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题名30at%铝钪合金靶材的制备与显微组织
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作者
蔡新志
苏紫珊
冉成义
童培云
朱刘
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机构
先导薄膜材料(广东)有限公司
广东先导稀材股份有限公司
先导薄膜材料有限公司
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出处
《世界有色金属》
2024年第4期1-3,共3页
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基金
国家稀散金属工程技术中心项目(2012FU125Q15)。
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文摘
为解决传统粉末冶金制备30at%铝钪靶材难度大、杂质高、合金分相、致密度低等问题,以高纯单质Al、Sc为原料,采用真空磁悬浮熔炼-水冷浇铸-气雾化-热压烧结工艺制备30at%铝钪合金材料,并研究了微量Sc含量变化对靶材的XRD,微观形貌以及Al_2Sc和Al_3Sc比例影响;用氧氮分析仪、ICP-OES分析仪对靶材的氧含量、杂质进行了测定,用SEM、XRD对靶材块体的微观形貌、物相结构进行了表征。测试结果显示:采用真空磁悬浮熔炼-水冷浇铸-气雾化-热压烧结工艺制备了氧含量小于1500ppm,纯度大于3.5N,Al_3Sc和Al_2Sc两相结构,且铝钪粒子平均晶粒小于20m,致密度大于99%的铝钪靶材,当靶材Sc含量从30at%升高到30.5at%时,Al_2Sc与Al_3Sc的比例从60:40变为66:34,Al_2Sc比例升高,Al_3Sc明显降低,靶材镀膜后薄膜100w应力降低。
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关键词
铝钪靶材
悬浮熔炼
水冷浇铸
热压烧结
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Keywords
Aluminum scandium target
Suspension melting
Water-cooled casting
Hot pressing
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分类号
TF124.5
[冶金工程—粉末冶金]
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