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镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究
被引量:
4
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作者
杜晓松
杨邦朝
+1 位作者
伍隽
王卉
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第9期12-14,共3页
采用真空蒸发技术在聚酰亚胺、云母、陶瓷等基板上制作了镱薄膜传感器 ,研究了该传感器在 70MPa~ 2GPa范围内准静态单轴压缩载荷下电阻—压力的变化关系。结果表明该传感器精度高、重复性好。
关键词
压阻系数
准静态压缩
镱
薄膜
高压
传感器
下载PDF
职称材料
题名
镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究
被引量:
4
1
作者
杜晓松
杨邦朝
伍隽
王卉
机构
电子科技大学信息材料工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第9期12-14,共3页
文摘
采用真空蒸发技术在聚酰亚胺、云母、陶瓷等基板上制作了镱薄膜传感器 ,研究了该传感器在 70MPa~ 2GPa范围内准静态单轴压缩载荷下电阻—压力的变化关系。结果表明该传感器精度高、重复性好。
关键词
压阻系数
准静态压缩
镱
薄膜
高压
传感器
Keywords
Ytterbium Gauges, Thin film, Piezoresistance Coefficient, Quasi-static Compression
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究
杜晓松
杨邦朝
伍隽
王卉
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000
4
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职称材料
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