期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
铝刻蚀液磷酸浓度变化及TRIZ解决方案 被引量：1
1
作者 刘丹 刘毅 +8 位作者 陈启超 黄中浩 陈国良 熊永 吴旭 管飞 郭瑞乾 林鸿涛 方亮 《创新创业理论研究与实践》 2021年第22期4-11,15,共9页
铝刻蚀液由硝酸、醋酸、磷酸混合组成,各酸液浓度变化会对刻蚀产生影响。量产过程中,设备对硝酸和醋酸进行单酸补给,保持其浓度稳定。但磷酸不补给,其浓度会逐渐下降。该文结合铝刻蚀产线,研究了单酸补给开启与关闭情况下磷酸浓度对刻... 铝刻蚀液由硝酸、醋酸、磷酸混合组成,各酸液浓度变化会对刻蚀产生影响。量产过程中,设备对硝酸和醋酸进行单酸补给,保持其浓度稳定。但磷酸不补给,其浓度会逐渐下降。该文结合铝刻蚀产线,研究了单酸补给开启与关闭情况下磷酸浓度对刻蚀程度的影响;然后结合TRIZ,对量产条件下磷酸浓度下降现象进行分析,并输出解决方案。实验结果表明:单酸补给关闭,硝酸、醋酸逐渐消耗,刻蚀能力降低;当单酸补给开启,硝酸和醋酸浓度稳定,磷酸浓度逐渐下降,刻蚀能力也降低,这是因为补给的硝酸、醋酸含有水,水稀释磷酸造成其浓度下降。刻蚀能力下降会导致金属残留,进而造成良率损伤。结合TRIZ方案,可以通过加大刻蚀区间排气、调整刻蚀出口空气帘流速、根据药液使用时间调整刻蚀产品类型等措施来规避磷酸浓度下降对刻蚀造成的影响。此项研究,为产品良率提升提供参考。 展开更多
关键词 铝刻蚀液 磷酸浓度 刻蚀能力 TRIZ
原文传递
废铝蚀刻液中硝酸、磷酸和醋酸浓度的电位滴定法连续测定研究
2
作者 陈荔英 许椐洋 +5 位作者 余丰毅 侯海丽 王志巍 陈嘉宾 黄丽英 曾广志 《再生资源与循环经济》 2023年第1期35-38,共4页
废铝刻蚀液是由硝酸、磷酸和醋酸组成的一种混酸,把握混酸中各酸的含量是该工业废液回收利用的重要前提。以乙醇/乙二醇共混物为溶剂,以氢氧化钠/乙醇溶液为滴定剂,采用一步法连续电位滴定对铝蚀刻液混酸中各单酸浓度进行分析,优化了滴... 废铝刻蚀液是由硝酸、磷酸和醋酸组成的一种混酸,把握混酸中各酸的含量是该工业废液回收利用的重要前提。以乙醇/乙二醇共混物为溶剂,以氢氧化钠/乙醇溶液为滴定剂,采用一步法连续电位滴定对铝蚀刻液混酸中各单酸浓度进行分析,优化了滴定条件并进行了实验验证。结果表明,在最优滴定条件下,混酸中各酸的测定值与实际值的偏差均较小。可满足现实生产中废混酸回收利用的分析要求,有望获得实际应用。 展开更多
关键词 废铝刻蚀液 电位滴定 硝酸 磷酸 醋酸
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部