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一种低使用成本的高精度曝光和测量技术 被引量：1
1
作者 周畅 徐兵 朱岳彬 《光电子技术》 CAS 北大核心 2019年第3期210-214,共5页
提出了一种使用小尺寸MASK(光罩)的高精度曝光技术,能够实现1.5μm分辨率,几乎可以忽略的MASK成本。同时以曝光控制技术为基础,提出了一种快速进行TP/OL/CD精确测量的技术,为降低国产设备的测量使用成本提供了研究方向,同时提高了国产... 提出了一种使用小尺寸MASK(光罩)的高精度曝光技术,能够实现1.5μm分辨率,几乎可以忽略的MASK成本。同时以曝光控制技术为基础,提出了一种快速进行TP/OL/CD精确测量的技术,为降低国产设备的测量使用成本提供了研究方向,同时提高了国产屏的性价比,可大幅降低单点测量时间和测量成本。 展开更多
关键词 曝光 长寸 测量 光罩 精度 成本
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共光路多自由度运动误差测量及补偿技术研究 被引量：1
2
作者 徐兵 宋涛 +2 位作者 周畅 李喜峰 张建华 《光电子技术》 CAS 2021年第1期1-10,共10页
工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一,其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度。在运动过程中由于运动导轨加工和装配误差会使工件台产生运动误差,而这些运动误差会影响TFT阵列基板长寸测量精度。为解决... 工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一,其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度。在运动过程中由于运动导轨加工和装配误差会使工件台产生运动误差,而这些运动误差会影响TFT阵列基板长寸测量精度。为解决上述工件台运动误差对长寸测量精度的影响,文中基于桥式结构的长寸测量设备研究分析了工件台运动误差对长寸测量精度的影响机理,设计了一种共光路多自由度激光干涉仪测量系统,给出了激光干涉仪测量系统光束结构布局及测量补偿方案。通过搭建测试平台,基于4.5代基板对比测试了工件台运动误差补偿前后的重复性及最终长寸测量重复性。试验结果表明,研究的工件台运动误差测量及补偿技术可以满足100 nm高精度运动台定位精度技术需求。 展开更多
关键词 薄膜晶体管 长寸 工件台 运动误差 激光干涉仪 测量补偿
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高精度TFT基板长寸量测设备关键技术研究
3
作者 徐兵 周畅 芦华 《精密制造与自动化》 2023年第3期6-10,56,共6页
长寸量测设备是薄膜晶体管(Thin-Film Transistor,TFT)制程工艺中最为核心的量测设备,其测量精度及稳定性直接决定了对TFT基板产品是否合格的判断。基于SMEE研制的SOM260型6代长寸量测设备,重点对高精度工件台、模版匹配、焦面测量、环... 长寸量测设备是薄膜晶体管(Thin-Film Transistor,TFT)制程工艺中最为核心的量测设备,其测量精度及稳定性直接决定了对TFT基板产品是否合格的判断。基于SMEE研制的SOM260型6代长寸量测设备,重点对高精度工件台、模版匹配、焦面测量、环境温控等关键技术进行了介绍;实测数据表明,公司所研制的6代长寸量测设备,完全能够满足6代TFT基板制程工艺需求。所研究的技术可以扩展到8代以上高世代TFT基板长寸量测设备中,为大面积高精度TFT基板长寸量测奠定了坚实基础。 展开更多
关键词 薄膜晶体管 长寸量测设备 工件台 模版匹配 焦面测量 温度控制
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涉及空腔制造的最小长度尺寸限制的清晰结构拓扑优化设计 被引量：7
4
作者 荣见华 赵圣佞 +3 位作者 李方义 俞燎宏 荣轩霈 陈成 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第19期174-185,共12页
针对以结构柔顺度最小为目标函数,涉及空腔制造的最小长度尺寸限制的结构拓扑优化设计问题,提出了一种新的拓扑优化求解方法。首先,为了消除现有的结构实体相及空洞相的相同的光滑Heaviside映射导致的强烈对立矛盾,引入光滑Heaviside映... 针对以结构柔顺度最小为目标函数,涉及空腔制造的最小长度尺寸限制的结构拓扑优化设计问题,提出了一种新的拓扑优化求解方法。首先,为了消除现有的结构实体相及空洞相的相同的光滑Heaviside映射导致的强烈对立矛盾,引入光滑Heaviside映射和修改的光滑Heaviside映射分别进行实体相及空洞相的设计变量过滤;而后,构建了合理和协同的涉及实体相和空洞相的几何最小长度尺寸限制的结构拓扑优化模型;利用MMA算法,形成了一种新的涉及实体相和空洞相的几何最小长度尺寸限制的结构拓扑优化算法。给出的算例结果表明,与现有方法比,该方法可解决结构实体相和空洞相的几何最小长度尺寸控制问题。且所提方法可获得清晰0/1分布的优化结构拓扑。 展开更多
关键词 结构拓扑优化 最小长度尺寸 可制造性 滤波器 Heaviside映射
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温度对长度尺寸的误差影响 被引量：1
5
作者 姜振祥 《中国计量》 2013年第3期87-88,共2页
我们做一个小实验．把一块尺寸较大的量块放在光学计测头下面，对好零位．然后用手接触量块．手的温度传到量块上．这时从目镜中观察到刻度尺寸上的读数迅速增大．一两分钟内甚至会增大几个微米。实际工作中有时发现各次检测结果相差很... 我们做一个小实验．把一块尺寸较大的量块放在光学计测头下面，对好零位．然后用手接触量块．手的温度传到量块上．这时从目镜中观察到刻度尺寸上的读数迅速增大．一两分钟内甚至会增大几个微米。实际工作中有时发现各次检测结果相差很大，常常是因为温度发生变化的缘故。在国家检定规程中．对检定温度及平衡温度的时间均作了相应规定。 展开更多
关键词 平衡温度 长度尺寸 误差影响 检定规程 检测结果 发生变化 光学计 量块
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基于En值的履带拖拉机长度尺寸比对分析 被引量：1
6
作者 王扬光 王庆厚 赵泽明 《农机质量与监督》 2022年第11期19-20,共2页
质量控制是质量管理活动的一部分,是实验室为达到所要求质量而进行的一系列作业技术活动,内部比对是实验室质量控制的措施之一。正确评价比对结果是比对活动中的关键环节。本文运用归一化偏差En值对履带拖拉机长度尺寸比对结果进行分析... 质量控制是质量管理活动的一部分,是实验室为达到所要求质量而进行的一系列作业技术活动,内部比对是实验室质量控制的措施之一。正确评价比对结果是比对活动中的关键环节。本文运用归一化偏差En值对履带拖拉机长度尺寸比对结果进行分析,为拖拉机实验室内部比对提供参考。一、En值评价方法实验室内部比对有仪器比对、人员比对和方法比对等。 展开更多
关键词 履带拖拉机 作业技术 长度尺寸 实验室质量控制 质量管理活动 归一化偏差 方法比对 人员比对
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挖掘机左右车架焊接变形控制 被引量：1
7
作者 贾德厚 《金属加工（热加工）》 2015年第16期43-44,共2页
本文针对挖掘机左右车架在焊接过程中的变形超差问题,运用机械矫形的反变形方法,通过对其变位机的适当改造,达到了左右框架焊后C型板梁直线度达到设计要求的目的。
关键词 车架结构 焊接变形控制 直线度 变形方法 焊接变位机 板梁 型板 横板 夹紧力 长度尺寸
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新型贴片式LED3528及5050 被引量：1
8
作者 方佩敏 《电子世界》 2010年第2期9-10,共2页
3528及5050是贴片式LED的封装尺寸（尺寸代码），其前面两个数字是封装的长度尺寸，后两位是宽度尺寸（单位是mm）。例如，3528表示其LED的长度是3．5mm，宽度是2．8mm，即长×宽的尺寸是35mm×28mm：5050即长×宽尺寸都是... 3528及5050是贴片式LED的封装尺寸（尺寸代码），其前面两个数字是封装的长度尺寸，后两位是宽度尺寸（单位是mm）。例如，3528表示其LED的长度是3．5mm，宽度是2．8mm，即长×宽的尺寸是35mm×28mm：5050即长×宽尺寸都是5mm。 展开更多
关键词 贴片式 封装尺寸 长度尺寸 宽度尺寸 LED
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大型马蹄焰玻璃熔窑结构对玻璃液流动特性影响的研究(续) 被引量：1
9
作者 杨志强 《玻璃与搪瓷》 CAS 2009年第3期1-5,13,共6页
关键词 熔窑结构 玻璃液流 马蹄焰 流动特性 物理模拟试验 熔制工艺 工程实践 长度尺寸
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大长度尺寸检具的试制 被引量：1
10
作者 郭长根 《机械制造》 2013年第4期74-75,共2页
介绍了采用专用检具,利用其较精确的参考尺寸,再配以通用量具,解决了大长度尺寸的检测难题。
关键词 大长度尺寸 专用检具 通用量具
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滑动轴承—配合
11
《内燃机与配件》 1989年第S1期134-137,共4页
1、适用范围 本标准适用于一般机械制造用滑动轴承,中等轴承间隙（ψ_m=0.59～3.15‰）。 它不适用于滑动轴承—轴瓦与衬套,因其不是测量直径,而是测量壁厚,并且由于采用压配合,尺寸将发生变化。 2、应用范围 本标准主要适用于回转... 1、适用范围 本标准适用于一般机械制造用滑动轴承,中等轴承间隙（ψ_m=0.59～3.15‰）。 它不适用于滑动轴承—轴瓦与衬套,因其不是测量直径,而是测量壁厚,并且由于采用压配合,尺寸将发生变化。 2、应用范围 本标准主要适用于回转机械部件及轴系;对于其它应用范围在一定程度上可用。 3、目的 按DIN7160及DIN7161中的ISO—公差标准不能形成能满足轴承技术需要的间隙配合。这种轴承配合是在所有公称尺寸范围内接近于平均相对间隙值计算得出的。为此拟定了本标准。 展开更多
关键词 轴承间隙 公差标准 机械制造 间隙值 公差带 间隙配合 轴承孔 最大间隙 偏差值 长度尺寸
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一种新型简易压筋模具
12
作者 谷万淼 《金属加工（热加工）》 2009年第9期52-54,共3页
近期，我单位生产了一种带有多根加强筋的钣金零件。该零件技术要求加强筋外观一致、间隔均匀，数量为200件，材质为2A12—O。由于这类钣金零件的加强筋数量多，长度尺寸大，外观要求高，所以对零件的制造提出了较高的要求。钣金零件形... 近期，我单位生产了一种带有多根加强筋的钣金零件。该零件技术要求加强筋外观一致、间隔均匀，数量为200件，材质为2A12—O。由于这类钣金零件的加强筋数量多，长度尺寸大，外观要求高，所以对零件的制造提出了较高的要求。钣金零件形状见图1。 展开更多
关键词 钣金零件 模具 压筋 加强筋 长度尺寸 零件形状 外观
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双定位在中高速柴油机曲轴锻件RR弯曲镦锻中的应用探索
13
作者 李恩轩 《机械工人（热加工）》 2006年第4期86-88,共3页
本文简单扼要地介绍了中高速柴油机曲轴锻件的RR弯曲镦锻工艺及其特点,分析了曲轴锻件长度超差的原因,并在生产实践中探索了应用双定位的方式来控制曲轴锻件的长度尺寸,以及收到的较好的技术经济效果。
关键词 高速柴油机 弯曲镦锻 双定位 锻件 曲轴 应用 技术经济效果 镦锻工艺 长度尺寸 生产实践
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新、旧HB5800主要差异
14
作者 陈小杰 刘启国 《航空标准化与质量》 1999年第4期16-17,共2页
ＨＢ５８００《一般公差》是航空工业产品设计中应用非常广泛的标准，几乎涉及到所有的切削加工件、冷冲压件、管子弯曲件、焊接件和塑料件等。在产品设计时，非配合的、无特殊功能要求的尺寸正确地采用ＨＢ５８００，对保证产品的设计... ＨＢ５８００《一般公差》是航空工业产品设计中应用非常广泛的标准，几乎涉及到所有的切削加工件、冷冲压件、管子弯曲件、焊接件和塑料件等。在产品设计时，非配合的、无特殊功能要求的尺寸正确地采用ＨＢ５８００，对保证产品的设计质量，提高经济效益有着十分重要的意... 展开更多
关键词 极限偏差 旧标准 新标准 转接半径 钻孔深度 长度尺寸 航空工业 模压塑料 未注公差 一般公差
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弹性开口套零件的加工工艺改进
15
作者 宁秀月 朱宝明 +1 位作者 郭汉德 吴海舰 《金属加工（冷加工）》 2013年第8期41-42,共2页
大型精密数控机床的主轴由铣轴和镗轴组成。铣轴由于外圆和长度尺寸较大，外圆上又有很多传递运动的键槽，整体淬火很难保证其内孔的硬度和整体的高精度要求，所以采用了在铣轴内孔前后端镶衬套，衬套整体淬硬的解决方法。
关键词 加工工艺改进 零件 弹性 数控机床 长度尺寸 精度要求 整体淬火 镗轴
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解决磨削时曲轴连杆轴颈长度尺寸超差的方法
16
作者 曲贵龙 吴丽萍 谢喜春 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2006年第3期103-106,共4页
在MQ8260曲轴连杆轴颈磨床上安装自己设计的第四主轴颈中心截面基准测量装置,辅助装置和电子柱量仪,配装数显光栅尺和数显表,对曲轴磨削连杆轴颈长度尺寸进行准确测量,彻底解决了磨削曲轴连杆轴颈长度尺寸超差的问题。
关键词 磨削 曲轴 长度尺寸 基准测量装置 解决措施
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量身推荐
17
《农机导购》 2017年第6期56-57,共2页
田英4YZB-2B型玉米收割★★★★☆田英作业速度范围较大(2～5km/h),对作业作业环境适应性强;行距调节范围较大(45～70cm),对种植制度适应性好;作业幅宽大(168cm),漏收少;卸果穗高度较大(190cm),对卸粮车辆配套性好。但动力消耗大(85kW)... 田英4YZB-2B型玉米收割★★★★☆田英作业速度范围较大(2～5km/h),对作业作业环境适应性强;行距调节范围较大(45～70cm),对种植制度适应性好;作业幅宽大(168cm),漏收少;卸果穗高度较大(190cm),对卸粮车辆配套性好。但动力消耗大(85kW),能耗大;结构质量大(4 580 kg),自身动力消耗大、使用不方便。玉丰之王4YZP-2型玉米收获机★★★★★玉丰之王作业效率高,最高时可达0.53 hm^2/h,而动力消耗却不大(48kW),效能比高;结构质量小(2 990 kg),自身动力消耗小、使用方便;果穗箱容积大(1 500L),连续作业时间长;行距调节范围较大(55～75cm),对种植制度适应性好。但作业幅宽较小(140 cm), 展开更多
关键词 动力消耗 通过性 结构质量 作业效率 作业幅宽 离地间隙 长度尺寸 调节范围 地面破坏 作业速度
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有效替代传统密封方案
18
作者 FabioBueti 《现代制造》 2014年第32期42-43,共2页
O形圈加支承环的组合是迄今为止高压密封的标准配置方式，但这种标准化的工业配置方式却在实际装配和使用中显示出了不足之处。例如，标准的O形密封圈在装配过程中常常发生扭曲；支承环的长度尺寸常常不够；或者在装配过程中就被损坏。
关键词 高压密封 传统 标准配置 装配过程 O形密封圈 长度尺寸 支承环 O形圈
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国外细木工刀具一瞥(下)
19
作者 邓永泉 《木工机床》 1993年第4期37-46,共10页
二刨削刀具1 刨削用刀片1) 高速钢刀片用于直线或回转运动的刨刀刀具.厚度通常为3mm,长度尺寸一般为230mm以下,宽度为30mm以下,适于较软木料加工(图9a)。 2)硬度合金刀片与金刚石砂轮配合使用,可用于直线或往复运动的刨刀刀具。
关键词 合金刀片 刨削 光整加工 刨刀轴 回转运动 往复运动 长度尺寸 刀体 手动进给 金刚石砂轮
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长度可调的专用卡规
20
作者 姚广英 吕志嘉 张年超 《金属加工（冷加工）》 2014年第14期68-69,共2页
我公司共有20个分厂加工曲轴,曲轴的品种也很多。每个品种的曲轴在加工过程中,都需要一套专用的卡规,用来检测曲轴本身各部位长度尺寸（见图1）。卡规的形状如图2所示。这种卡规检测快且方便,但需要的数量却很多。由于卡规在使用过程中... 我公司共有20个分厂加工曲轴,曲轴的品种也很多。每个品种的曲轴在加工过程中,都需要一套专用的卡规,用来检测曲轴本身各部位长度尺寸（见图1）。卡规的形状如图2所示。这种卡规检测快且方便,但需要的数量却很多。由于卡规在使用过程中容易磨损,所以必须定期对卡规进行周期检定。如果卡规没到周期检定的时间就磨损了,操作者不知道,还容易出现批量废品。卡规的制造精度要求很高,都是微米级公差,所以制造难度也很大。 展开更多
关键词 长度尺寸 卡规 可调 加工过程 周期检定 精度要求 曲轴 操作者
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