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扫描电镜中X射线能谱仪的技术进展 被引量:10
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作者 高尚 黄梦诗 +1 位作者 杨振英 马清 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期115-121,共7页
能谱仪作为扫描电镜进行成分分析的重要附件,已经得到非常广泛的应用。随着半导体技术和应用领域的拓展,近年来在能谱探测器上取得的技术进展令人鼓舞。这些进展包括硅漂移探测器的普及,大面积探测器、平插设置以及对窗口材料的改进等... 能谱仪作为扫描电镜进行成分分析的重要附件,已经得到非常广泛的应用。随着半导体技术和应用领域的拓展,近年来在能谱探测器上取得的技术进展令人鼓舞。这些进展包括硅漂移探测器的普及,大面积探测器、平插设置以及对窗口材料的改进等。本文介绍了能谱探测器的基本结构,总结了硅漂移探测器的技术进展和性能优势,以及低加速电压能谱探测技术的进展和算法在能谱技术中的应用。 展开更多
关键词 X射线能谱仪 漂移探测器 漂移探测器 低加速电压 多元成分分析
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X射线、紫外线及其仪器
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《中国光学》 EI CAS 2000年第1期107-107,共1页
TH838.3 2000010726EX-6000型X-荧光能谱仪探测器故障分析及排除=Faults analysis and their solution of detectorsfor EX-6000 model X-fluorescence energyspectrometers[刊,中]/吴杰(福建省测试技术研究所.福建,福州(350003))//国... TH838.3 2000010726EX-6000型X-荧光能谱仪探测器故障分析及排除=Faults analysis and their solution of detectorsfor EX-6000 model X-fluorescence energyspectrometers[刊,中]/吴杰(福建省测试技术研究所.福建,福州(350003))//国外分析仪器技术及应用.—1998,(3).—33-35介绍X-荧光能谱仪的工作原理,锂漂移硅探测器的结构,仪器运行中可能出现与探测器相关的问题,仪器故障现象及其分析检修等。图3表1(严寒) 展开更多
关键词 漂移探测器 能谱仪 故障分析 测试技术研究 仪器技术 工作原理 荧光 福建省 紫外线 分析检修
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