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题名杂环类锌基光刻胶的制备及性能研究
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作者
吴蓉
赵炜珍
王公应
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机构
中国科学院成都有机化学研究所
中国科学院大学
中国科学院过程工程研究所
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出处
《合成化学》
CAS
2023年第8期610-616,共7页
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文摘
随着微电子行业的高速发展,光刻胶在IC制造行业得到了越来越多的关注,金属氧簇光刻胶以高吸收性、尺寸小且易于调控的优势受到青睐。在常温下设计合成了以二水乙酸锌为金属源,2-巯基-1-甲基咪唑为配体的含杂环的锌氧团簇化合物Zn-2-MMI,其结构由X-射线单晶衍射和热重分析确证。结果表明:该材料尺度较小(1~2 nm),有助于得到高分辨图案;热稳定性能满足一般光刻的技术要求。通过高斯计算可知,最高占据分子轨道(HOMO)值较低(-6.64 eV),表明Zn-2-MMI具有一定的光化学反应潜力。在深紫外波长下进行曝光后,Zn-2-MMI光刻胶能在四甲基氢氧化铵水溶液和异丙醇中得到正负显影特征的图案;该光刻胶具有较高的灵敏度(45.5 mJ·cm^(-2)),表明了Zn-2-MMI具备作为新一代候选光刻材料的潜力。
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关键词
锌基光刻胶
深紫外光刻
灵敏度
杂环
HOMO-LUMO带隙
正负显影特征
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Keywords
zinc-based resist
deep ultraviolet lithography
sensitivity
heterocyclic
HOMO-LUMO gap
positive and negative development characteristic
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分类号
O62
[理学—有机化学]
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