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磁控管用新型直热式稀土铪酸钆陶瓷阴极研究 被引量:1
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作者 漆世锴 王小霞 +3 位作者 王兴起 胡明玮 刘理 曾伟 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期2233-2241,共9页
为了提高大功率磁控管的输出功率,延长其使用寿命,采用难熔稀土氧化钆和过渡金属氧化铪制备大功率磁控管用新型直热式稀土铪酸钆陶瓷阴极,并对该阴极的热发射特性和寿命特性等进行了测试,热发射测试结果显示该阴极在1300℃br即可提供0.1... 为了提高大功率磁控管的输出功率,延长其使用寿命,采用难熔稀土氧化钆和过渡金属氧化铪制备大功率磁控管用新型直热式稀土铪酸钆陶瓷阴极,并对该阴极的热发射特性和寿命特性等进行了测试,热发射测试结果显示该阴极在1300℃br即可提供0.1A/cm2发射电流密度,1600℃br下可提供超过1.93A/cm2的发射电流密度.寿命实验结果显示,该阴极在1500℃br,直流负载为0.5A/cm2的条件下,寿命已经超过4000h.最后,利用X射线衍射仪、扫描电镜、能谱分析仪、氩离子深度刻蚀俄歇电镜等设备分别对该阴极活性物质的分子结构,阴极表面微观形貌、元素成分及含量等进行了分析.结果表明,高温烧结合成了单一的铪酸钆物相,烧结过程中当一种Gd3+价稀土氧化钆掺入Hf4+价的过渡金属氧化铪时,会发生离子置换固溶,为了保持铪酸钆晶格的电中性,晶格中就会产生一个氧空位.当阴极在激活、老练、热发射测试时,会加速氧空位的生成,产生的氧空位越多,阴极表面导电性就会越好,这间接降低了逸出功,从而提高了阴极的热发射能力. 展开更多
关键词 磁控管 阴极 热发射 寿命 发射机理
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