对比。对R=37.108m和R=41.065m的球面镜测量结果显示,LTP的测量重复性在0.05%以内,与球径仪、刀口仪的测量值相差均在0.05%以内。研究结果表明,LTP可以用来解决目前几十米的大R曲率半径光学元件难以高精度测量的难题。
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关键词
长程
轮廓仪
曲率半径测量
算法精度
旋转测量
下载PDF
职称材料
长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正
被引量：
5
2
作者
李顺
巩岩
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期117-123,共7页
为了提高使用长程轮廓仪对筒状超光滑非球面进行面型测量的精度,研究并总结了测量过程中常见的误差源及校正方法。针对测量过程中对结果影响较大的转台转轴与待测筒状镜光轴之间的倾斜和偏心误差做了详细的分析,提出利用数据处理校正这...
为了提高使用长程轮廓仪对筒状超光滑非球面进行面型测量的精度,研究并总结了测量过程中常见的误差源及校正方法。针对测量过程中对结果影响较大的转台转轴与待测筒状镜光轴之间的倾斜和偏心误差做了详细的分析,提出利用数据处理校正这部分误差的方法。编写了相应的数据处理程序,通过数值模拟实验对该程序进行了验证。实验结果表明,该程序能够有效去除转台转轴与待测镜之间倾斜和偏心产生的系统误差,提高长程轮廓仪用于筒状镜面型测量时的测量精度。在转台转轴与待测镜之间具有5μm的偏心和大约1′的倾斜时,使用该程序还原50nm量级的面型轮廓,还原精度为均方根值(RMS)2.8nm,峰谷值(PV)18.5nm。
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关键词
光学测量
误差分析
数据处理
长程
轮廓仪
掠入射望远镜
X射线光学
原文传递
基于多光束干涉的长程轮廓仪
被引量：
1
3
作者
李晶
巩岩(指导)
+1 位作者
廖家胜
张巍
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期251-257,共7页
为提高长程轮廓仪(LTP)面型检测的精度,提出一种使用波面型等光程多光束分束器的LTP。该分束结构可将入射光束分成若干束等光强等光程的相干光。在理论上分析计算了傅里叶变换(FT)透镜焦平面上干涉条纹的位置和强度分布,探究了零级干涉...
为提高长程轮廓仪(LTP)面型检测的精度,提出一种使用波面型等光程多光束分束器的LTP。该分束结构可将入射光束分成若干束等光强等光程的相干光。在理论上分析计算了傅里叶变换(FT)透镜焦平面上干涉条纹的位置和强度分布,探究了零级干涉主极大条纹宽度、振幅和±1级干涉主极大条纹振幅与多光束分束器各结构参数之间的关系。通过选取合适的参数设计了基于多光束干涉原理的新型分束器,并与传统分束器进行了仿真实验比较,设计了测量系统中的准直镜和FT透镜,在Zemax软件中建立了完整的光学系统模型,并对该模型进行了实验验证。结果表明多光束干涉长程轮廓仪可以实现对被测表面斜率的测量,其在探测面上的干涉条纹宽度比传统双光束干涉窄,光强也更加集中,可以提高LTP的测量精度。
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关键词
测量
长程
轮廓仪
分束器
多光束干涉
原文传递
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构
被引量：
1
4
作者
廖家胜
巩岩
+4 位作者
张巍
李晶
李春才
姚长呈
闵林
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期199-204,共6页
针对长程轮廓仪中的一个重要光学部件分束器,设计了一种菲涅耳双棱镜对分束结构。其功能是将一束正入射平行光分成两束间距可变、强度相等且光程差为零的平行光。对菲涅耳双棱镜对结构特点进行了详细的描述,并对基于菲涅耳双棱镜对分出...
针对长程轮廓仪中的一个重要光学部件分束器,设计了一种菲涅耳双棱镜对分束结构。其功能是将一束正入射平行光分成两束间距可变、强度相等且光程差为零的平行光。对菲涅耳双棱镜对结构特点进行了详细的描述,并对基于菲涅耳双棱镜对分出的两束光在傅里叶透镜后焦面上的干涉条纹振幅分布和能量分布做了理论分析和数值仿真。分析和仿真结果表明,菲涅耳双棱镜对不仅具有已有的等振幅分束结构同样的功能,而且能使长程轮廓仪探测精度更高。对比菲涅耳双棱镜对与已有的4种等振幅分束结构的性能发现,菲涅耳双棱镜对兼备结构简单、满足等光程条件以及分出的两束光间距可变等优异分光效果,可作为已有等振幅分束结构的一种替代结构。
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关键词
测量
长程
轮廓仪
分束结构
菲涅耳双棱镜
原文传递
题名
大口径大曲率半径光学元件的高精度检测
被引量：
17
1
作者
杨李茗
叶海仙
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期1207-1212,共6页
基金
国家科技重大专项课题支持项目
文摘
针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题,提出利用长程轮廓仪(LTP)来进行大口径大曲率半径(正、负)光学元件的精确测量,并通过实验证明了LTP检测大曲率半径光学元件的优势。分析计算了LTP测量曲率半径的算法精度,设计了合理的机械结构进行旋转测量,得到了全口径的曲率半径分布。最后与球径仪、刀口仪的测量结果进行了对比。对R=37.108m和R=41.065m的球面镜测量结果显示,LTP的测量重复性在0.05%以内,与球径仪、刀口仪的测量值相差均在0.05%以内。研究结果表明,LTP可以用来解决目前几十米的大R曲率半径光学元件难以高精度测量的难题。
关键词
长程
轮廓仪
曲率半径测量
算法精度
旋转测量
Keywords
Long Trace Profiler（LTP）； measurement of radius of curvature； algorithmic precision； rotational measurement
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正
被引量：
5
2
作者
李顺
巩岩
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期117-123,共7页
基金
国家自然科学基金(40974110
40674098)资助课题
文摘
为了提高使用长程轮廓仪对筒状超光滑非球面进行面型测量的精度,研究并总结了测量过程中常见的误差源及校正方法。针对测量过程中对结果影响较大的转台转轴与待测筒状镜光轴之间的倾斜和偏心误差做了详细的分析,提出利用数据处理校正这部分误差的方法。编写了相应的数据处理程序,通过数值模拟实验对该程序进行了验证。实验结果表明,该程序能够有效去除转台转轴与待测镜之间倾斜和偏心产生的系统误差,提高长程轮廓仪用于筒状镜面型测量时的测量精度。在转台转轴与待测镜之间具有5μm的偏心和大约1′的倾斜时,使用该程序还原50nm量级的面型轮廓,还原精度为均方根值(RMS)2.8nm,峰谷值(PV)18.5nm。
关键词
光学测量
误差分析
数据处理
长程
轮廓仪
掠入射望远镜
X射线光学
Keywords
optical measurement
error analysis
data processing
long trace profiler
grazing incidence telescope
X-ray optics
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于多光束干涉的长程轮廓仪
被引量：
1
3
作者
李晶
巩岩(指导)
廖家胜
张巍
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期251-257,共7页
基金
国家自然科学基金青年科学基金(41104122)
科技部国际合作项目(2011DFR10010)
文摘
为提高长程轮廓仪(LTP)面型检测的精度,提出一种使用波面型等光程多光束分束器的LTP。该分束结构可将入射光束分成若干束等光强等光程的相干光。在理论上分析计算了傅里叶变换(FT)透镜焦平面上干涉条纹的位置和强度分布,探究了零级干涉主极大条纹宽度、振幅和±1级干涉主极大条纹振幅与多光束分束器各结构参数之间的关系。通过选取合适的参数设计了基于多光束干涉原理的新型分束器,并与传统分束器进行了仿真实验比较,设计了测量系统中的准直镜和FT透镜,在Zemax软件中建立了完整的光学系统模型,并对该模型进行了实验验证。结果表明多光束干涉长程轮廓仪可以实现对被测表面斜率的测量,其在探测面上的干涉条纹宽度比传统双光束干涉窄,光强也更加集中,可以提高LTP的测量精度。
关键词
测量
长程
轮廓仪
分束器
多光束干涉
Keywords
measurement
long trace profiler
beam splitter
multiple-beam interference
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构
被引量：
1
4
作者
廖家胜
巩岩
张巍
李晶
李春才
姚长呈
闵林
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院大学
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期199-204,共6页
基金
国家杰出青年科学基金(41104122)
中国与俄罗斯国家科技合作次助项目(2011DFR10010)
文摘
针对长程轮廓仪中的一个重要光学部件分束器,设计了一种菲涅耳双棱镜对分束结构。其功能是将一束正入射平行光分成两束间距可变、强度相等且光程差为零的平行光。对菲涅耳双棱镜对结构特点进行了详细的描述,并对基于菲涅耳双棱镜对分出的两束光在傅里叶透镜后焦面上的干涉条纹振幅分布和能量分布做了理论分析和数值仿真。分析和仿真结果表明,菲涅耳双棱镜对不仅具有已有的等振幅分束结构同样的功能,而且能使长程轮廓仪探测精度更高。对比菲涅耳双棱镜对与已有的4种等振幅分束结构的性能发现,菲涅耳双棱镜对兼备结构简单、满足等光程条件以及分出的两束光间距可变等优异分光效果,可作为已有等振幅分束结构的一种替代结构。
关键词
测量
长程
轮廓仪
分束结构
菲涅耳双棱镜
Keywords
measurements long trace profilers beam splitters Fresnel biprism
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径大曲率半径光学元件的高精度检测
杨李茗
叶海仙
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
17
下载PDF
职称材料
2
长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正
李顺
巩岩
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
原文传递
3
基于多光束干涉的长程轮廓仪
李晶
巩岩(指导)
廖家胜
张巍
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
原文传递
4
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构
廖家胜
巩岩
张巍
李晶
李春才
姚长呈
闵林
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
原文传递
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