铌酸锂单晶悬臂梁MEMS振动传感器的性能 被引量：2

1

作者 魏慧芬 穆继亮 +1 位作者 耿文平 丑修建 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第7期665-671,724,共8页

研究了基于铌酸锂压电单晶薄膜悬臂梁的微电子机械系统(MEMS)振动传感器的结构设计和加工工艺,并在宽频带和宽温度范围条件下对传感器进行了输出性能测试。结果表明,所制备的传感器固有频率接近于设计的目标频率;输出电荷呈正弦波形且... 研究了基于铌酸锂压电单晶薄膜悬臂梁的微电子机械系统(MEMS)振动传感器的结构设计和加工工艺,并在宽频带和宽温度范围条件下对传感器进行了输出性能测试。结果表明,所制备的传感器固有频率接近于设计的目标频率;输出电荷呈正弦波形且其振幅随着振动加载加速度的幅值线性增长;当加载加速度为10g、频率为20~2200 Hz时,传感器的输出电荷比较平稳;传感器在70℃时的平均输出电荷较常温条件下的提升了19.6%;在-40℃时平均输出电荷虽下降了18%,但仍保持良好的电荷输出水平,体现了该振动传感器的鲁棒性。所研究开发的MEMS振动传感器制备工艺简单、输出特性高,在高频微振动监测方面具有较好的应用前景。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS) 振动传感器 双悬臂梁 铌酸锂单晶 鲁棒性

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在用再生原料生长单晶工艺中自动化控制的研究

2

作者 周志强 张振志 +2 位作者 康平 成肇安 杜小红 《中国资源综合利用》 2001年第8期9-11,共3页

在过去的生产中 ,使用提拉法 (Czochralski)从再生原料中生长钽酸锂 (LiTaO3)、铌酸锂 (LiN bO3)单晶 ,都是采用人工控制扩肩工艺 ,这是一种繁琐的重复性劳动 ,不仅消耗人的精力、体力 ,对产品质量的控制也十分不利。经过我们长期的实... 在过去的生产中 ,使用提拉法 (Czochralski)从再生原料中生长钽酸锂 (LiTaO3)、铌酸锂 (LiN bO3)单晶 ,都是采用人工控制扩肩工艺 ,这是一种繁琐的重复性劳动 ,不仅消耗人的精力、体力 ,对产品质量的控制也十分不利。经过我们长期的实验研究 ,现已基本实现扩肩工艺的自动化控制 ,从而减轻了劳动强度 ,提高了生产效率及产品质量 。 展开更多

关键词 单晶生长 自动扩肩 上“浮秤” 优化设计 逆向模拟 自动控制 钽酸锂单晶 铌酸锂单晶

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LiNbO_3晶体的力学参数与晶面取向间的关系 被引量：1

3

作者 施济民 张清纯 杨国钧 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1989年第1期8-16,共9页

本实验采用 LiNbO_3 单晶,取四种不同晶面指向的样品进行了力学参数,如断裂强度σ_f、断裂功γ_f、断裂韧性 K_(Ic)和弹性模量 E 的测量。在三点弯曲试验条件下,对 LiNbO_3 单晶不同取向时的声发射特征也作了研究。实验发现,σ_f、γ_f ... 本实验采用 LiNbO_3 单晶,取四种不同晶面指向的样品进行了力学参数,如断裂强度σ_f、断裂功γ_f、断裂韧性 K_(Ic)和弹性模量 E 的测量。在三点弯曲试验条件下,对 LiNbO_3 单晶不同取向时的声发射特征也作了研究。实验发现,σ_f、γ_f 和 E 与晶面间距、晶面上的离子排列关系较为明显,声发射信号随单晶的取向不同而变化,这是其各向异性结构所致。 展开更多

关键词 铌酸锂单晶 力学参数 晶面取向

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成果推广的方式、问题和建议

4

作者 金孝银 谭浩然 巫廷满 《科技管理研究》 1985年第3期20-24,共5页

一、成果推广的主要方式 1970年以来,我所共取得88项科技成果(截止到1983年),其中应用性成果(?)3项,已推广应用并获得一定经济效益的有63项,获国家科委发明奖的有2项,获我院或有关部委、地方各种奖励的有48项。在科学技术要面向经济建... 一、成果推广的主要方式 1970年以来,我所共取得88项科技成果(截止到1983年),其中应用性成果(?)3项,已推广应用并获得一定经济效益的有63项,获国家科委发明奖的有2项,获我院或有关部委、地方各种奖励的有48项。在科学技术要面向经济建设的方针指引下,为了加速应用性成果的推广工作,我们谈谈采用的几种方式: ①对口联合 1978年以来,我所应浙江省德清电子器材厂的要求,打破地区条块和行业的分割,派科技人员到该厂推广科技成果,作技术指导和培训干部,使一个原来处境困难的小厂转变为在厂房、设备、技术力量方面都初具规模的从事电光、声光晶体及器件生产的专业工厂。目前该厂铌酸锂人工单晶的销售量已占全国三分之一,铌酸锂单晶、激光调Q开关、声表面波电视中频滤波器质量达国内先进水平。1980、1981年分别获浙江省优秀科技成果奖,为科研、高校、电子、航天等单位提供了红外制导、激光雷达、光波制导、无线电技术、卫星转播地面接收站设备等所需的16种规格晶体和器件。 展开更多

关键词 成果推广 科技成果 铌酸锂单晶 声光晶体 中频滤波器 红外制导 地面接收站 电子器材 声表面波 无线电技术

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海归创业记

5

作者 麦岚 《齐鲁周刊》 2015年第10期30-31,共2页

从来没有哪个时代比如今更适合谈论创业,对海归尤甚。目前,一大批"留"字号企业在济南茁壮成长,"海归经济"成为济南自主创新与产业提升的重要力量。另一方面,随着社会经济的转型及发展,社会"能力取向"的... 从来没有哪个时代比如今更适合谈论创业,对海归尤甚。目前,一大批"留"字号企业在济南茁壮成长,"海归经济"成为济南自主创新与产业提升的重要力量。另一方面,随着社会经济的转型及发展,社会"能力取向"的回归以及海归稀有性的降低,部分海归人员在就业与创业的过程中逐渐失去优势,开始回归更踏实的创业过程。与本土创业者相比,"海归"创业有哪些特点?带来哪些先进的海外经验和理念? 展开更多

关键词 海外经验 铌酸锂单晶 社会经济 稀有性 王辉耀 文化创意产业 多元化经营 徐欣 留学生创业园 中国青

原文传递

集成铌酸锂光子器件技术的研究进展 被引量：4

6

作者 张涛 何杰 +2 位作者 胡少勤 许昕 张玉蕾 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期837-842,共6页

铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光... 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光通信和微波光子学带来革命性的变革。该文重点综述了LNOI的制备技术、LNOI电光调制器、LNOI声光调制器和LNOI电光频率梳的最新研究进展,简要讨论了铌酸锂光子器件在制作工艺和系统实现中面临的挑战。 展开更多

关键词 绝缘体上铌酸锂 集成光子器件 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)电光调制器 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)声光调制器 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)光学频率梳

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掺铈铌酸锂晶体的生长和表征(英文) 被引量：2

7

作者 张娜娜 王继扬 +2 位作者 颜涛 韩淑娟 郭永解 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期412-415,共4页

采用提拉法生长了掺Ce的同成分LiNbO3(Ce:CLN)晶体。X射线粉末衍射表明,掺杂并不影响晶体结构,其空间群为R3c。采用X射线荧光光谱分析方法,计算得到铈离子的有效分凝系数为0.4。室温下,晶体在700～3500nm波段的透过率达75%。利用X射线... 采用提拉法生长了掺Ce的同成分LiNbO3(Ce:CLN)晶体。X射线粉末衍射表明,掺杂并不影响晶体结构,其空间群为R3c。采用X射线荧光光谱分析方法,计算得到铈离子的有效分凝系数为0.4。室温下,晶体在700～3500nm波段的透过率达75%。利用X射线光电子谱(X-ray photoelectronspectroscopy,XPS)和Raman光谱分别表征了铈离子对铌酸锂的电子和声子结构的影响。XPS结果表明,铌离子仅存在纯的+5价,铈离子由于浓度较小,未检测到信号。Raman光谱结果显示,除Ce:CLN晶体的A1(TO4)模波数和A1(TO1)模半峰宽较纯的LiNbO3晶体发生明显变化外,其余模都与其基本一致,表明铈离子主要进入晶格的Nb位置。 展开更多

关键词 掺铈铌酸锂单晶 提拉法 X射线光电子谱 RAMAN光谱

原文传递

布喇格反射型宽带单晶薄膜体声波滤波器 被引量：1

8

作者 王晓学 帅垚 +6 位作者 田本朗 白晓园 吕露 简珂 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第3期303-306,共4页

该文研究了一种新型布喇格反射型薄膜体声波(BAW)滤波器的设计方法与制备技术。BAW器件选择机电耦合系数较大的Y43°-铌酸锂(Y43°-LN)单晶薄膜作为压电层材料,并以苯并环丁烯(BCB)作为晶圆键合层,采用离子注入剥离法将亚微米... 该文研究了一种新型布喇格反射型薄膜体声波(BAW)滤波器的设计方法与制备技术。BAW器件选择机电耦合系数较大的Y43°-铌酸锂(Y43°-LN)单晶薄膜作为压电层材料,并以苯并环丁烯(BCB)作为晶圆键合层,采用离子注入剥离法将亚微米厚度的Y43°-LN单晶薄膜转移至具有布喇格反射层的衬底。BCB既作为键合层,也作为布喇格反射层的第一低声阻抗层,实现了单晶BAW滤波器的制备。设计并制备了三阶BAW滤波器,中心频率为2.93 GHz,绝对带宽和分数带宽分别为247 MHz和8.4%。结果表明,采用薄膜转移技术制备的高机电耦合系数LN单晶薄膜能够实现大带宽BAW滤波器的制备。 展开更多

关键词 BAW滤波器 离子注入剥离法 铌酸锂单晶薄膜 机电耦合系数 苯并环丁烯

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钽铌酸锂单晶的喇曼光谱分析 被引量：1

9

作者 李德敏 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2000年第2期44-46,共3页

利用剌曼散射方法系统地研究了钽铌酸锂（LiNa0.9Nb0.1O3）晶体的晶体振动及其高温下发生的由铁电相到顺电相的结构相变．常温实验中，观察到了所有喇曼激活模式软化，与群论分析的结果相符合．高温实验中，发现钽铌酸锂的相变过程中有... 利用剌曼散射方法系统地研究了钽铌酸锂（LiNa0.9Nb0.1O3）晶体的晶体振动及其高温下发生的由铁电相到顺电相的结构相变．常温实验中，观察到了所有喇曼激活模式软化，与群论分析的结果相符合．高温实验中，发现钽铌酸锂的相变过程中有模式软化的现象发生，但软模并未软化至零频率，即结构相变并非软模导致的位移型相变，而是一种有序－无序型的相变． 展开更多

关键词 喇曼散射 钽铌酸锂单晶 相变 掺杂铁电晶体

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单晶薄膜体声波谐振器频率温度特性研究 被引量：1

10

作者 简珂 帅垚 +4 位作者 田本朗 白晓园 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第4期448-452,共5页

采用离子注入剥离法转移制备了43°Y-切铌酸锂(LiNbO3,LN)单晶压电薄膜材料,以SiO2/Mo作为声反射结构制备了固态声反射型薄膜体声波器件。谐振器工作频率约为3 GHz,LN薄膜等效机电耦合系数达到14.15%。对谐振器的频率温度特性进行... 采用离子注入剥离法转移制备了43°Y-切铌酸锂(LiNbO3,LN)单晶压电薄膜材料,以SiO2/Mo作为声反射结构制备了固态声反射型薄膜体声波器件。谐振器工作频率约为3 GHz,LN薄膜等效机电耦合系数达到14.15%。对谐振器的频率温度特性进行了表征,结果表明,尽管LN单晶的频率温度系数为(-70^-90)×10^-6/℃,但由于声反射结构中包含有正温度系数的SiO2层,谐振器的频率温度系数降至-18×10^-6/℃,这表明固态声反射结构能够有效抑制单晶LN薄膜的温漂,获得低频率温度系数的谐振器器件。 展开更多

关键词 体声波谐振器 离子注入剥离法 铌酸锂单晶薄膜 固态声反射结构 机电耦合系数 频率温度系数

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介电晶体光波导的制备及其应用 被引量：1

11

作者 贾曰辰 王士香 +2 位作者 谭杨 王磊 陈峰 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第16期1968-1982,共15页

介电光学晶体种类繁多,具有丰富的功能属性,在科学研究、生产生活的各个领域有着广泛的应用.光波导是基本的光学微结构之一.基于介电光学晶体的光波导结构是组成集成光子学器件的重要元件.利用飞秒激光直写或者载能离子束辐照技术,可以... 介电光学晶体种类繁多,具有丰富的功能属性,在科学研究、生产生活的各个领域有着广泛的应用.光波导是基本的光学微结构之一.基于介电光学晶体的光波导结构是组成集成光子学器件的重要元件.利用飞秒激光直写或者载能离子束辐照技术,可以有效调控晶体材料局部区域的折射率分布,形成低损耗的光波导结构.本文将介绍介电晶体光波导(包括单晶薄膜)的制备方法及相关的波导性能,综述介电晶体光波导在激光产生、非线性光学频率转换、信号调制以及量子信息中的应用,并对这一领域的未来研究进行展望. 展开更多

关键词 介电晶体 光波导 飞秒激光微加工 离子注入 铌酸锂单晶薄膜

原文传递

基于铌酸锂薄膜的三波导偏振分束及模式转换器

12

作者 姜瑞昭 徐银 倪屹 《科学技术创新》 2022年第6期180-183,共4页

铌酸锂单晶薄膜(LNOI)对集成光学的发展有着重要意义,而高效的偏振分束与模式转换器件的设计是集成光学需要解决的一个基本问题。本文在充分考虑铌酸锂薄膜的研究现状及加工工艺的基础上,提出了一种基于铌酸锂薄膜的三波导偏振分束及模... 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)对集成光学的发展有着重要意义,而高效的偏振分束与模式转换器件的设计是集成光学需要解决的一个基本问题。本文在充分考虑铌酸锂薄膜的研究现状及加工工艺的基础上,提出了一种基于铌酸锂薄膜的三波导偏振分束及模式转换器,该器件可将输入的TM0和TE0模式进行高效分离并将TE0模式转换为TE1模式。通过严格的设计与仿真优化,在片上同时实现了高效偏振分离及模式转换的功能。此外,通过增加交叉输出波导的宽度,所述器件方案可进一步扩展至其他高阶TE模的输出,具备良好的器件功能可扩展性。 展开更多

关键词 铌酸锂单晶薄膜 偏振分束及模式转换器 片上光子集成

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济南大学刘宏团队在8英寸X轴铌酸锂晶体制备技术领域取得新突破

13

作者 孙德辉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第5期925-925,共1页

近期,济南大学刘宏、孙德辉教授团队在8英寸X轴铌酸锂晶体生长技术领域取得重要突破。他们基于结晶学与晶体生长物理学的研究,改进晶体生长技术,采用[1120]晶向的LiNbO_(3)晶块作为籽晶,利用提拉法生长获得了直径8英寸(200 mm)、等径长... 近期,济南大学刘宏、孙德辉教授团队在8英寸X轴铌酸锂晶体生长技术领域取得重要突破。他们基于结晶学与晶体生长物理学的研究,改进晶体生长技术,采用[1120]晶向的LiNbO_(3)晶块作为籽晶,利用提拉法生长获得了直径8英寸(200 mm)、等径长度65 mm的铌酸锂单晶(见图1)。 展开更多

关键词 铌酸锂晶体 铌酸锂单晶 晶体生长 济南大学 提拉法生长 X轴 物理学 结晶学

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济南晶正电子科技有限公司

14

《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第4期715-715,共1页

济南晶正电子科技有限公司成立于2010年,位于济南章锦综合保税区,是一家致力于纳微米级厚度光电、压电单晶薄膜材料研发、生产及销售的高新技术企业。在国家、省、市各部门大力支持下,依靠山东大学多年的理论和实验积累,研发团队成功突... 济南晶正电子科技有限公司成立于2010年,位于济南章锦综合保税区,是一家致力于纳微米级厚度光电、压电单晶薄膜材料研发、生产及销售的高新技术企业。在国家、省、市各部门大力支持下,依靠山东大学多年的理论和实验积累,研发团队成功突破了离子注入及晶片键合关键技术,开发出纳米厚度铌酸锂单晶薄膜材料产品。产品具有自主知识产权,并拥有多项相关技术专利。 展开更多

关键词 技术专利 铌酸锂单晶 薄膜材料 压电单晶 综合保税区 晶片键合 离子注入 自主知识产权

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