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镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究 被引量:4
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作者 杜晓松 杨邦朝 +1 位作者 伍隽 王卉 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第9期12-14,共3页
采用真空蒸发技术在聚酰亚胺、云母、陶瓷等基板上制作了镱薄膜传感器 ,研究了该传感器在 70MPa~ 2GPa范围内准静态单轴压缩载荷下电阻—压力的变化关系。结果表明该传感器精度高、重复性好。
关键词 压阻系数 准静态压缩 薄膜高压传感器
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