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用于超宽焦斑光束整形的大口径衍射光学元件设计和制作 被引量：6
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作者 赵逸琼 王建东 +4 位作者 张晓波 李永平 伍源 王旭迪 傅绍军 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期150-154,共5页
采用改进混合优化算法首次设计并制作了口径168.7 mm的连续衍射光学元件实现类环形光束入射,输出直径650μm超宽焦斑光束均匀照明。用Nd:YAG脉冲激光器1.064μm波长激光进行实验,获得了与设计尺寸相符、边缘陡峭、无中心尖锐脉冲、具有... 采用改进混合优化算法首次设计并制作了口径168.7 mm的连续衍射光学元件实现类环形光束入射,输出直径650μm超宽焦斑光束均匀照明。用Nd:YAG脉冲激光器1.064μm波长激光进行实验,获得了与设计尺寸相符、边缘陡峭、无中心尖锐脉冲、具有极好的离焦宽容性的宽焦斑,但焦斑顶部不均匀性较大。对此进行了深入的模拟分析,结果表明:焦斑顶部较大的光强调制主要来源于现有的工艺及实验条件误差。 展开更多
关键词 应用光学 衍射光学元件 准梯度下降法 镂空掩膜板 离子束刻蚀
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