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题名BaTiO_3铁电纳米膜制备及物性和微结构表征
被引量：2
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作者
朱信华
朱健民
刘治国
闵乃本
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机构
南京大学物理系固体微结构物理国家重点实验室
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期180-185,共6页
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基金
江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2007130)
南京大学大型仪器测试基金(0204001366)
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文摘
采用脉冲激光淀积法在硅基氧化铝纳米有序孔膜版介质上(膜版孔径平均尺寸20nm,内生长Pt纳米线作为底电极一部分)制备了BaTiO3铁电纳米膜,并对其物性(铁电和介电性能)和微结构进行了表征。结果表明厚度170nm BaTiO3铁电膜的介电常数,随着测量频率的增加(103Hz至106Hz),从400缓慢下降到350;介电损耗在低频区域(103～105Hz)从0.029缓慢增加到0.036,而在高频率区域(>105Hz)后,则迅速增加到0.07。这是由于BaTiO3铁电薄膜的介电驰豫极化引起的。电滞回线测量结果表明,该薄膜的剩余极化强度为17μC/cm2,矫顽场强为175kV/cm。剖面扫描透射电子显微镜(STEM)图像表明,BaTiO3纳米铁电薄膜与底电极Pt纳米线直接相连接,它们之间的界面呈现一定程度的弯曲。选区电子衍射图和高分辨电子显微像均表明BaTiO3铁电薄膜具有钙钛矿型结构。在BaTiO3纳米铁电薄膜退火晶化处理后,部分Pt纳米线的再生长导致顶端出现分枝展宽现象。为了兼顾氧化铝纳米有序孔膜版内的金属纳米线有序分布和BaTiO3纳米薄膜结晶度,合适的退火温度是制备工艺过程的关键因素。
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关键词
BATIO3
铁电纳米膜
介电和铁电性能
微结构
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Keywords
BaTiO3
ferroelectric nanofilms
dielectric and ferroelectrlc properties
microstructure
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分类号
TB383.2
[一般工业技术—材料科学与工程]
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